技术总结
一种多晶硅锭的制造方法包含以下步骤：(A)将一个装有一硅料并具有一个底壁及一个围绕该底壁的围壁的坩埚设置于一热场内，令该坩埚内的硅料受该热场所加热以熔融成一硅熔汤；(B)于该步骤(A)后，控制该热场由该坩埚的一上方加热，以令接触于该坩埚的底壁处及至少接触邻近该底壁的围壁处的一部分硅熔汤，固化成一个固态硅晶隔离层从而令一剩余硅熔汤的一底部是由该固态硅晶隔离层所包围；及(C)于该步骤(B)后，控制该热场由该坩埚的上方持续加热，且令该坩埚内的剩余硅熔汤由该剩余硅熔汤的底部向上逐渐固化结晶成一个多晶硅锭。因此，在制造多晶硅锭过程中，预先固化形成该固态硅晶隔离层，可以降低最终的多晶硅锭内的氧含量。
技术研发人员：何国桢;蔡亚陆;曾建嘉;杨佳颖
受保护的技术使用者：友达晶材股份有限公司
文档号码：201510479377
技术研发日：2015.08.03
技术公布日：2016.12.07