1.一种含HF酸尾气处理装置,包括六氟磷酸锂合成尾气管(1)、冷凝器(3)、氟化氢接收罐(4)、反应器(5)、分离罐(6)以及回收罐(7),其特征在于,所述六氟磷酸锂合成尾气管(1)与冷凝器(3)气体进口连接,冷凝器(3)的冷凝液出口与氟化氢接收罐(4)连接,冷凝器(3)气体出口与反应器(5)进口连接,反应器(5)内预置有SiO2粉末,反应器(5)出口与分离罐(6)连接,分离罐(6)内预置有乙醚,分离罐(6)出口与回收罐(7)连接。
2.根据权利要求1所述的一种含HF酸尾气处理装置,其特征在于,所述氟化氢接收罐(4)与回收罐(7)连接。
3.根据权利要求1所述的一种含HF酸尾气处理装置,其特征在于,所述六氟磷酸锂合成尾气管(1)上设有增压风机(2)。