技术总结
本实用新型公开了单晶硅柱面抛光工装，包括夹持装置和抛光装置，所述夹持装置包括左夹持块、用于驱动左夹持块转动的左驱动件、与左夹持块相配合的右夹持块、用于驱动右夹持块沿左夹持块和右夹持块所在直线移动的距离调节装置、用于驱动右夹持块转动的右驱动件；所述抛光装置包括载片和设置在载片上的抛光结构，其利用人工抛光，抛光效果好。
技术研发人员：陈兴建;江宗宇
受保护的技术使用者：成都贝瑞光电科技股份有限公司
文档号码：201620774578
技术研发日：2016.07.22
技术公布日：2016.12.14