一种旋转靶绑定装置的制作方法

本实用新型涉及靶制造技术领域，尤其是涉及一种旋转靶绑定装置。

背景技术：

溅射靶材通常有两类：平面靶材和旋转靶材。与传统的平面靶相比，旋转靶可以进行360°的旋转，使旋转靶的利用率达到80%，而平面靶的利用率仅为20%至30%。并且，采用旋转靶的溅射设备中的气体分布均匀，可以使制备的薄膜具有较好的均匀性。同时，旋转靶还可以实现较高的溅射速率。为了实现大面积地制备薄膜，现有的旋转靶是由多段旋转靶材拼接而成的，在各旋转靶材旋转的过程中，由于各旋转靶材之间的拼接处始终对应基板的同一位置，基板上与拼接处对应的薄膜的性能和与非拼接处对应的薄膜的性能存在差别，致使旋转靶的镀膜质量较差。

而现在旋转靶固定处理常通过铟的熔化接合来完成， 铟是周期表的第 13 族 ( 硼族 ) 的稀有金属元素，不仅价格昂贵，而且熔点低、中间层较厚（0.3-0.5mm）、耐热性较差和容易流动，导致靶材使用时会产生脱靶现象，另一方面，铟对人体和环境有害；也有直接使用胶结绑定或者采用机械扣结，但是也会由于绑定不牢靠产生脱靶现象。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服现有技术中的缺陷，提供一种结构简单、制作成本低、溅射效果好和使用寿命长的旋转靶绑定装置。

为实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：

一种旋转靶绑定装置，包括背管和靶管，所述背管和靶管之间设有中间层，背管的底端设有模芯，模芯外设有模座，模座下面设有底盘，底盘下面设有螺柱，底盘经螺柱与推板连接，推板下面设有油压机，螺柱与中间层之间设有滑块。

优选的，所述背管为管状的不锈钢管。

优选的，所述靶管为钨管。

优选的，所述中间层的材质为铅锡合金。

优选的，所述铅锡合金的厚度为0.05-0.3mm。

优选的，所述螺柱有两个，并分别位于底盘的两端。

优选的，所述背管的上端设有端口。

优选的，所述滑块有两个，并分别位于螺柱的上面。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型的中间层采用铅锡合金将背管和靶管绑定连接，由于铅锡合金的性能稳定，熔点低，流动性好，并且固化后不会产生流动 , 可以替代昂贵的铟金属，节省了成本。本实用新型提供了一种结构简单、制作成本低、溅射效果好和使用寿命长的旋转靶绑定装置。

附图说明

图1为本实用新型的示意图；

图2为本实用新型图1中A-A的剖面示意图；

图示标记：1：背管；2：靶管；3：模座；4：模芯；5：滑块；6：底盘；7：端口；8：螺柱；9：推板；10：油压机；11：中间层。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步描述。

如图1和2所示的一种旋转靶绑定装置，包括背管1和靶管2，所述背管1和靶管2之间设有中间层11，背管1的底端设有模芯4，模芯4外设有模座3，模座3下面设有底盘6，底盘6下面设有螺柱8，底盘6经螺柱8与推板9连接，推板9下面设有油压机10，螺柱8与中间层11之间设有滑块5；所述背管1的上端设有端口7；所述螺柱8有两个，分别位于底盘6的两端；所述滑块5有两个，分别位于螺柱8的上面；所述背管1为管状的不锈钢管；所述靶管2为钨管；所述中间层11的材质为铅锡合金，所述铅锡合金的厚度为0.05-0.3mm。

本实用新型中背管1与靶管2由中间层11连接，油压机10推动滑块5前进将铅锡合金打入背管1和靶管2的缝隙，形成中间层11，靶管2靶材外部有加热系统，使铅锡合金为液态情况下，很快的冲入中间层11内，再使其冷却，其固化后将背管1和靶管2绑定同时旋转。