加工装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及对圆板状的工件进行加工的加工装置。
【背景技术】
[0002]在将晶片等圆板状的工件磨削得较薄、或者对其进行热加工时，存在工件发生翘曲的情况。在对像这样存在翘曲的工件进行磨削或研磨的情况下，在工件保持翘曲的状态下无法将工件可靠地保持于卡盘工作台。因此，提出了一种通过按压垫来按压工件的外周区域以矫正翘曲并将工件保持在卡盘工作台上的加工装置(例如，参照专利文献I)。
[0003]专利文献1:日本特开2009-107097号公报
[0004]可是，在专利文献I所记载的加工装置中，搬送机构需要这样的气缸:该气缸使按压垫与吸附着工件进行搬送的吸附垫分开地沿按压方向进退，因此结构变得复杂。并且，如果装置的结构变得复杂，则相应地容易发生故障，因此，例如需要配设用于识别按压垫是否正常进退的传感器等，从而使结构变得更加复杂。
【发明内容】
[0005]本发明是鉴于这样的问题而完成的，其目的在于，不使装置结构复杂化就能够矫正工件的翘曲而将工件可靠地保持在卡盘工作台上。
[0006]本发明的加工装置具备:临时载置工作台，其临时载置圆板状的工件；卡盘工作台，其保持该工件；搬送构件，其将临时载置于该临时载置工作台的该工件搬送至该卡盘工作台；以及加工构件，其对保持于该卡盘工作台的该工件进行加工，其中，该搬送构件具备:保持机构，该保持机构具备:搬送垫，其具有对该工件的中心部分进行吸附保持的吸附面；按压部件，其具有内径比该搬送垫的外径大的环状的按压面；以及进退部，其能够使该搬送垫至少在该吸附面从该按压面突出的位置与该吸附面处于和该按压面相同的平面上的位置之间沿着垂直于该吸附面的方向进退；升降构件，其使该保持机构相对于该临时载置工作台或该卡盘工作台接近和离开；以及移动构件，其使该保持机构从该临时载置工作台的上方向该卡盘工作台的上方移动，该升降构件使保持有该工件的该保持机构向接近该卡盘工作台的方向移动，并将该工件压靠至该卡盘工作台，由此，使该进退部动作，将该吸附面定位在与该按压面相同的平面上，由该卡盘工作台保持该工件。
[0007]优选的是，在所述保持机构中具备施力构件，该施力构件对所述搬送垫朝向所述临时载置工作台或所述卡盘工作台施力。
[0008]根据本发明的加工装置，通过将工件压靠至卡盘工作台，来使进退部动作，将吸附面定位在与按压面相同的平面上，因此，不使按压部件进退就能够矫正工件的翘曲，能够将工件可靠地保持在卡盘工作台上。由于无需使按压部件进退，因此也不需要用来识别按压部件是否正常进退的传感器。因此，不会使加工装置的结构复杂化，能够降低制造成本和故障发生率。
【附图说明】
[0009]图1是示出加工装置的侧剖视图和示出搬送构件的仰视图。
[0010]图2是示出工件被保持于临时载置工作台的状态的侧剖视图。
[0011]图3是示出搬送构件保持着被保持于临时载置工作台上的工件的状态的侧剖视图。
[0012]图4是示出搬送构件将工件从临时载置工作台搬出的状态的侧剖视图。
[0013]图5是示出搬送构件将工件搬入卡盘工作台的状态的侧剖视图。
[0014]图6是示出搬送构件将工件载置于卡盘工作台的状态的侧剖视图。
[0015]图7是示出搬送构件将工件按压至卡盘工作台的状态的侧剖视图。
[0016]图8是示出工件被保持于卡盘工作台上的状态的侧剖视图。
[0017]标号说明
[0018]10:加工装置；11:临时载置工作台；12:搬送构件；20:保持机构；21:搬送垫；211:吸附面；22:按压部件；221:按压面；23:支承部件；231:贯穿孔；24:轴；241:轴部；242:抵接部；25:施力构件；26:升降构件；13:卡盘工作台；131:保持面；14:加工构件；30:工件。
