堇青石质烧结体、其制法及复合基板的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种堇青石质烧结体、其制法及复合基板。本发明的堇青石质烧结体以堇青石为主成分，且包含氮化硅或碳化硅。该堇青石质烧结体优选40～400℃下的热膨胀系数低于2.4ppm/℃，开口气孔率为0.5％以下，平均结晶粒径为1μm以下。

技术研发人员：矶田佳范;铃木能大;井上胜弘;胜田祐司
受保护的技术使用者：日本碍子株式会社
技术研发日：2017.03.22
技术公布日：2017.10.03