一种单晶炉上下炉室安全隔离装置的制作方法

文档序号:16797400发布日期:2019-02-01 19:57阅读:来源:国知局
技术总结
一种单晶炉上下炉室安全隔离装置,包括上炉室、下炉室、位于上炉室与下炉室之间且将二者位置隔离的安全隔离阀,安全隔离阀包括操作手柄、转轴、销钉和阀板,销钉包括头部、通过定位销连接在头部上的销钉外壳、水平贯穿销钉外壳内腔且与头部螺纹连接的尾部,销钉外壳内腔还设有套设在尾部外部的弹簧,尾部伸出销钉外壳且活动设在销钉孔内,销钉外壳上通过铜块设有用于调整销钉在固定板上左右位置的销钉固定顶丝。本实用新型结构简单新颖,具有调整灵活、保护性较强的特点,保证了安全隔离阀处于稳固锁死状态,并且在打开和关闭安全隔离阀的操作时,安全有序,稳定可靠,延长了装置的使用寿命。

技术研发人员:彭套;韩子萌;吴继伟;王峥
受保护的技术使用者:麦斯克电子材料有限公司
技术研发日:2018.06.06
技术公布日:2019.02.01

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