【具体实施方式】
[0019]图1所示的加工装置10具备:临时载置工作台11，其临时载置晶片等圆板状的工件；搬送构件12，其搬送在临时载置工作台11上临时载置的工件；卡盘工作台13，其保持被搬送构件12搬送来的工件；和加工构件14，其对保持于卡盘工作台13的工件进行加工。加工构件14具有对工件实施例如磨削或研磨等加工的功能。
[0020]卡盘工作台13具有与XY平面平行的保持面131，吸附保持在保持面131上载置的工件。如果工件存在翘曲，则在工件与保持面131之间会出现间隙，因此，存在无法良好地吸附工件的情况。例如，在将工件磨削得较薄或对工件进行了热处理加工的情况等时，存在工件发生翘曲的情况。为了可靠地保持这样的工件，需要在吸附开始时矫正工件的翘曲以缩小工件与保持面131之间的间隙。
[0021]搬送构件12具备:保持机构20，其保持要搬送的工件；升降构件26，其使保持机构20在土Z方向移动；和未图示的移动构件，其使保持机构20和升降构件26在XY平面内移动。
[0022]保持机构20具备:搬送垫21，其具有与XY平面平行的吸附面211 ;按压部件22，其具有与XY平面平行的环状的按压面221 ;支承部件23，其支承按压部件22 ;轴24，其贯穿在支承部件23上设置的贯穿孔231 ;和施力构件25，其对搬送垫21向下方(-Z方向:接近临时载置工作台11或卡盘工作台13的方向)施力。
[0023]搬送垫21的吸附面211形成为圆形，在该吸附面211上设置有与吸附源连接的十字状的槽211a。通过将工件的中心部分抵靠于吸附面211，并利用吸附源进行吸附，工件被保持于吸附面211。
[0024]支承部件23在末端附近具备与土Z方向平行的贯穿孔231，该贯穿孔231从上(+Z)侧的面贯穿到下(-Z)侧的面。
[0025]按压部件22被固定在支承部件23的-Z侧的面上。按压部件22的按压面221具有比搬送垫21的外径大的内径，该按压面221围绕吸附面211，并且，该按压面221在XY平面内的中心的位置与吸附面211 —致。
[0026]轴24具有:圆柱状的轴部241，其穿过贯穿孔231 ;和圆板状的抵接部242，其被设置于轴部241的+Z侧的端部，搬送垫21被固定在轴部241的-Z侧的端部。抵接部242具有比贯穿孔231的内径大的外径，防止轴24从贯穿孔231脱落。在轴部241和抵接部242中设置有用于连接搬送垫21和吸附源的吸附孔。
[0027]施力构件25例如是被夹在搬送垫21的+Z侧的面与支承部件23的-Z侧的面之间的弹簧。
[0028]搬送垫21的吸附面211比按压部件22的按压面221向-Z方向突出。当从-Z方向施加将吸附面211向上方压入的力时，搬送垫21向+Z方向移动。搬送垫21至少能够移动至使吸附面211与按压面221位于同一平面上的位置。这样，轴24与支承部件23的贯穿孔231作为能够使搬送垫21沿着垂直于吸附面211的方向进退的进退部起作用。
[0029]升降构件26对支承部件23进行支承，使支承部件23在土Z方向移动。由此，整个保持机构20上下升降，当搬送垫21位于卡盘工作台13的上方时，搬送垫21接近或远离卡盘工作台13，当搬送垫21位于临时载置工作台11的上方时，搬送垫21接近或远离临时载置工作台11。未图示的移动构件使保持机构20在XY平面内移动，由此，保持机构20至少能够在卡盘工作台13的上方与临时载置工作台11的上方之间移动。
[0030]接下来，对至搬送构件12将临时载置在临时载置工作台11上的工件搬送至卡盘工作台13并由卡盘