一种制备低硼杂质浓度SiC单晶的生产装置的制作方法

文档序号:12636432阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种制备低硼杂质浓度SiC单晶的坩埚结构,其特征在于,包含石墨坩埚、籽晶、粉料和节流装置,其中,所述籽晶设置在所述石墨坩埚的顶部,所述粉料设置在所述石墨坩埚的底部,所述节流装置设置在所述粉料及所述籽晶之间,用于使粉料升华的气相生长组分在输运至籽晶前经历结晶-再升华过程,从而在一次生长过程中做到原料提纯,进而降低单晶中的硼杂质,其中,所述节流装置的孔隙率在30-60%,所述节流装置的气体透过率与坩埚侧壁的气体透过率比在10-1000之间。

2.如权利要求1所述的坩埚结构,其特征在于,所述节流装置沿坩埚的高度方向设置为多个,并且在所述节流装置在数量大于1时,相邻两个节流装置间距不小于5mm。

3.如权利要求1所述的坩埚结构,其特征在于,所述节流装置由能够耐受2500℃以上温度的多孔材料或复合材料构成,包含但不仅限于多孔石墨。

4.如权利要求1所述的坩埚结构,其特征在于,所述粉料为SiC多晶粉料,其硼杂质浓度不大于0.5ppmw;所述籽晶的晶型为4H-SiC、6H-SiC或15R-SiC;所述石墨坩埚为等静压石墨构成,密度大于1.7g/cm3,所述石墨坩埚的B杂质浓度不大于1ppmw。

5.如权利要求4所述的坩埚结构,其特征在于,所述粉料硼杂质浓度不大于0.2ppmw。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1