运动，从而在加工曲面等复杂形状时，可以先设定好研磨工具80的运动轨迹，使研磨工具80主动跟随工件表面形状，使研磨工具80可以紧密贴合工件表面，保证工件上的各点受到比较平均和一致的抛光压力，实现高精度抛光，以对工作表面进行打磨光整；另外，对于工作表面的瑕疵可以直接主动修复，提高工作表面精度。
[0025]进一步地，三轴移动平台包括升降机构30、横向移动机构20和纵向移动机构10 ;升降机构30安装在横向移动机构20上，横向移动机构20安装于纵向移动机构10上，升降机构30可以带动摇摆机构40升降，进而带动研磨工具80升降；横向移动机构20带动升降机构30沿X轴移动，进而带动研磨工具80沿X轴移动；纵向移动机构10带动横向移动机构20沿Y轴移动，进而带动研磨工具80沿Y轴移动。
[0026]进一步地，升降机构30包括竖直设置的升降丝杆32、安装于升降丝杆32上的升降螺母33、驱动升降丝杆32转动的升降驱动电机34和支撑升降丝杆32的升降支撑座31，升降支撑座31安装于横向移动机构20上，摇摆机构40与升降螺母33相连，升降驱动电机34安装于升降支撑座31上。升降驱动电机34驱动升降丝杆32转动，带动升降螺母33升降移动，进而带动摇摆机构40升降。使用丝杆传动，可以更精确的控制研磨工具80升降，提高研磨工具80运动的精度，提高抛光精度。在其它实施例中，可以使用齿轮齿条等传动机构。
[0027]进一步地，升降支撑座31的两侧还安装有升降滑轨35，各升降滑轨35竖直设置，各升降滑轨35上滑动安装有升降滑块36，各升降滑块36与摇摆机构40相连。在升降支撑座31上设置升降滑轨35，并设置升降滑块36与摇摆机构40相连，不仅可以更稳定的支撑住摇摆机构40，保证摇摆机构40平稳运动，还可以保证摇摆机构40平稳升降，进而提高研磨工具80运动轨迹的精准性，提高抛光精度。
[0028]进一步地，横向移动机构20包括沿X轴设置的横向丝杆22、安装于横向丝杆22上的横向螺母23、驱动横向丝杆22转动的横向驱动电机24和支撑横向丝杆22的横向支撑座21，横向支撑座21安装于纵向移动机构10上，升降机构30与横向螺母23相连，横向驱动电机24安装于横向支撑座21上。横向驱动电机24驱动横向丝杆22转动，带动横向螺母23沿X轴移动，进而带动升降机构30沿X轴移动。使用丝杆传动，可以更精确的控制研磨工具80横向，提高研磨工具80运动的精度，提高抛光精度。在其它实施例中，也可以使用齿轮齿条等传动机构。
[0029]进一步地，横向移动机构20还包括横向支板27，升降机构30安装在横向支板27上，横向支板27与横向螺母23相连。设置横向支板27可以更平稳的支撑住升降机构30。
[0030]进一步地，横向支撑座21的相对两侧安装有横向滑轨25，各横向滑轨25沿X轴设置，各横向滑轨25上安装有用于支撑横向支板27的横向滑块26 ;设置横向滑轨25及横向滑块26，以更为平稳的支撑住升降机构30，并保证升降机构30能平稳的沿X轴运动，进而带动研磨工具80平稳沿X轴移动。
[0031]为了保证横向丝杆22平稳、灵活的转动，横向支撑座21的两端安装有支撑横向丝杆22的横向支座28。进一步地，横向支撑座21的横截面呈U型，以便安装横向丝杆22，减少该横向移动机构20的体积。而横向滑轨25安装在U型横向支撑座21的两端。
[0032]进一步地，纵向移动机构10包括沿Y轴设置的纵向丝杆12、安装于纵向丝杆12上的纵向螺母13、驱动纵向丝杆12转动的纵向驱动电机14和支撑纵向丝杆12的纵向支撑座11，横向移动机构20与纵向螺母13相连，纵向驱动电机14安装于纵向支撑座11上。纵向驱动电机14驱动纵向丝杆12转动，带动纵向螺母13沿Y轴移动，进而带动横向移动机构20沿Y轴移动。使用丝杆传动，可以更精确的控制研磨工具80纵向，提高研磨工具80运动的精度，提高抛光精度。在其它实施例中，也可以使用齿轮齿条等传动机构。
