技术总结
本实用新型提供一种MOCVD设备的清洁装置，包括：支架；摆动电机，所述摆动电机设置在支架上；激光发生器，所述激光发生器与所述摆动电机的输出轴连接，以使激光发生器在摆动电机驱动下在竖直方向上转动。该MOCVD设备的清洁装置，具有激光发生器，采用激光剥离晶体，实现MOCVD设备的高质量和高效率的清洁，而且该清洁装置的激光发生器可转动，方便对被清洁部件各个角度的清洁，适用于各种环境条件。
技术研发人员：肖怀曙
受保护的技术使用者：惠州比亚迪实业有限公司
文档号码：201720183322
技术研发日：2017.02.28
技术公布日：2017.09.29