一种化学气相渗透工艺及装置的制作方法

文档序号:24688419发布日期:2021-04-16 21:38阅读:来源:国知局
技术特征:

1.一种化学气相渗透装置,包括炉体(1),所述炉体(1)内设置有堆料台,其特征在于,所述炉体(1)内设置有隔离筒(5),所述隔离筒(5)的底端与所述堆料台的上表面密封连接,所述隔离筒(5)的顶端设置有集气罩(9),所述集气罩(9)与所述隔离筒(5)密封连接,所述集气罩(9)的顶部延伸至所述炉体(1)与尾气管道(10)的连接处,所述集气罩(9)开设有与所述尾气管道(10)相对的出气口,所述堆料台的位于所述隔离筒(5)内的区域内开设有通气孔(2),所述隔离筒(5)内设置有用于堆放在工件(4)上的压料盒,所述压料盒内装有多孔结构的废气吸附材料(8),所述压料盒开设有透气孔。

2.根据权利要求1所述的化学气相渗透装置,其特征在于,还包括位于所述隔离筒(5)内的内筒(3),所述内筒(3)的底端与所述堆料台的上表面密封连接,所述内筒(3)与所述隔离筒(5)之间的环形空间用于堆放所述工件(4)。

3.根据权利要求2所述的化学气相渗透装置,其特征在于,所述废气吸附材料(8)为多孔性碳纤维。

4.根据权利要求1所述的化学气相渗透装置,其特征在于,所述隔离筒(5)的材料为石墨或炭炭复合材料。

5.根据权利要求1所述的化学气相渗透装置,其特征在于,所述压料盒的材料为石墨或炭炭复合材料。

6.根据权利要求1~5中任意一项所述的化学气相渗透装置,其特征在于,所述集气罩(9)为漏斗形。

7.一种化学气相渗透工艺,其特征在于,所述化学气相渗透工艺使用如权利要求1~6中任意一项所述的化学气相渗透装置。

8.根据权利要求7所述的化学气相渗透工艺,其特征在于,每一炉结束后,更换新的所述废气吸附材料(8)。

9.根据权利要求7所述的化学气相渗透工艺,其特征在于,所述工件(4)与所述隔离筒(5)的内壁之间的距离为10mm~50mm。

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