1.一种晶硅雾化制绒装置，其特征在于，包括：一储液槽（1），储存化学液；一震动装置（2）穿设于该储液槽（1）中，与该化学液充分接触，高频震动产生若干雾化的超微粒子；一风机（3）传送该雾化的超微粒子；一匀流板（4）将雾化的超微粒子均匀分布于储液槽（1）内；一过滤网（5）位于储液槽（1）内。
2.根据权利要求1所述的晶硅雾化制绒装置，其特征是：该储液槽（1）以该震动装置（2）为中心向下凹陷。
3.根据权利要求1所述的晶硅雾化制绒装置，其特征是：该储液槽（1）的材质为聚偏氟乙烯。
4.根据权利要求1所述的晶硅雾化制绒装置，其特征是：该震动装置（2）是超声波震荡，其振荡频率为1.5--2MHz。
5.根据权利要求1所述的晶硅雾化制绒装置，其特征是：该匀流板（4）的材质为聚偏氟乙烯。
6.根据权利要求1所述的晶硅雾化制绒装置，其特征是：该匀流板（4）孔径为1--10微米。