技术总结
本实用新型公开了一种基板自动翻转装置，其特征在于，包括安装板(1)，设置在安装板(1)上的驱动装置，设置在驱动装置相连接的齿盘(5)，以及与驱动装置相连接的翻转组件；所述翻转组件还与齿盘(5)相连接。本实用新型结构简单，使用方便，生产与使用的成本较低，该装置通过设置的翻转组件与设置在驱动装置上的齿盘相配合，能使安装在翻转组件上的基板实现翻转，即基板的上下表面均可与靶材分子充分接触，从而确保了本实用新型的基板上下表面均可承载基片，有效的提高了阻蒸镀膜机的镀膜效率。
技术研发人员：孙力;杨小军;张韬
受保护的技术使用者：成都西沃克真空科技有限公司
技术研发日：2018.03.26
技术公布日：2018.12.21