1.一种硅片减薄砂轮,其特征在于,包括轮体(1),所述轮体(1)的一侧设有至少一圈磨料层(2),所述磨料层(2)采用陶瓷结合剂材料制成,所述磨料层(2)包括多段磨料块(21),相邻的两个磨料块(21)形成有空隙(211),所述空隙(211)用于排屑或者排磨削液。
2.根据权利要求1所述的硅片减薄砂轮,其特征在于,所述轮体(1)呈圆形,所述轮体(1)的中间设有通孔(11)。
3.根据权利要求2所述的硅片减薄砂轮,其特征在于,所述磨料层(2)有三圈,相邻两圈的磨料块(21)交错排布。
4.根据权利要求3所述的硅片减薄砂轮,其特征在于,所述轮体(1)的一侧设有台阶(12),所述台阶(12)呈圆形。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的硅片减薄砂轮,其特征在于,所述轮体(1)的另一侧设有一圈凹槽(13),所述凹槽(13)上设有进液孔(131)。
6.根据权利要求5所述的硅片减薄砂轮,其特征在于,所述进液孔(131)倾斜排布。
7.根据权利要求6所述的硅片减薄砂轮,其特征在于,所述轮体(1)采用高密度铝材料制成。