1.一种晶圆研磨系统，应用于研磨表面为氧化层的晶圆；其特征在于，包括：
研磨垫，用于与所述晶圆的表面接触，以通过旋转研磨所述晶圆；
直流电机，包括一输出轴；所述输出轴与所述研磨垫连接，用于驱动所述研磨垫旋转；
控制器，与所述直流电机连接，用于向所述直流电机输出驱动电流以控制所述直流电机的工作；
所述控制器于检测到所述输出轴上的扭矩在一预设的置信时间区间内低于一预设值时停止输出所述驱动电流。
2.根据权利要求1所述的晶圆研磨系统，其特征在于，所述控制器通过检测所述直流电机的电流来检测所述输出轴上的扭矩。
3.根据权利要求2所述的晶圆研磨系统，其特征在于，所述控制器包括一电流检测模块，一控制模块和一升压模块；
所述电流检测模块与所述直流电机连接，用于检测所述直流电机的工作电流并根据所述工作电流输出一电流检测信号；
所述控制模块与所述电流检测模块连接，用于接收并根据所述电流检测信号输出一控制信号；
所述升压模块与所述控制模块连接，用于接收并根据所述控制信号输出所述驱动电流；
所述升压模块还与所述直流电机连接，以向所述直流电机输出所述驱动电流；
所述控制模块于接收到的所述电流检测信号在预设的所述置信时间区间内低于所述预设值时停止输出所述控制信号，以停止所述升压模块输出的所述驱动电流。
4.根据权利要求1所述的晶圆研磨系统，其特征在于，所述控制器包括一扭矩检测模块，一控制模块和一升压模块；
所述扭矩检测模块与所述输出轴连接，用于检测并根据所述输出轴上的扭矩输出一扭矩检测信号；
所述控制模块与所述扭矩检测模块连接，用于接收并根据所述扭矩检测信号输出一控制信号；
所述升压模块与所述控制模块连接，用于接收并根据所述控制信号输出所述驱动电流；
所述升压模块还与所述直流电机连接，以向所述直流电机输出所述驱动电流；
所述控制模块于接收到的所述扭矩检测信号在预设的所述置信时间区间内低于所述预设值时停止输出所述控制信号，以停止所述升压模块输出的所述驱动电流。
5.根据权利要求4所述的晶圆研磨系统，其特征在于，所述扭矩检测模块为扭矩传感器。
6.一种晶圆研磨终点的控制方法，应用如权利要求1～5任意一项所述的晶圆研磨系统；其特征在于，包括：
步骤S1，将一研磨垫与一晶圆的表面接触，以通过所述研磨垫的旋转研磨所述晶圆；
步骤S2，将一直流电机的输出轴与所述研磨垫连接，以驱动所述研磨垫旋转；
步骤S3，将一控制器与所述直流电机连接，用于向所述直流电机输出驱动电流以控制所述直流电机的工作，于所述输出轴上的扭矩在一预设的置信时间区间内低于一预设值时，所述控制器停止输出所述驱动电流。
7.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述置信时间区间的起始时间点的范围在16s～18s之间。
8.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，将所述直流电机的启动控制在所述置信时间区间之前完成。