一种新型的单晶硅预加料装置的制作方法

文档序号:14448786阅读:362来源:国知局
一种新型的单晶硅预加料装置的制作方法

本实用新型属于单晶硅生产设备领域,尤其是涉及一种新型的单晶硅预加料装置。



背景技术:

直拉法单晶硅拉制的过程中一般是一埚料一炉,由于多晶硅料加入炉内时是固体状态,堆叠在炉内存在很多空隙,而当加热后硅料熔化成液体,固液体的密度不一样,液体状态的硅料只有固体状态体积的一半,待料化完后石英坩埚尚有大量空间未用,使产量减少,增加了生产成本。由于是一埚料一炉,若要往石英坩埚内再加入硅料增加产量,就需要重新拆炉、装炉,工人工作强度大,且具有一定危险,在这过程中有大量热量流失,不利于节能降耗目标的实现。



技术实现要素:

有鉴于此,本实用新型旨在提出一种新型的单晶硅预加料装置,可以提前将硅料准备好,方便再次加料,提高工作效率。

为达到上述目的,本实用新型的技术方案是这样实现的:

一种新型的单晶硅预加料装置,包括:

加料筒,所述加料筒内设有内筒,所述内筒与加料筒形成用于放置原料的环状区域,所述内筒下部的筒壁设有通孔,

活塞,设置于内筒中,并且与内筒的内壁面接触,

操作柄,通过连接杆与所述活塞相连,

端盖,设置在加料筒的下端。

进一步的,所述加料筒与内筒之间设有多块将加料筒内空间均匀分隔挡板。

进一步的,所述加料筒下方设有分料盘。

进一步的,所述分料盘为锥形圆盘,锥形顶点向上,并且与内筒相对。

进一步的,所述分料盘表面为中部向下凹陷的曲面。

进一步的,所述端盖通过螺纹连接与加料筒固定。

进一步的,所述活塞由多块活塞组件组成,每个活塞组件对应加料筒中由挡板隔开的部分。

进一步的,所述挡板周向均匀设有6-8块。

相对于现有技术,本实用新型所述的新型的单晶硅预加料装置具有以下优势:

本实用新型所述的一种新型的单晶硅预加料装置结构简单,易于实现,可以将多次要投放的料提前分好,在需要投放时直接投放即可,使一炉中可以装更多的料,提高石英坩埚的利用率,同时节约了时间,提高了产能,节能降耗,降低成本。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:

图1为本实用新型实施例所述的结构示意图。

图2为图1延A-A的剖视图。

图3为本实用新型实施例所述的活塞示意图。

附图标记说明:

1-操作柄;2-活塞;3-加料筒;4-通孔;5-端盖;6-分料盘;7-内筒;8-挡板。

具体实施方式

需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

一种新型的单晶硅预加料装置,包括:加料筒3、活塞2、操作柄1和端盖5所述加料筒3内设有内筒7,所述内筒7与加料筒3形成用于放置原料的环状区域,所述内筒7下部的筒壁设有通孔4,所述操作柄1通过连接杆与所述活塞2相连,所述端盖5设置在加料筒3的下端,所述端盖5通过螺纹连接与加料筒固定。所述加料筒3与内筒7之间设有多块将加料筒内空间均匀分隔挡板8,所述挡板8周向均匀设有6-8块。所述活塞2设置于内筒7中,并且与内筒7的内壁面接触,所述活塞2由多块活塞组件组成,每个活塞组件对应加料筒3中由挡板8隔开的部分。所述加料筒3下方设有分料盘6,所述分料盘6为锥形圆盘,锥形顶点向上,并且与内筒7相对,所述分料盘6表面为中部向下凹陷的曲面。

本实用新型所述的一种新型的单晶硅预加料装置,在使用时先将活塞放置在内筒7的下部,遮挡住通孔4,在加料筒3与内筒7之间放入原料,在工作中需要加料时,只需提起操作柄1,使相应的活塞组件抬起,对应的挡板8分隔开的原料就通过通孔落下,经过分料盘6均匀的落入坩埚内,使一炉中可以装更多的料,提高石英坩埚的利用率,同时节约了时间,提高了产能,节能降耗,降低成本。。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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