一种物理气相沉积制备碳化硅晶体的坩埚的制作方法

文档序号:13744004阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种物理气相沉积制备碳化硅晶体的坩埚,包括坩埚本体(1)和坩埚上盖(2),所述坩埚上盖(2)位于坩埚本体(1)的上端,其特征在于,所述坩埚本体(1)内的底部竖直设有多块导热片(10),且导热片(10)之间相互平行,所述坩埚本体(1)的内侧壁上设有凸块(6),所述凸块(6)的上端设有圆形挡板(5),所述圆形挡板(5)上设有通孔,所述圆形挡板(5)的上侧设有多个空心柱(7),所述圆形挡板(5)的下部空间通过通孔与空心柱(7)的内腔连通,所述空心柱(7)远离圆形挡板(5)的一端为封闭结构,所述空心柱(7)以圆形挡板(5)的轴线呈圆周对称,所述空心柱(7)的侧壁等间距设有透气孔(8),所述坩埚上盖(2)的下端设有凹槽,所述凹槽内设有籽晶(3)。2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积制备碳化硅晶体的坩埚,其特征在于,所述导热片(10)的数量为3-6个,所述导热片(10)为波浪形导热片,所述导热片(10)和坩埚本体(1)为一体成型。3.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积制备碳化硅晶体的坩埚,其特征在于,所述空心柱(7)的直径为1.2-1.8mm,所述空心柱(7)的数量为4-12个。4.根据权利要求3所述的一种物理气相沉积制备碳化硅晶体的坩埚,其特征在于,所述空心柱(7)的直径为1.4-1.6mm,所述空心柱(7)的数量为7-9个。5.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积制备碳化硅晶体的坩埚,其特征在于,所述籽晶(3)为圆柱形籽晶。
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