一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器的制作方法

文档序号:11887949阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器,其特征是包括蒸散型吸气剂、吸气剂支架、玻璃管道、法兰、过滤网,其中吸气剂支架在玻璃管道的内部,蒸散型吸气剂固定在支架上,法兰封接在玻璃管道上,玻璃管道两端内置过滤网。

2.根据权利要求1所述的一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器,其特征是玻璃管道的两端连接法兰。

3.根据权利要求1所述的一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器,其特征是所述蒸散型吸气剂采用外径大于5mm,高度大于0.8mm的蒸散型吸气剂。

4.根据权利要求1所述的一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器,其特征是所述的吸气剂支架是耐热陶瓷片或玻璃片,吸气剂与支架固定在一起;吸气剂支架长度大于15mm,宽度大于5mm,高度大于5mm。

5.根据权利要求1所述的一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器,其特征是所述的玻璃管道:采用外径(16-200)mm,长度大于100mm的耐高温石英玻璃作为管道,管道内表面同时作为吸气剂蒸散后释出钡膜的载体,纯化过程中惰性气体中的杂质气体在管道内表面与钡膜发生反应而被消除。

6.根据权利要求1所述的一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器,其特征是所述法兰采用不锈钢标准法兰,便于与被纯化系统管道的连接。

7.根据权利要求1所述的一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器,其特征是所述过滤网采用目数大于60目不锈钢过滤网,过滤气体中的固体杂质,防止固体杂质进入被纯化的系统。

8.使用采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器的方法,其特征是包括

(1)通过两端法兰与需纯化的器件相连接,通过三通将纯化器中的空气排出,采用惰性气体冲洗或直接抽真空;

(2)使用高频机从玻璃管道外部对蒸散型吸气剂进行加热激活直至吸气剂将吸气膜蒸散至玻璃管壁上,使惰性气体通过玻璃管道,即可产生纯化作用;

(3)更换吸气剂时,1)将纯化器本从法兰处断开,取出支架和蒸散型吸气剂;

2)使用稀盐酸快速清洗玻璃管道;

3)用去离子水冲洗干净晾干,在支架上更换新的蒸散型吸气剂;

4)放回玻璃管道重新接入纯化器。

9.根据权利要求5所述的使用采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器的方法,其特征是为两级或多级纯化器串联。

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