掩膜板、蒸镀装置及显示装置的制造方法与流程

文档序号:15457816发布日期:2018-09-15 01:40阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种掩膜板、蒸镀装置及显示装置的制造方法,所述掩膜板的各个用于蒸镀材料的开口的周边设置有多个对位孔,能够通过控制每个开口周边的对位孔的位置来控制掩膜板的位置精度以及边框精度,增加张网的可靠性;同时还可以利用这些对位孔分散开口间区域处的应力,减少应变,降低掩膜板褶皱,提高掩膜板的平坦度,增加掩膜板与待蒸镀基板的贴合精度,从而提升蒸镀良率和生产良率,尤其是对于高PPI和窄边框产品提升非常明显。

技术研发人员:赵莹;李俊峰;高峰;甘帅燕
受保护的技术使用者:昆山国显光电有限公司
技术研发日:2018.05.31
技术公布日:2018.09.14
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