技术总结
本实用新型公开一种远端电浆增强化学气相沉积装置，涉及薄膜制备技术领域。该装置包括相互连通的反应室和远端电浆产生室，远端电浆产生室上设有制程气体入口，反应室上设有副产品抽出口；反应室内设有平台，平台的平台面上放置有基片，远端电浆产生室中同时且互相隔离地设置有直流放电单元、射频放电单元和微波放电单元，直流放电单元、射频放电单元和微波放电单元同步产生放电，用以使远端电浆产生室内的制程气体形成电浆，并通入反应室中。本实用新型通过远端电浆产生室产生符合要求的电浆源，能够有效控制电浆密度，避免形成的电浆密度较低或空间分布不均等缺陷，提升了该远端电浆增强化学气相沉积装置的使用效率及其制程效率。
技术研发人员：张宇顺
受保护的技术使用者：张宇顺
文档号码：201621251506
技术研发日：2016.11.14
技术公布日：2017.05.31