1.单晶硅柱面抛光工装,包括夹持装置和抛光装置,其特征在于:
所述夹持装置包括左夹持块(11)、用于驱动左夹持块(11)转动的左驱动件(12)、与左夹持块(11)相配合的右夹持块(21)、用于驱动右夹持块(21)沿左夹持块(11)和右夹持块(21)所在直线移动的距离调节装置(22)、用于驱动右夹持块(21)转动的右驱动件(23);
所述抛光装置包括载片(31)和设置在载片(31)上的抛光结构(32)。
2.根据权利要求1所述的单晶硅柱面抛光工装,其特征在于:所述抛光结构(32)为具有抛光面的抛光柱。
3.根据权利要求2所述的单晶硅柱面抛光工装,其特征在于:所述抛光柱的截面成圆形或椭圆形。
4.根据权利要求2或3所述的单晶硅柱面抛光工装,其特征在于:所述抛光柱有多个,多个抛光柱依次紧挨排列且上表面齐平构成抛光面,所述抛光柱的中心轴位于同一平面上。
5.根据权利要求2所述的单晶硅柱面抛光工装,其特征在于:所述抛光柱的抛光面的长度大于40毫米且小于50毫米。
6.根据权利要求1所述的单晶硅柱面抛光工装,其特征在于:所述抛光结构(32)为金刚石。
7.根据权利要求1所述的单晶硅柱面抛光工装,其特征在于:还包括保护罩,所述左夹持块(11)和右夹持块(21)均位于保护罩内,所述保护罩包括下盖(41)和活动连接在下盖(41)上的上盖(42),所述上盖(42)和下盖(41)的同一侧均设置有开口(43)。
8.根据权利要求7所述的单晶硅柱面抛光工装,其特征在于:所述上盖(42)上设置有进水口(44),所述下盖(41)上设置有出水口(45)。