一种碳化硅宝石颗粒湿法工艺炉的制作方法

本实用新型涉及一种工艺炉，尤其涉及一种运用于湿法制作碳化硅宝石颗粒的工艺炉，属于晶体硅制作类领域。

背景技术：

目前，在碳化硅宝石颗粒制作中，市场上的湿法工艺炉在强碱的条件下使用寿命有限，并且控制温度的精度随时间推移在下降，维护和维修都是问题。

在强碱的环境下400多度处理碳化硅宝石颗粒，低温时的碱块在高温时变成液体，有较强的挥发性，同时温度波动尽量小以保证宝石颗粒处理的一致性。湿法工艺炉在强碱的条件下使用寿命很有问题（腐蚀性），并且控制温度的精度也在下降（保温性）。

为此，如何提供一种高寿命的碳化硅宝石颗粒湿法工艺炉，是本实用新型研究的目的。

技术实现要素：

为克服现有技术不足，本实用新型提供一种碳化硅宝石颗粒湿法工艺炉，采用坩埚和电炉的分层结构处理，保证了控制温度的精度和操作的方便性，提高了工艺炉的使用寿命。

为解决现有技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种碳化硅宝石颗粒湿法工艺炉，包括上盖板、上保温箱、下保温箱和控制箱；所述的上保温箱设置在下保温箱之上，所述的下保温箱内部底端设置有电炉，所述的电炉上设置隔离托盘；所述的上保温箱为中空结构，所述的中空结构设置有石墨坩埚；所述的上保温箱上设置有测温支架；所述的上保温箱上端的中空口设置有上盖板；所述的电炉通过导管连接控制箱。

所述的导线外围材质为陶瓷管。

所述的电炉功率采用1KW。

所述的隔离托盘设置有6mm圆边，采用不锈钢材质。

所述的上保温箱和下保温箱采用碳化硅晶体生长炉的软毡材料。

本实用新型的有益效果是：温度控制稳定、腐蚀气体处理、操作方便并且运行成本低。

附图说明

图1为本实用新型的结构拆解示意图。

其中：上盖板1、上保温箱2、下保温箱3、控制箱4、电炉5、隔离托盘6、石墨坩埚7、测温支架8、导管9。

具体实施方式

为了使本领域技术人员能够更加理解本实用新型技术方案，下面结合附图1对本实用新型做进一步分析。

一种碳化硅宝石颗粒湿法工艺炉，包括上盖板1、上保温箱2、下保温箱3和控制箱4；上保温箱2设置在下保温箱3之上，下保温箱3内部底端设置有电炉5，电炉5功率采用1KW，其特性为均匀炉丝、不易打火并且寿命长；因长时间加热会有强碱渗出，故此电炉5上要设置隔离托盘6，隔离托盘6设置有6mm圆边，采用不锈钢材质；上保温箱2为中空结构，中空结构设置有石墨坩埚7；上保温箱2上设置有测温支架8；上保温箱2上端的中空口设置有上盖板1；电炉5通过导管9连接控制箱4，导线9外围材质为陶瓷管；上保温箱2和下保温箱3采用碳化硅晶体生长炉的软毡材料。

控制箱4仪表的PI调节控制SSR固态继电器，直接输出控制电炉5。

上盖板1有风机吸走绝大部分的强碱挥发物，窗外有弱酸桶来中和此处的强碱挥发物来保护工作环境。

本实用新型所述的工艺炉自制腐蚀炉控制电路；保温层和电炉的匹配以达到好的控温效果；坩埚和电炉的分层结构；温度控制稳定；腐蚀气体处理；操作方便并且运行成本低，器件通配性好。

以上对本申请所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了实施例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。