1.一种晶圆载盘，包括第一面与相对于所述第一面的第二面，其特征在于，所述第一面用于容置晶圆，所述第二面具有第一凹槽以及第二凹槽且所述第一凹槽的开口与所述第二凹槽的开口都位于所述第二面，其中所述第一凹槽的旋转轴与所述晶圆载盘的旋转轴重合，所述第二凹槽为环形且位于所述晶圆载盘的边缘。
2.如权利要求1所述的晶圆载盘，其特征在于，所述第一凹槽的深度介于0.1至5mm之间，所述第二凹槽的深度介于0.1至5mm之间。
3.如权利要求2所述的晶圆载盘，其特征在于，所述第二凹槽的深度大于所述第一凹槽的深度。
4.如权利要求1所述的晶圆载盘，其特征在于，所述第一凹槽与所述第二凹槽的所述旋转轴重合。
5.如权利要求1所述的晶圆载盘，其特征在于，所述第一凹槽与所述第二凹槽不相连。
6.如权利要求1所述的晶圆载盘，其特征在于，所述第一凹槽为圆形，所述第一面具有第三凹槽以容置所述晶圆，所述第三凹槽为圆形，且所述第三凹槽于所述第一面上所占面积大于所述第一凹槽与所述第二凹槽于所述第二面上所占面积的和。
7.如权利要求6所述的晶圆载盘，其特征在于，所述第一凹槽、所述第二凹槽与所述第三凹槽的所述旋转轴重合。
8.如权利要求6所述的晶圆载盘，其特征在于，所述第一凹槽的半径与所述第二凹槽于所述旋转轴至所述边缘的方向上的长度的和小于所述第三凹槽的半径。
9.如权利要求1所述的晶圆载盘，其特征在于，所述第一凹槽由斜面与平面组成，且所述平面连接所述斜面。
10.如权利要求9所述的晶圆载盘，其特征在于，所述平面平行于所述第二面，且所述斜面与所述第二面的夹角介于10度至130度之间。