化学气相沉积法合成单晶石墨烯过程中降低晶核密度的方法与流程

文档序号:11147563阅读:来源:国知局
技术总结
本发明属于石墨烯合成技术领域,具体为一种化学气相沉积法合成单晶石墨烯过程中降低晶核密度的方法。在工业化合成大尺寸石墨烯单晶的过程中,晶核密度是决定单晶尺寸的一个重要因素,晶核密度越小,越有利于获得大尺寸的单晶。本发明在控制压力的氧气或氢气气氛下,高温退火处理石墨烯的金属生长基底,并联合计算模拟碳含量在金属表面和内部的演变,优化退火条件,最终得到适合工业标准化生产的低成核密度的金属基底。

技术研发人员:孙正宗;刘冰
受保护的技术使用者:复旦大学
文档号码:201610667259
技术研发日:2016.08.15
技术公布日:2017.05.10

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