技术总结
本发明是一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器，包括蒸散型吸气剂、吸气剂支架、玻璃管道、法兰、过滤网，其中吸气剂支架在玻璃管道的内部，蒸散型吸气剂固定在支架上，法兰封接在玻璃管道上，玻璃管道两端内置过滤网。优点在于：纯化能力强：可使惰性气体杂质含量达到1E‑3ppm量级；价格低廉；对杂质气体的吸收能力较强；与被纯化的系统连接方便。通过本发明，可满足一些对惰性气体纯度要求较高，而成本控制相对严格的惰性气体纯化领域，也可与传统的纯化器件联用。
技术研发人员：王浏杰;薛函迎;柴云川;郭卫斌
受保护的技术使用者：南京华东电子真空材料有限公司
文档号码：201611194964
技术研发日：2016.12.22
技术公布日：2017.05.17