单晶炉翻板箱冷却结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种单晶炉翻板箱冷却结构。
【背景技术】
[0002]单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等。单晶硅是用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成，对单晶硅控制装置及控制工艺的改进将对半导体工业产生深远的影响。现有的单晶硅拉制装置为单晶炉，它是有炉底、下炉室、上炉室、炉盖、翻板箱、副室六大部分组成。现有的单晶炉翻板箱的冷却结构还不够完善，在拉制单晶过程中不能更好的降低翻板箱温度。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供一种热量能更充分吸收的单晶炉翻板箱冷却结构。
[0004]实现本发明的技术方案如下:一种单晶炉翻板箱冷却结构，包括箱体、用来与副工作室连接的上接口、用来与主工作室的炉盖连接的下接口和翻板阀门，所述箱体分为内层和外层，内层和外层间设有冷却夹层，箱体外设有与冷却夹层相通的进出水孔座；所述的冷却夹层内从上到下交错布置有若干栅板，相邻的两块栅板中，一块栅板的一端固定在内层上，另一端与外层之间留有间隙，而另一块栅板一端固定在外层上，另一端与内层之间留有间隙。
[0005]所述箱体外层设有真空口。
[0006]本发明的有益效果是:本发明在冷却夹层内设有交错的栅板，增加了水与内壁和外壁的接触面，提高了冷却降温的效果，从而有效吸收热量，能更好的保护翻板箱。
【附图说明】
[0007]通过下面结合附图的详细描述，本发明前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。其中:
[0008]图1为本发明的结构示意图；
[0009]附图中，I为箱体，11为内层，12为外层，13为冷却夹层，2为上接口，3为下接口，4为翻板阀门，5为进水孔座,6为出水孔座,7为栅板,8为真空口。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图对本发明进行进一步说明；
[0011]参见图1所示，一种单晶炉翻板箱冷却结构，包括箱体1、用来与副工作室连接的上接口 2、用来与主工作室的炉盖连接的下接口 3和翻板阀门4，所述箱体分为内层11和外层12，内层11和外层12间设有冷却夹层13，箱体I外设有与冷却夹层13相通的进5出6水孔座；所述的冷却夹层13内从上到下交错布置有若干栅板7，相邻的两块栅板7中，一块栅板7的一端固定在内层11上，另一端与外层12之间留有间隙,而另一块栅板7 —端固定在外层12上，另一端与内层11之间留有间隙。所述箱体外层12设有真空口 8。
[0012]本发明并不局限于所述的实施例，本领域的技术人员在不脱离本发明的精神即公开范围内，仍可作一些修正或改变，故本发明的权利保护范围以权利要求书限定的范围为准。
【主权项】
1.单晶炉翻板箱冷却结构，包括箱体、用来与副工作室连接的上接口、用来与主工作室的炉盖连接的下接口和翻板阀门，其特征在于:所述箱体分为内层和外层，内层和外层间设有冷却夹层，箱体外设有与冷却夹层相通的进出水孔座；所述的冷却夹层内从上到下交错布置有若干栅板，相邻的两块栅板中，一块栅板的一端固定在内层上，另一端与外层之间留有间隙，而另一块栅板一端固定在外层上，另一端与内层之间留有间隙。
2.根据权利要求1所述的单晶炉翻板箱冷却结构，其特征在于:所述箱体外层设有真空口。
【专利摘要】本发明涉及一种单晶炉翻板箱冷却结构，包括箱体、用来与副工作室连接的上接口、用来与主工作室的炉盖连接的下接口和翻板阀门，所述箱体分为内层和外层，内层和外层间设有冷却夹层，箱体外设有与冷却夹层相通的进出水孔座；所述的冷却夹层内从上到下交错布置有若干栅板，相邻的两块栅板中，一块栅板的一端固定在内层上，另一端与外层之间留有间隙，而另一块栅板一端固定在外层上，另一端与内层之间留有间隙。本发明在冷却夹层内设有交错的栅板，增加了水与内壁和外壁的接触面，提高了冷却降温的效果，从而有效吸收热量，能更好的保护翻板箱。
【IPC分类】C30B15-00, C30B29-06
【公开号】CN104711667
【申请号】CN201310684223
【发明人】潘燕萍
【申请人】常州市天龙光电设备有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2013年12月12日