一种镀膜机的制作方法

文档序号:17875818发布日期:2019-06-12 00:27阅读:166来源:国知局
一种镀膜机的制作方法

本实用新型涉及表面加工领域,特别是涉及一种镀膜机。



背景技术:

随着近年来科技不断的进步以及触控显示产品行业的发展,3D曲面玻璃在移动终端,例如手机中越来越普及。所谓3D曲面玻璃,即具有两个弯曲面的玻璃,通常被用作手机中的屏幕盖板。

在现有技术中,现阶段常规使用的镀膜机中,具有两个曲面的3D曲面玻璃通常无法完整的贴合在镀膜机的滚筒表面,从而使得在使用传统镀膜机时,会导致在3D曲面玻璃上镀的膜层的厚度出现严重不均匀的情况。所以如何在3D曲面玻璃上镀厚度均匀的膜层时本领域技术人员在现阶段急需解决的问题。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种镀膜机,可以在3D曲面玻璃表面镀厚度均匀的膜层。

为解决上述技术问题,本实用新型提供一种镀膜机,所述镀膜机包括至少两个滚筒、滚筒载盘、滚筒马达、靶材和ICP;

所述滚筒的侧壁用于放置3D曲面玻璃,所述滚筒的直径的取值范围为:50mm至400mm,包括端点值;所述滚筒与所述滚筒载盘固定连接,所述滚筒载盘用于将任一所述滚筒移动至预设位置;所述滚筒马达用于使位于所述预设位置的滚筒沿该滚筒周向旋转;所述靶材的输出口朝向所述预设位置,用于向位所述预设位置的滚筒侧壁的3D曲面玻璃表面沉积粒子;所述ICP的输出口朝向所述预设位置,用于将沉积在所述3D曲面玻璃表面的粒子氧化。

可选的,所述靶材的输出口与所述ICP的输出口位于同一水平面。

可选的,所述滚筒载盘为一圆环形滚筒载盘,所述镀膜机还包括滚筒载盘马达,所述滚筒载盘马达用于使所述滚筒载盘沿周向转动。

可选的,所述滚筒载盘马达的输出轴固定连接有第一锥齿轮,所述滚筒载盘固定连接有与所述第一锥齿轮相互啮合的第二锥齿轮。

可选的,所述滚筒通过一转轴与所述滚筒载盘固定连接。

可选的,所述镀膜机还包括用于升降所述滚筒马达的直线驱动装置,所述直线驱动装置与所述滚筒马达固定连接,所述滚筒马达具有一输出轴,所述输出轴的端部具有一凸块,所述滚筒的上表面或下表面具有与所述凸块相配合的凹槽,以使所述输出轴嵌入所述滚筒。

可选的,所述直线驱动装置为气缸。

可选的,所述凸块为三棱柱型凸块,所述凹槽为三棱柱型凹槽。

可选的,所述镀膜机还包括外壳体,所述滚筒、所述滚筒载盘、所述滚筒马达、所述靶材和所述ICP均设置于所述外壳体内。

可选的,所述镀膜机包括5个所述滚筒。

本实用新型所提供的一种镀膜机,具有至少两个滚筒,且滚筒的直径的取值范围在50mm至400mm之间,具有该直径的滚筒的侧壁可以很好的贴合现阶段常用的3D曲面玻璃,不会使得3D曲面玻璃明显突出滚筒的侧壁,从而实现在3D曲面玻璃表面镀厚度均匀的膜层。上述滚筒马达会使滚筒旋转以通过靶材以及ICP对该滚筒表面贴附的3D曲面玻璃进行镀膜,同时上述滚筒载盘可以依次将滚筒运输到预设位置,从而可以实现在一次镀膜过程中对大量的3D曲面玻璃进行镀膜,以解决由于减少滚筒直径而带来的单次镀膜产能低下的问题。

附图说明

为了更清楚的说明本实用新型实施例或现有技术的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例所提供的一种镀膜机的俯视结构示意图;

