1.一种远端电浆增强化学气相沉积装置，包括相互连通的反应室(10)和远端电浆产生室(70)，所述远端电浆产生室(70)上设有制程气体入口(11)，所述反应室(10)上设有副产品抽出口(12)；所述反应室(10)内设有平台(13)，所述平台(13)的平台面(14)上放置有基片(20)，其特征在于，所述远端电浆产生室(70)中同时且互相隔离地设置有直流放电单元(71)、射频放电单元(72)和微波放电单元(73)，所述直流放电单元(71)、射频放电单元(72)和微波放电单元(73)同步产生放电，用以使远端电浆产生室(70)内的制程气体形成电浆(30)，并通入反应室(10)中。
2.根据权利要求1所述的远端电浆增强化学气相沉积装置，其特征在于，所述远端电浆产生室(70)上设有至少两个制程气体入口(11)，用以分别引入不同的制程气体。
3.根据权利要求1或2所述的远端电浆增强化学气相沉积装置，其特征在于，包括第一电场装置(40)，所述第一电场装置(40)设于所述反应室(10)内腔的环周缘壁上，用于通过电性吸力效应使反应室(10)内的电浆(30)由中央朝外环周缘扩张移动。
4.根据权利要求3所述的远端电浆增强化学气相沉积装置，其特征在于，包括第二电场装置(50)，所述第二电场装置(50)设于所述反应室(10)内平台面(14)的下方，用于通过电性吸力效应使电浆(30)吸附并沉积于基片(20)表面。
5.根据权利要求4所述的远端电浆增强化学气相沉积装置，其特征在于，包括射频磁场装置(60)，所述射频磁场装置(60)设于所述反应室(10)内平台面(14)的中央下方处，用以控制沉积于基片(20)表面上的磊晶角度。
6.根据权利要求1所述的远端电浆增强化学气相沉积装置，其特征在于，所述副产品抽出口(12)连接有真空泵，用于将气体副产品抽出反应室(10)之外。
7.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述平台(13)内设置有加热器件。