[0033]进一步地，纵向移动机构10还包括纵向支板17，升降机构30安装在纵向支板17上，纵向支板17与纵向螺母13相连。设置纵向支板17可以更平稳的支撑住升降机构30。
[0034]进一步地，纵向支撑座11的相对两侧安装有纵向滑轨15，各纵向滑轨15沿Y轴设置，各纵向滑轨15上安装有用于支撑纵向支板17的纵向滑块16 ;设置纵向滑轨15及纵向滑块16，以更为平稳的支撑住升降机构30，并保证升降机构30能平稳的沿Y轴运动，进而带动研磨工具80平稳沿Y轴移动。
[0035]为了保证纵向丝杆12平稳、灵活的转动，纵向支撑座11的两端安装有支撑纵向丝杆12的纵向支座18。进一步地，纵向支撑座11的横截面呈U型，以便安装纵向丝杆12，减少该纵向移动机构10的体积。而纵向滑轨15安装在U型纵向支撑座11的两端。为了更好的安放纵向支座18的底部还设有支块19。
[0036]进一步地，摇摆机构40包括支撑板41、支撑轴42、摇摆齿轮43、主动齿轮45和摇摆驱动电机44。支撑板41与三轴移动平台相连，从而支撑住整个摇摆机构40。支撑轴42固定于支撑板41上，摇摆齿轮43安装于支撑轴42上，主动齿轮45与摇摆齿轮43啮合，并且主动齿轮45与摇摆驱动电机44相连，支撑臂70的一端与摇摆齿轮43相连，摇摆驱动电机44安装于支撑板41上。摇摆驱动电机44驱动主动齿轮45转动，推动摇摆齿轮43在支撑轴42上转动，带动支撑臂70摆动，进而带动研磨工具80摆动。
[0037]本实施例中，摇摆齿轮43仅为大半个齿轮盘，以降低该高精度光整设备100的重量，减少该高精度光整设备100的体积。在其它实施例中，也可以使用整块齿轮盘制作摇摆齿轮43。支撑板41与升降机构30的升降螺母33相连，并且升降滑块36与支撑板41相连。
[0038]进一步地，摇摆机构40还包括固定板46，固定板46安装在支撑板41上，而摇摆驱动电机44固定在固定板46。设置固定板46，以方便将摇摆驱动电机44安装在支撑板41上。
[0039]进一步地，该摇摆机构40还包括至少一套夹持机构50，夹持机构50安装于支撑板41上。夹持机构50用于支撑摇摆齿轮43相对两面上，从而可以通过夹持机构50来支撑住摇摆齿轮43，减少摇摆齿轮43沿支撑轴42的轴向的跳动，更好的保证摇摆齿轮43平稳转动。本实施例中，夹持机构50为两套，间隔安装在支撑板41上，以保证摇摆齿轮43平稳转动。在其它实施例中，也可以设置其它数量的夹持机构50。
[0040]请参阅图3、图4和图5，进一步地，各夹持机构50包括用于夹持摇摆齿轮43相对两面的夹持轴承53、分别支撑两个夹持轴承53的两个支撑块52和支撑两个支撑块52的定位板51，定位板51安装于支撑板41上。通过两个夹持轴承53来支撑住摇摆齿轮43相对两面，可以减少夹持轴承53对摇摆齿轮43的摩擦力，使摇摆齿轮43平稳、灵活的转动，使摇摆齿轮43旋转跳动减小到最低。
[0041]进一步地，各夹持机构50还包括调节滑轨55、第一侧板54和两个锁定螺杆56 ;两个支撑块52滑动安装于调节滑轨55上，调节滑轨55横向安装于定位板51上，第一侧板54设置于调节滑轨55 —端，第一侧板54安装于定位板51上；两个锁定螺杆56安装于第一侧板54上，并且两个锁定螺杆56分别与两个支撑块52相连，两个锁定螺杆56分别用于锁定各支撑块52。设置调节滑轨55，并将两个支撑块52滑动安装在调节滑轨55上，可以根据调节各