1.一种多晶硅渣浆无水化处理工艺，包括以下步骤：
⑴来自上游的湿含量为70~90%的多晶硅渣浆进入真空转鼓过滤机（1），渣浆通过预涂硅藻土的鼓面进行固液气分离，分别得到液体和气体a及固体a；所述液体和所述气体a进入尾气处理系统（11），处理后收集得到液体a，废气a则排空；
⑵所述固体a进入干燥机（2），于80~95℃进行蒸汽加热搅拌，分别得到湿含量≤3%的干燥后的固体产物以及以气体方式存在的四氯化硅和部分三氯氢硅；所述以气体方式存在的四氯化硅和部分三氯氢硅通过所述干燥机（2）的顶部过滤器排出，进入所述尾气处理系统（11），处理后收集得到液体b，废气b则排空；
⑶所述干燥后的固体产物从所述干燥机（2）的底部出料口进入热解炉（3），并在所述热解炉（3）中通过电加热方式被加热到400~500℃，分别得到固体废物和气态形式的高沸物；所述气态形式的高沸物进入催化裂解系统（13），经催化裂解，分别得到气体b和液体c；
⑷所述固体废物被所述热解炉（3）中的耙尺打碎，随后依次通过锁气阀ⅰ（4）、锁气罐（5）、锁气阀ⅱ（6）进入冷却螺旋（7），然后通过所述冷却螺旋（7）底部的卸料阀ⅰ（8）落入固体料仓（9），最后通过所述固体料仓（9）底部的卸料阀ⅱ（10）排放到包装和外送单元；
⑸所述液体a、所述液体b、所述气体b和所述液体c均进入精馏分离单元（12），经分离后，分别得到四氯化硅和三氯氢硅产品以及剩余的高沸物和部分固体b；所述剩余的高沸物和部分固体b回到所述干燥机（2）内进行循环处理。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅渣浆无水化处理工艺，其特征在于：所述步骤⑵中干燥机（2）是指桨叶干燥机、耙式干燥机或薄膜干燥机中的一种。
3.如权利要求1所述的一种多晶硅渣浆无水化处理工艺，其特征在于：所述真空转鼓过滤机（1）、所述干燥机（2）、所述热解炉（3）、所述冷却螺旋（7）和所述催化裂解系统（13）均采用氮气密封。