一种多晶硅用中频熔炼炉冶炼装置制造方法

文档序号:3473010阅读:613来源:国知局
一种多晶硅用中频熔炼炉冶炼装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及中频感应熔炼炉领域,特别涉及一种多晶硅用中频熔炼炉冶炼装置,其装置包括炉体(1),倾炉系统(2),水冷电缆(3),电容器柜(4),电缆(5),电源柜(6),变压器(7),其中,炉体(1),倾炉系统(2),水冷电缆(3),电容器柜(4),电缆(5),电源柜(6),变压器(7)依次连接成一条线,关键是炉体(1)内的炉衬是石墨结构。这样的多晶硅用中频熔炼炉冶炼装置结构紧凑,节能环保,投资少,成本低,流程短,维修方便,满足了客户的要求。
【专利说明】一种多晶硅用中频熔炼炉冶炼装置

【技术领域】
[0001]本发明涉及中频感应熔炼炉领域,特别涉及一种多晶硅用中频熔炼炉冶炼装置。

【背景技术】
[0002]长期以来物理法多晶硅冶炼多采用电弧炉冶炼,其整个装置结构庞大,设备成本高,耗电量大,污染大,维修不便。


【发明内容】

[0003]本发明的目的就在于克服上述现有技术中的不足,而提供了一种多晶硅用中频熔炼炉冶炼装置。
[0004]为实现上述目的,本发明采用的技术方案为:
一种多晶硅用中频熔炼炉冶炼装置,其特征在于,包括炉体,倾炉系统,水冷电缆,电容器柜,电缆,电源柜和变压器,其安装方式为:所述炉体、倾炉系统、水冷电缆、电容器柜、电缆、电源柜和变压器依次连接成一条线。
[0005]进一步的,所述炉体内炉衬为石墨。
[0006]这样的多晶硅用中频熔炼炉冶炼装置结构紧凑,节能环保,投资少,成本低,流程短,维修方便,满足了客户的要求。

【专利附图】

【附图说明】
[0007]图1是本发明结构示意图。
[0008]其中,1-炉体,2-倾炉系统,3-水冷电缆,4-电容器柜,5-电缆,6_电源柜,7_变压器。

【具体实施方式】
[0009]以下结合附图和具体实施例对本发明做进一步说明。
[0010]如图1,本实施例是针对的多晶硅用中频熔炼炉冶炼装置,由炉体1,倾炉系统2,水冷电缆3,电容器柜4,电缆5,电源柜6和变压器7组成,它们之间依次连接成一条线,炉体I内炉衬采用石墨。
[0011]多晶硅用中频熔炼炉冶炼装置工作过程如下:
向炉体I中放入要熔炼的多晶硅原料,开启电源6,中频电流通过加热电缆5,电容器柜4,水冷电缆3,输入到炉体I感应线圈中,产生的磁场将石墨柑埚加热,石墨坩埚的热能又将多晶硅原料加热,当温度合格,熔炼好后,倾炉系统2将炉内冶炼好的溶液倒出,整个冶炼过程完成。
[0012]关键点是多晶硅不导磁,通过加热石墨,石墨受热将热量导入多晶硅原料,使多晶娃融化,石墨也不污染多晶娃。
[0013]以上是对本发明的具体说明,本方案不仅仅局限在以上实施例中,针对在本方案发明构思下所做的任何改变都将落入本发明保护范围内。
【权利要求】
1.一种多晶硅用中频熔炼炉冶炼装置,其特征在于,包括炉体(1),倾炉系统(2),水冷电缆(3),电容器柜(4),电缆(5),电源柜(6)和变压器(7),其安装方式为:所述炉体(I)、倾炉系统(2)、水冷电缆(3)、电容器柜(4)、电缆(5)、电源柜(6)和变压器(7)依次连接成一条线。
2.根据权利要求1所述一种多晶硅用中频熔炼炉冶炼装置,其特征在于,所述炉体(I)内炉衬为石墨。
【文档编号】C01B33/037GK104418327SQ201310406084
【公开日】2015年3月18日 申请日期:2013年9月9日 优先权日:2013年9月9日
【发明者】魏雷, 魏云鹏 申请人:西安邦合电气设备有限公司
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