技术总结
本实用新型提供一种气源及半导体加工设备，其包括用于盛放液源的腔体和用于加热该液源的加热装置，该加热装置包括加热件和棒状热电偶，其中，加热件用于加热热源；棒状热电偶自腔体的外部贯穿腔体，并延伸至液源中，用于直接检测液源的温度。本实用新型提供的气源，其可以避免因温度反馈不及时而造成液源的实际温度下降的问题，从而提高了控温稳定性。
技术研发人员：张军;郑波;马振国;徐刚;文莉辉;胡云龙;吴鑫;王春;王晓娟;储芾坪
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2017.09.21
技术公布日：2018.08.14