一种用于石英坩埚生产的切磨装置的制作方法

文档序号:11493878阅读:433来源:国知局
一种用于石英坩埚生产的切磨装置的制造方法

本实用新型涉及石英坩埚生产设备技术领域,尤其涉及一种用于石英坩埚生产的切磨装置。



背景技术:

近年来中国各方面发展迅速,各类信息家电和通信产品需求旺盛,因此半导体器件和硅材料的市场需求量都很大,特别是太阳能市场迅猛发展,再加之太阳能国内太阳能单晶硅生产用石英坩埚的技术要求低,因此国内石英坩埚主要供应国内太阳能单晶硅的生产使用,使用量增长很快。而石英坩埚是拉制单晶硅的消耗性器皿,每生产一炉单晶硅就用掉一只石英坩埚。则提高石英坩埚生产效率,完善生产流程智能化是大势所趋。而目前特别是对毛坯坩埚的切磨厂家一直采用的是人工方式,不仅效率比较低,而且劳动力强,切磨粉尘也会给工人带去长期的健康隐患。



技术实现要素:

针对现有技术的不足,该实用新型提供一种用于石英坩埚生产的切磨装置,包括包括切磨室、坩埚抓取机构、坩埚切割机构、坩埚端口倒角机构和坩埚输送轨,石英坩埚毛坯通过坩埚输送轨到达切磨室,由坩埚抓取机构进行抓取并调整合适位置,根据所需尺寸规格,由坩埚切割机构和坩埚端口倒角机构实现切除石英坩埚端口预留的加工余量部分,并将端口切磨和倒角。

为了实现上述目的,该实用新型的技术方案是:一种用于石英坩埚生产的切磨装置,包括切磨室、坩埚抓取机构、坩埚切割机构、坩埚端口倒角机构和坩埚输送轨,所述切磨室为前端开口的室体,坩埚抓取机构设置于切磨室内的背板上,坩埚切割机构和坩埚端口倒角机构分别设置于切磨室内的两个侧板上,坩埚输送轨的一端穿过切磨室的前端开口并置于坩埚抓取机构的前方;所述坩埚切割机构配有圆形金刚石切片,坩埚端口倒角机构配有锥形金刚石轮;所述坩埚抓取机构包括基座、支撑架、伸缩机械臂、机械手腕和机械手,支撑架的底端固接于基座,其顶端与伸缩机械臂的首端相旋接,伸缩机械臂的末端设置有360°旋转的机械手腕,并且机械手腕安装有由两根自由张合的爪钳组成的机械手。

作为本实用新型一种用于石英坩埚生产的切磨装置的进一步改进,所述爪钳内壁设置有多个垫片。

作为本实用新型一种用于石英坩埚生产的切磨装置的进一步改进,所述切磨室安装有吸尘通道。

有益效果

本实用新型一种用于石英坩埚生产的切磨装置,通过坩埚输送轨将毛坯坩埚送达切磨室,由坩埚抓取机构进行抓取并调整合适位置,根据所需尺寸规格,由坩埚切割机构和坩埚端口倒角机构实现自动切除石英坩埚端口预留的加工余量部分,并将端口切磨和倒角,更加一体化,提升切磨效率,降低劳动力,通过切磨室操作和切磨室设置的吸尘通道,可以大大提高作业环境,从而保障工人的身体健康。

附图说明

图1为本实用新型切磨装置的结构示意图;

图2为本实用新型坩埚抓取机构的结构示意图;

图3为本实用新型坩埚切割机构的结构示意图;

图4为本实用新型坩埚端口倒角机构的结构示意图;

图中:1、切磨室,2、坩埚抓取机构,3、坩埚切割机构,4、坩埚端口倒角机构,5、坩埚输送轨,6、金刚石切片,7、金刚石轮,8、基座,9、支撑架,10、伸缩机械臂,11、机械手腕,12、机械手,13、爪钳,14、垫片,15、吸尘通道。

具体实施方式

如图所示,一种用于石英坩埚生产的切磨装置,包括切磨室1、坩埚抓取机构2、坩埚切割机构3、坩埚端口倒角机构4和坩埚输送轨5,所述切磨室1为前端开口的室体,坩埚抓取机构2设置于切磨室1内的背板上,坩埚切割机构3和坩埚端口倒角机构4分别设置于切磨室1内的两个侧板上,坩埚输送轨5的一端穿过切磨室1的前端开口并置于坩埚抓取机构2的前方;所述坩埚切割机构3配有圆形金刚石切片6,坩埚端口倒角机构4配有锥形金刚石轮7;所述坩埚抓取机构2包括基座8、支撑架9、伸缩机械臂10、机械手腕11和机械手12,支撑架9的底端固接于基座8,其顶端与伸缩机械臂10的首端相旋接,伸缩机械臂10的末端设置有360°旋转的机械手腕11,并且机械手腕11安装有由两根自由张合的爪钳13组成的机械手12,在爪钳13的内壁设置有多个垫片14以防损伤石英坩埚。其中切磨室1安装有吸尘通道15,用于及时吸收石英粉尘,清洁操作环境,保障工人身体健康。

在使用时,首先通过坩埚输送轨5将毛坯坩埚送达切磨室1,由坩埚抓取机构2对毛坯坩埚进行抓取并调整合适位置,根据所需尺寸规格,由坩埚切割机构3和坩埚端口倒角机构4先后对毛坯石英坩埚端口预留的加工余量部分进行切割和端口的切磨与倒角。

以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已,并非对本实用新型作任何形式上的限制,虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本实用新型,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本实用新型技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本实用新型技术方案内容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

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