硅片减薄砂轮的制作方法

本实用新型涉及一种硅片减薄砂轮。

背景技术：

电子产品对高性能，多功能、小型化和低成本的需求推动了集成电路(硅片板)制造技术的高速发展，特别是便携式电子产品的飞速发展对硅片提出了越来越高的要求，在保证电性能稳定，成本下降的前提下，必须对硅片进行背面减薄，且要求减薄硅片具有高面型精度，无表面/亚表面损伤。

目前，采用硅片减薄砂轮的超精密磨削技术在硅片的背面减薄加工中得到广泛应用，但是随着硅片尺寸和原始厚度的减小以及减薄厚度的减小，超精密磨削正面临着巨大的挑战，主要体现在：传统的硅片减薄砂轮的磨料层为一整块，容易发热，工作一段时间就要对砂轮进行散热，因此，硅片减薄砂轮磨削效率低下，而且容易导致被加工硅片表面损伤，甚至造成平面精度的下降。

技术实现要素：

本实用新型公开了一种硅片减薄砂轮，以解决上述技术问题的至少一个。

根据本实用新型的一个方面，提供了一种硅片减薄砂轮，包括轮体，轮体的一侧设有至少一圈磨料层，磨料层采用陶瓷结合剂材料制成，磨料层包括多段磨料块，相邻的两个磨料块形成有空隙。

本实用新型中，由于采用磨削性能优良陶瓷结合剂，所以磨削力小，磨削温度低，寿命长，经久耐用。同时，本实用新型采用多圈磨料层，而每一圈磨料层又由磨料块组成，磨料块之间形成有空隙，通过空隙可以很好的散热，在一定程度上可以延长本实用新型的工作时间，从而增大工作效率，并且空隙还可以容纳大量的废屑，只需要在工作工程中利用磨削液将废屑排出，即可保证排屑和散热功能。

在一些实施方式中，轮体呈圆形，轮体的中间设有通孔。由此，通孔的内壁上可以设置内螺纹，从而使得轮体能够以螺纹连接的方式固定在外部电机的转轴上。

在一些实施方式中，磨料层有三圈，相邻两圈的磨料块交错排布。由此，采用三圈交错的磨料块排布，相对于单圈排布的方式而言更加经久耐用，磨料颗粒所受摩擦力更小，表面抛光性能更好。

在一些实施方式中，轮体的一侧设有台阶。由此，台阶可以方便本实用新型的安装，同时，台阶可以减少使用材料，节省成本。

在一些实施方式中，轮体的另一侧设有一圈凹槽，凹槽上设有进液孔。由此，可以将方便第一时间将磨削液注入到进液孔中，从而冲刷磨料层，降温和排屑。

进一步，进液孔倾斜排布。

在一些实施方式中，轮体采用高密度铝材料制成。由此，高密度铝材料制成的轮体可以便于机械加工，同时轮体1本身更为轻便。

附图说明

图1为本实用新型一种实施方式的硅片减薄砂轮的主视图。

图2为图1所示硅片减薄砂轮沿A-A方向的剖面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细的说明。

图1和图2示意性的显示了本实用新型一种实施方式的硅片减薄砂轮的结构。

如图1和图2所示，一种硅片减薄砂轮，包括轮体1，图1中轮体1的前侧面(或者称为前端面)上(图2中的左侧面，或者图2的左端面)成型有至少一圈磨料层2，磨料层2采用陶瓷结合剂材料制成，磨料层2包括多段磨料块21，相邻的两个磨料块21形成有空隙211。

如图1所示，在轮体1的前侧面上成型有凹槽，将磨料层2中的磨料块21卡入并固定到凹槽中即为上述的：轮体1的前侧面上成型有至少一圈磨料层2。

如图1所示，轮体1优选为呈圆形，轮体1的中间设有通孔11，通孔11的内壁上可以设置有内螺纹，从而使得轮体1能够以螺纹连接的方式固定在外部电机的转轴上。

在本实施例中，磨料层2优选有三圈，相邻两圈的磨料块21交错排布，交错排布是指，如图1所示，外圈的磨料块21和内圈的磨料块21的一端位于中间圈的磨料块21的中间位置处，采用三圈交错的磨料块21排布，相对于单圈排布的方式而言更加经久耐用，磨料颗粒所受摩擦力更小，表面抛光性能更好。在其他实施例中，磨料层2还可以是四圈、六圈等，可以根据不同的使用需求来改变磨料层2的数量。

如图2所示，在本实施例中，轮体1的前侧面上成型有台阶12，台阶12呈圆形。台阶12可以方便本实用新型的安装，同时，台阶12可以减少使用材料，节省成本。

如图2所示，轮体1的右侧(图1的后侧面上，被隐藏)成型有一圈凹槽13，凹槽13上设有进液孔131。可以将方便第一时间将磨削液注入到进液孔131中，从而冲刷磨料层2，降温和排屑。即将磨削液冲进液孔131注入时，磨削液从进液孔131进入到有磨料层2的一侧并进行冲洗已经产生的废屑。

进一步，进液孔131倾斜排布。倾斜排布是指，进液孔131的轴线方向与轮体1的轴线方向呈一定的夹角，这样排布的好处是：由于轮体1在磨削过程中会进行转动，如果进液孔131的轴线方向与轮体1的轴线方向相同，那么磨削液由于受到离心力的作用，很容易从进液孔131中甩出，造成清洗效果不佳。

在本实施例中，轮体1采用高密度铝材料制成。高密度铝材料制成的轮体1可以便于机械加工，同时轮体1本身更为轻便。在其他实施例中，轮体1还可以采用有机高分子材料制成，有机高分子材料制成的轮体1可以节省制作成本。

本实用新型中，由于磨料层2可以采用磨削性能优良的陶瓷结合剂，所以磨削力小，磨削温度低，寿命长，经久耐用。同时，本实用新型采用多圈磨料层2(优选为三圈)，而每一圈磨料层2又由磨料块21组成，磨料块21之间形成有空隙211，通过空隙211可以很好的散热，在一定程度上可以延长本实用新型的工作时间，从而增大工作效率，并且空隙211还可以容纳大量的废屑，只需要在工作工程中将磨削液从进液孔131注入，然后就可以对废屑进行冲洗，从而保证排屑和散热功能。

以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。