溅射装置的制作方法

技术总结
本发明提供一种溅射装置。本发明一实施例的溅射装置包括：工艺腔室；溅射靶，设置于所述工艺腔室的内部；基板架，与所述溅射靶相对配置，用于支撑待沉积溅射靶物质的基板；以及溅射靶驱动部，以使所述溅射靶倾斜的方式旋转驱动所述溅射靶。

技术研发人员：孙尚佑;姜贤株;郑敞午
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
文档号码：201611128345
技术研发日：2016.12.09
技术公布日：2017.06.16