一种硅芯棒的制作方法

技术总结
本实用新型涉及一种硅芯棒，它包括硅芯棒本体，所述硅芯棒本体的横截面为圆形或方形或椭圆形，所述硅芯棒本体的横截面周长与硅芯棒本体的长度比为1：（30‑50），在所述硅芯棒本体的上端端部设有连接凹槽，在所述硅芯棒本体的下端端部中间设有定位圆孔。本实用新型不会发生倾斜，多晶硅沉积稳定。

技术研发人员：袁玉平;闫鹏;袁佳斌
受保护的技术使用者：江苏拜尔特光电设备有限公司
文档号码：201620617559
技术研发日：2016.06.22
技术公布日：2017.01.04