一种反歧化法制备三氯氢硅的装置的制作方法

文档序号:14382932阅读:来源:国知局
一种反歧化法制备三氯氢硅的装置的制作方法

技术特征:

1.一种反歧化法制备三氯氢硅的装置,其特征在于:包括精馏塔(1)、冷凝器(5)及储罐(6),所述精馏塔(1)的顶端与冷凝器(5)连接,所述冷凝器(5)与储罐(6)连接,所述精馏塔(1)的底部连接有再沸器(4),所述精馏塔(1)的侧面设有进料管甲(2)及进料管乙(3),所述进料管甲(2)及进料管乙(3)的外部分别设有夹套甲(14)及夹套乙(15),所述冷凝器(5)的下方连接有进水管(7),上方连接有出水管(8),所述进水管(7)的一端设置在水槽(16)内,所述进水管(7)上连接有泵(9),所述出水管(8)依次与夹套甲(14)及夹套乙(15)连接最终与水槽(16)连接,所述再沸器(4)的一侧连接有蒸汽管(10),所述蒸汽管(10)上设有调节阀(12)及控制器(11),所述精馏塔(1)内设有温度传感器(13),所述温度传感器(13)及调节阀(12)均与控制器(11)电联接。

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