制备具有高达500mm直径的掺杂石榴石结构的单晶的制作方法与工艺

文档序号:11995476阅读:来源:国知局
技术总结
制备掺杂有稀土氧化物和过渡元素的铝酸镥和铝酸钇单晶在于制备氧化物混合物烧结物,所述烧结物被充分熔化并均匀化至少一小时的时间段。单晶种具有8×8mm的最小尺寸和100mm的长度。晶体生长率和晶锥的加宽以与晶轴至少60的角度被保持均匀,直至直径为至少100mm坩埚的至少80%直径。之后,其直径继续通过晶体/熔体界面处的温度调节和晶体牵拉和旋转速度得以保持。通过使晶体与熔体分离,同时晶体继续定位在坩埚内部的其中晶体生长的且其中还发生晶体的最终回火的区域内完成该过程。

技术研发人员:金得里希·胡兹维卡;卡雷尔·巴托斯
受保护的技术使用者:克莱托斯波尔公司
文档号码:201280008966
技术研发日:2012.01.10
技术公布日:2017.03.22

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