图2为本实用新型实施例所提供的一种具体的镀膜机的正视结构示意图。

图中:1.滚筒、11.3D曲面玻璃、2.滚筒载盘、21.滚筒载盘马达、3.滚筒马达、31.直线驱动装置、4.靶材、5.ICP、6.外壳体。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供一种镀膜机。在现有技术中,镀膜机通常仅仅具有一个直径大约在1.5m至2.0m之间的滚筒,在将3D曲面玻璃贴附在滚筒侧壁之后,通过靶材以及ICP在3D曲面玻璃表面设置膜层。但是由于滚筒的直径过大,会使得3D曲面玻璃无法良好的贴附在滚筒侧壁表面,从而在给3D曲面玻璃镀膜时,对在3D曲面玻璃表面镀的膜层的厚度出现严重不均匀的情况。

而本实用新型所提供的一种镀膜机,具有至少两个滚筒,且滚筒的直径的取值范围在50mm至400mm之间,具有该直径的滚筒的侧壁可以很好的贴合现阶段常用的3D曲面玻璃,不会使得3D曲面玻璃明显突出滚筒的侧壁,从而实现在3D曲面玻璃表面镀厚度均匀的膜层。上述滚筒马达会使滚筒旋转以通过靶材以及ICP对该滚筒表面贴附的3D曲面玻璃进行镀膜,同时上述滚筒载盘可以依次将滚筒运输到预设位置,从而可以实现在一次镀膜过程中对大量的3D曲面玻璃进行镀膜,以解决由于减少滚筒直径而带来的单次镀膜产能低下的问题。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案,下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参考图1,图1为本实用新型实施例所提供的一种镀膜机的俯视结构示意图。

参见图1,在本实用新型实施例中,镀膜机包括至少两个滚筒1、滚筒载盘2、滚筒马达3、靶材4和ICP5;

所述滚筒1的侧壁用于放置3D曲面玻璃11,所述滚筒1的直径的取值范围为:50mm至400mm,包括端点值;所述滚筒1与所述滚筒载盘2固定连接,所述滚筒载盘2用于将任一所述滚筒1移动至预设位置;所述滚筒马达3用于使位于所述预设位置的滚筒1沿该滚筒1周向旋转;所述靶材4的输出口朝向所述预设位置,用于向位所述预设位置的滚筒1侧壁的3D曲面玻璃11表面沉积粒子;所述ICP5的输出口朝向所述预设位置,用于将沉积在所述3D曲面玻璃11表面的粒子氧化。

上述滚筒1通常为圆柱形,该滚筒1的外侧壁通常用于放置3D曲面玻璃11,即3D曲面玻璃11通常贴合在滚筒1的外侧壁上。为了保证现阶段常用的3D曲面玻璃11可以尽可能的贴合在滚筒1外侧壁表面,上述滚筒1的直径的取值范围通常在50mm至400mm之间,包括端点值。即本实用新型实施例所提供的滚筒1的直径可以恰好为50mm,也可以恰好为400mm。当然,在本实用新型实施例中,对于滚筒1的高度并不做具体限定,视具体情况而定。

上述至少两个滚筒1通常均设置在滚筒载盘2的表面,通常滚筒1是设置在滚筒载盘2的上表面,使得滚筒载盘2托着滚筒1移动。当然上述滚筒也可以设置在滚筒载盘2的下表面,使得滚筒载盘2吊着滚筒1移动。上述滚筒1需要与滚筒载盘2固定连接,但是在本实用新型实施例中滚筒1需要沿自己周向方向发生旋转,即滚筒1需要可以发生自转,相应的通常情况下,滚筒1会通过转轴与滚筒载盘2固定连接。当然,上述滚筒1还可以通过其他方式与滚筒载盘2固定连接,只要上述滚筒1可以在与滚筒1固定连接的同时可以在滚筒马达3的驱动下发生自转即可。

上述滚筒载盘2通常呈一圆环形,滚筒载盘2可以沿自身周向转动,从而带动与滚筒载盘2固定连接的滚筒1移动。有关滚筒载盘2具体的结构将在下述实用新型实施例中做详细介绍,在此不再进行赘述。

