用于抛光设备的抛光头夹持机构的制作方法

文档序号:11493883阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于抛光设备的抛光头夹持机构,其包括用于夹持固定抛光头的夹持件,其特征在于:该抛光头夹持机构还包括安装件及滑动驱动组件,该安装件可滑动地安装在一基板上,该夹持件固定安装在该安装件上,该滑动驱动组件包括滑动驱动件、转轴及传动件,该滑动驱动件与该转轴连接并能够驱动该转轴自转,该传动件与该转轴连接且该传动件与该转轴的连接点偏离于该转轴的轴线,该转轴的轴线与该安装件的滑动方向垂直,从而当该滑动驱动件驱动该转轴自转时,该传动件沿该转轴的径向来回移动,该传动件还与该安装件传动连接,从而当该传动件沿该转轴的径向来回移动时带动该安装件、该夹持件及该抛光头一起来回移动。

2.如权利要求1所述的用于抛光设备的抛光头夹持机构,其特征在于:该转轴的一端设置有偏心孔或偏心凸起,该偏心孔或该偏心凸起偏离于该转轴的轴线,该传动件与该转轴固定连接于该偏心孔或该偏心凸起。

3.如权利要求1所述的用于抛光设备的抛光头夹持机构,其特征在于:该转轴的一端开设有连接孔,该连接孔位于该转轴的轴线上,该滑动驱动件与该转轴连接于该连接孔内。

4.如权利要求3所述的用于抛光设备的抛光头夹持机构,其特征在于:该滑动驱动件包括主体及形成在该主体一端的驱动端,该驱动端插入该连接孔并与该转轴固定连接。

5.如权利要求1所述的用于抛光设备的抛光头夹持机构,其特征在于:该安装件包括滑动部及安装部,该安装部安装在该滑动部的端部,该夹持件固定安装在该安装部上,该传动件与该滑动部固定连接。

6.如权利要求1所述的用于抛光设备的抛光头夹持机构,其特征在于:该转轴的一端开设有偏心孔,该偏心孔偏离于该转轴的轴线,该传动件与该转轴固定连接于该偏心孔内,该转轴的另一端开设有连接孔,该连接孔位于该转轴的轴线上,该滑动驱动组件与该转轴连接于该连接孔内。

7.如权利要求6所述的用于抛光设备的抛光头夹持机构,其特征在于:该安装件包括滑动部及安装部,该安装部安装在该滑动部的端部,该夹持件固定安装在该安装部上,该传动件还与该滑动部固定连接。

8.如权利要求5或7所述的用于抛光设备的抛光头夹持机构,其特征在于:该安装部垂直安装在该滑动部的端部。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1