专利名称：生产石英坩埚用抽真空装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种生产石英坩埚过程中使用的抽真空装置。
背景技术：
在石英坩埚生产过程中，为使石英坩埚的质地更加均匀，需要用抽真空装置将石英坩埚与石英坩埚冷却水套间的空气抽出，形成真空环境。该抽真空装置由依次连接的真空泵、电磁阀、过滤罐组成。由于真空泵的抽吸能力有限，抽吸过程耗时长，影响石英坩埚的生产效率。
发明内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种抽吸能力强、耗时短、可提高石英坩埚生产效率的生产石英坩埚用抽真空装置。本实用新型是这样实现的一种生产石英坩埚用抽真空装置，包括真空泵、电磁阀、过滤罐，所述的过滤罐与电磁阀的一端连接，其特殊之处是所述真空泵的抽气ロ连接有储压罐，所述储压罐与电磁阀的另一端连接。所述储压罐由罐体，设在罐体上的抽气ロ接ロ、电磁阀接ロ和排沙ロ构成。本实用新型的有益效果是由于增设了储压罐，工作时将电磁阀关闭、真空泵打开，使储压罐内形成负压环境，打开电磁阀，真空泵与储压罐的抽吸カ叠加，快速将石英坩埚与石英坩埚冷却水套的空气抽出，缩短了抽吸过程耗费时间，提高了石英坩埚的生产效率。
图I是本实用新型的结构示意图。图中真空泵I，储压罐2，抽气ロ接ロ 201，罐体202，排沙ロ 203，电磁阀接ロ 204，电磁阀3，过滤罐4。
具体实施方式
如图所示，该生产石英坩埚用抽真空装置包括真空泵I、储压罐2、电磁阀3、过滤罐4。所述的储压罐2由罐体202、设在罐体202上的抽气ロ接ロ 201、电磁阀接ロ 204、排沙ロ 203构成。真空泵I的抽气ロ与储压罐2的抽气ロ接ロ 201连接，储压罐2的电磁阀接ロ 204与电磁阀3的一端连接，电磁阀3的另一端与过滤罐4连接。抽吸时，将生产石英坩埚用抽真空装置与石英坩埚冷却水套连接，关闭电磁阀3，将真空泵I打开，使储压罐2内形成负压环境；打开电磁阀3，真空泵I与储压罐2的抽吸カ叠加，快速将石英坩埚与石英坩埚冷却水套的空气抽出。
权利要求1.一种生产石英坩埚用抽真空装置，包括真空泵、电磁阀、过滤罐，所述的过滤罐与电磁阀连接，其特征是所述真空泵的抽气ロ连接有储压罐，所述储压罐与所述电磁阀连接。
2.如权利要求I所述的生产石英坩埚用抽真空装置，其特征是所述储压罐由罐体，设在罐体上的抽气ロ接ロ、电磁阀接口和排沙ロ构成。
专利摘要一种生产石英坩埚用抽真空装置，包括真空泵、电磁阀、过滤罐，所述的过滤罐与电磁阀连接，其特殊之处是所述真空泵的抽气口连接有储压罐，所述储压罐与所述电磁阀连接。由于增设了储压罐，工作时将电磁阀关闭、真空泵打开，使储压罐内形成负压环境，打开电磁阀，真空泵与储压罐的抽吸力叠加，快速将石英坩埚与石英坩埚冷却水套的空气抽出，缩短了抽吸过程耗费时间，提高了石英坩埚的生产效率。
文档编号C03B20/00GK202499801SQ201220140859
公开日2012年10月24日 申请日期2012年4月6日 优先权日2012年4月6日
发明者侯建, 王震 申请人:锦州佑鑫石英科技有限公司