一种纳米金刚石表面硅烷真空热解沉积设备的制作方法

技术特征：

1.一种纳米金刚石表面硅烷真空热解沉积设备，其特征在于，所述设备包括：机械泵(1)、扩散泵(2)、四通阀(3)、真空管式炉(4)、石英管(5)、载物台(6)、硅烷进气口(7)、氩气进气口(8)、流量计(9)、复合真空计(10)、放气阀(11)、环槽面法兰(12)；所述机械泵(1)和所述扩散泵(2)连接；所述的扩散泵(2)与所述的四通阀(3)的第一通相连；所述的复合真空计(10)与所述的四通阀(3)的第一通连接，所述的四通阀(3)的第三通和所述的硅烷进气口(7)相连，所述的四通阀(3)的第二通和所述的氩气进气口(8)相连，四通阀(3)的第四通和所述的真空管式炉(4)内的石英管(5)的一端相连；所述的石英管(5)另一端与外界用放气阀(11)连接；石英管(5)内设置有能够盛放纳米金刚石的载物台(6)；

根据权利要求1所述的纳米金刚石表面硅烷真空热解沉积设备，其特征在于，所述机械泵(1)与所述扩散泵(2)用低真空管连接；

根据权利要求1所述的纳米金刚石表面硅烷真空热解沉积设备，其特征在于，所述复合真空计(10)与四通阀(3)的第一通之间设有抽真空阀；所述的四通阀的第二通和所述的硅烷气瓶用高真空管用硅烷阀控制，四通阀的第二通与硅烷气瓶之间设有流量计(9)，四通阀的第三通和氩气进气口用DN8的真空胶管相连，之间设有氩气阀，四通阀的第四通和所述的真空管式炉(4)内的石英管(5)用高真空管相连，四通阀的第四通与石英管(5)之间设有反应阀；

根据权利要求3所述的纳米金刚石表面硅烷真空热解沉积设备，其特征在于，所述的复合真空计(10)的量程为0-10-6Pa；

根据权利要求1所述的纳米金刚石表面硅烷真空热解沉积设备，其特征在于，所述的高真空管与石英管(5)以环槽面法兰(12)连接相连；石英管(5)与放气阀(11)用环槽面法兰连接；

根据权利要求3所述的纳米金刚石表面硅烷真空热解沉积设备，其特征在于，所述的抽真空阀、所述的硅烷阀、所述的氩气阀、所述的反应阀与四通阀连接，连接方式相同，采用不锈钢真空卡箍连接；

根据权利要求5所述的纳米金刚石表面硅烷真空热解沉积设备，其特征在于，放气阀与环槽面法兰(12)焊接方式连接；

根据权利要求1所述的纳米金刚石表面硅烷真空热解沉积设备，其特征在于，所述的石英管(5)尺寸为它作为硅烷热解沉积的反应室。