上述滚筒载盘2可以将任意一个滚筒1移动到预设位置,从而使得上述ICP5以及靶材4对处于预设位置的滚筒1上设置的3D曲面玻璃11进行镀膜。上述靶材4通常具有一个输出口,该靶材4的输出口需要朝向上述预设位置,从而使得靶材4可以在3D曲面玻璃11表面沉积预设的粒子;上述ICP5为感应耦合等离子,该装置需要连接射频电源,可以将氩气氧气等气体离化后与基材上的薄膜反应生成化合物。上述ICP5通常同样具有一输出口,该ICP5的输出口同样需要朝向上述预设位置,从而使得从ICP5的输出口所喷出的等离子体对沉积在3D全面玻璃表面的粒子氧化,从而实现在3D曲面玻璃11表面镀膜。有关上述靶材4以及ICP5的具体结构可以参照现有技术,在本实用新型实施例中并不做具体限定。

通常情况下,所述靶材4的输出口与所述ICP5的输出口需要位于同一水平面,从而保证ICP5可以将在3D曲面玻璃11表面沉积的粒子充分氧化。

上述滚筒马达3通常也位于上述预设位置附近,该滚筒马达3可以让处于预设位置的滚筒1沿自身周向旋转,从而保证位于滚筒1侧壁的3D曲面玻璃11均可以进行镀膜。通常情况下,在本实用新型实施例中仅仅设置有一个滚筒马达3,当滚筒1被滚筒载盘2移动在预设位置时,该滚筒马达3可以与处于预设位置的滚筒1结合,从而使得滚筒1旋转对贴附于该滚筒1侧壁的3D曲面玻璃11进行镀膜;当镀膜完成之后,该滚筒马达3需要与当前处于预设位置的滚筒1分离,此时滚筒载盘2可以将下一个滚筒1移动至预设位置,重复上述步骤即可对全部滚筒1表面贴附的3D曲面玻璃11进行镀膜。

有关上述滚筒马达3的具体结构将在下述实用新型实施例中做详细介绍,在此不再进行赘述。

通常情况下,上述滚筒马达3会带动处于预设位置的滚筒1以每分钟50至100转的速率进行旋转,从而保证在3D曲面玻璃11表面每沉积一定数量的粒子后立马旋转至ICP5的输出口以被ICP5氧化。通常情况下,本实用新型实施例所提供的镀膜机通常具有一外壳体6,上述滚筒1、滚筒载盘2、滚筒马达3、靶材4和ICP5通常均设置于所述外壳体6内。当然,在本实用新型实施例中对于上述外壳体6的具体结构并不做具体限定,视具体情况而定。在本实用新型实施例中,为了保证一次可以在足够数量的3D曲面玻璃11表面镀膜,通常情况下会在滚筒载盘2的表面设置5个滚筒1。当然,在本实用新型实施例中也可以设置其他数量的上述滚筒1,在本实用新型实施例中对于滚筒1的具体数量并不做具体限定,视具体情况而定。

本实用新型实施例所提供的一种镀膜机,具有至少两个滚筒1,且滚筒1的直径的取值范围在50mm至400mm之间,具有该直径的滚筒1的侧壁可以很好的贴合现阶段常用的3D曲面玻璃11,不会使得3D曲面玻璃11明显突出滚筒1的侧壁,从而实现在3D曲面玻璃11表面镀厚度均匀的膜层。上述滚筒马达3会使滚筒旋转以通过靶材4以及ICP5对该滚筒1表面贴附的3D曲面玻璃11进行镀膜,同时上述滚筒载盘2可以依次将滚筒1运输到预设位置,从而可以实现在一次镀膜过程中对大量的3D曲面玻璃11进行镀膜,以解决由于减少滚筒1直径而带来的单次镀膜产能低下的问题。

有关上述滚筒载盘2以及滚筒马达3的具体结构将在下述实用新型实施例中做详细介绍。

请参考图2,图2为本实用新型实施例所提供的一种具体的镀膜机的正视结构示意图。

区别于上述实用新型实施例,本实用新型实施例是在上述实用新型实施例的基础上,进一步的对滚筒载盘2以及滚筒马达3的结构进行具体限定。其余内容已在上述实用新型实施例中进行了详细介绍,在此不再进行赘述。

