端面研磨方法、以及端面研磨装置与流程

文档序号:13251626阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供端面研磨方法,优化磨石进给速度等研磨条件,高效地进行没有隔室隔壁的缺损等良好品质的端面的研磨加工。端面研磨方法具有:结构体旋转工序,其以与蜂窝结构体(100)的端面正交的方向为旋转轴(A1),使蜂窝结构体(100)旋转;磨石反转工序,其使用以与端面相对的方式配置有研磨面(111)的磨石(110),以与端面正交的方向为旋转轴(A2),使磨石(110)沿与蜂窝结构体(100)的旋转方向(R1)相反的旋转方向(R2)旋转;以及干式研磨工序,其使反向旋转的磨石(110)接近旋转的蜂窝结构体(100),并对端面进行干式研磨。

技术研发人员:福井俊宏;梅津信幸;野口信爱;
受保护的技术使用者:日本碍子株式会社;
文档号码:201610021487
技术研发日:2016.01.13
技术公布日:2016.07.27

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