一种硅芯棒的制作方法

文档序号:12392743阅读:565来源:国知局

本实用新型涉及一种芯棒,具体涉及一种硅芯棒。



背景技术:

目前,硅芯棒在反应过程中,会出现倾斜,从而导致产品质量降低,浪费资源。在硅芯棒组件中,竖棒和横棒采用钼丝绑在一起,操作繁琐。



技术实现要素:

发明目的:本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种不会发生倾斜,多晶硅沉积稳定的硅芯棒。

技术方案:为了解决上述技术问题,本实用新型所述的一种硅芯棒,它包括硅芯棒本体,所述硅芯棒本体的横截面为圆形或方形或椭圆形,所述硅芯棒本体的横截面周长与硅芯棒本体的长度比为1:(30-50),在所述硅芯棒本体的上端端部设有连接凹槽,在所述硅芯棒本体的下端端部中间设有定位圆孔。

所述硅芯棒本体的横截面周长与硅芯棒本体的长度比为1:45。

所述硅芯棒本体的横截面为圆形,该硅芯棒本体的外径为0.5-3mm。

所述硅芯棒本体的横截面为方形,该硅芯棒本体的厚度为1.5-5.5mm。

有益效果:本实用新型与现有技术相比,其显著优点是:本实用新型整体结构设置合理,在硅芯棒上端部设有连接凹槽,并且采用长度比为1:(30-50)的硅芯棒本体的横截面周长与硅芯棒本体,使硅芯棒重心处于中下部,确保硅芯棒不会发生倾斜,从而有效提高产品质量, 设置连接凹槽,在组合反应时,横棒可以直接放在竖棒上,无需用钼丝捆绑,简化操作步骤,设置定位孔,可以进一步保证硅芯棒不会发生倾斜,采用横截面为椭圆形的硅芯棒,可以加快多晶硅的沉积速率和转化率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。

如图1所示,本实用新型所述的一种硅芯棒,它包括硅芯棒本体1,所述硅芯棒本体1的横截面为圆形或方形或椭圆形,所述硅芯棒本体1的横截面周长与硅芯棒本体1的长度比为1:(30-50),在所述硅芯棒本体1的上端端部设有连接凹槽2,在所述硅芯棒本体1的下端端部中间设有定位圆孔3;所述硅芯棒本体1的横截面周长与硅芯棒本体1的长度比为1:45;所述硅芯棒本体1的横截面为圆形,该硅芯棒本体1的外径为0.5-3mm;所述硅芯棒本体1的横截面为方形,该硅芯棒本体1的厚度为1.5-5.5mm。本实用新型整体结构设置合理,在硅芯棒上端部设有连接凹槽,并且采用长度比为1:(30-50)的硅芯棒本体的横截面周长与硅芯棒本体,使硅芯棒重心处于中下部,确保硅芯棒不会发生倾斜,从而有效提高产品质量, 设置连接凹槽,在组合反应时,横棒可以直接放在竖棒上,无需用钼丝捆绑,简化操作步骤,设置定位孔,可以进一步保证硅芯棒不会发生倾斜,采用横截面为椭圆形的硅芯棒,可以加快多晶硅的沉积速率和转化率。

本实用新型提供了一种思路及方法,具体实现该技术方案的方法和途径很多,以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围,本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。

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