参见图2,在本实用新型实施例中,所述滚筒载盘2为一圆环形滚筒载盘,所述镀膜机还包括滚筒载盘马达21,所述滚筒载盘马达21用于使所述滚筒载盘2沿周向转动。

在本实用新型实施例中,滚筒载盘2为一圆环形滚筒载盘,相应的滚筒载盘2还连接有一滚筒载盘马达21,该滚筒载盘马达21会使得滚筒载盘2沿周向转动。具体的,在本实用新型实施例中,所述滚筒载盘马达21的输出轴固定连接有第一锥齿轮,所述滚筒载盘2固定连接有与所述第一锥齿轮相互啮合的第二锥齿轮。

上述滚筒载盘马达21的输出轴连接有一个锥齿轮,该锥齿轮在本实用新型实施例中为第一锥齿轮,也为主动锥齿轮;滚筒载盘2同样固定连接有一个锥齿轮,该锥齿轮在本实用新型实施例中为第二锥齿轮,也为从动锥齿轮。上述第一锥齿轮会与第二锥齿轮相互啮合,滚筒载盘马达21会通过第一锥齿轮与第二锥齿轮带动滚筒载盘2沿周向转动。

在本实用新型实施例中,所述镀膜机还包括用于升降所述滚筒马达3的直线驱动装置31,所述直线驱动装置31与所述滚筒马达3固定连接,所述滚筒马达3具有一输出轴,所述输出轴的端部具有一凸块,所述滚筒1的上表面或下表面具有与所述凸块相配合的凹槽,以使所述输出轴嵌入所述滚筒1。

为了便于上述滚筒马达3与滚筒1的连接以及分离,上述滚筒马达3的输出轴的端部具有一凸块,同时在滚筒1的上表面或下表面具有与所述凸块相配合的凹槽,上述凸块可以嵌入至所述凹槽中,从而将滚筒马达3与滚筒1固定连接,使得滚筒马达3可以通过输出轴带动滚筒1沿周向方向旋转;当需要将滚筒马达3与滚筒1相分离时,仅需要将凸块抽离凹槽即可。

为了保证滚筒马达3可以与滚筒1形成良好的契合,上述凸块在本实用新型实施例中优选为三棱柱型凸块,相应的上述凹槽为三棱柱型凹槽。三棱柱型凸块以及凹槽可以保证马达的输出轴在旋转过程中可以向滚筒1传递足够的力,以保证滚筒1转动,同时三棱柱型凸块的耐磨性较高,可以保证滚筒马达3的长时间使用。当然,在本实用新型实施例中对于上述凸块的具体结构并不做具体限定,视具体情况而定,上述凸块可以为其他棱柱或棱锥等结构均可。

为了实现滚筒1与滚筒马达3之间的连接与分离,在本实用新型实施例中滚筒马达3固定连接有一直线驱动装置31,该直线驱动装置31可以控制滚筒马达3的升降,从而通过控制滚筒马达3的升降实现滚筒1与滚筒马达3之间的连接与分离。具体的,上述直线驱动装置31为气缸。将滚筒马达与气缸的一端部固定连接即可通过气缸的伸缩实现滚筒1与滚筒马达3之间的连接与分离。当然,在本实用新型实施例中也可以选用其他的部件作为直线驱动装置31,在本实用新型实施例中对于直线驱动装置31的具体结构并不做具体限定。

本实用新型实施例所提供的一种镀膜机,具体通过上述结构可以使得滚筒载盘2沿轴向转动,从而将滚筒1移动到预设位置;同时通过上述直线驱动装置31可以带动滚筒马达3升降,从而实现滚筒马达3与滚筒1的连接与分离。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处,各个实施例之间相同或相似部分互相参见即可。

最后,还需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上对本实用新型所提供的一种镀膜机进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以对本实用新型进行若干改进和修饰,这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

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