1.一种Ti-Ag-N纳米复合涂层,其特征在于:按离基体的远近区分,从内到外依次包括:在基体表面Ti膜形成的过渡层、TiN膜形成的中间层和Ti-Ag-N层。
2.根据权利要求1所述的Ti-Ag-N纳米复合涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)镀过渡层:采用纯钛靶,当真空室内真空度达到2×10-3Pa~4×10-2Pa时,对真空室加热至300~500℃;向真空室通入氩气,设定所需的气体流量为30~300sccm,气压控制在0.5~2Pa之间;基体加脉冲负偏压在-500~-1000V范围,使气体发生辉光放电,对样品进行辉光清洗10~60min;调整氩气流量,使真空室气压为0.1~1.0Pa,同时开启钛靶弧源,弧电流为60~150A,对样工件继续进行Ti离子轰击1~20min;调脉冲负偏压至-100V~-600V,沉积Ti膜即过渡层1~10min;
(2)镀TiN层:采用纯钛靶,停氩气,通氮气,设定气压为0.2~2Pa范围;对基体施加脉冲负偏压-100V~-600V;调节靶电流为50~150A,沉积时间为1~20min;
(3)镀Ti-Ag-N层:停氩气,通氮气,氮气流量控制在10~200sccm,设定气压为0.2~3Pa范围;对基体施加脉冲负偏压-100V~-600V;调制靶电流为60~200A,沉积时间为20~300min;
(4)沉积结束后,迅速停弧、停基体脉冲负偏压、停止通入气体,继续抽真空,工件随炉冷却至100℃以下。
3.根据权利要求2所述的Ti-Ag-N纳米复合涂层的制备方法,在所使用的钛银合金靶的靶材中,银的含量为5-40%。