一种石墨热交换台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及多晶硅制造领域，特别是涉及一种石墨热交换台。
【背景技术】
[0002]随着多晶铸锭技术的发展，大多数厂家都将G5热场改造成G6热场，DSS铸锭石墨热交换台面积也随之增加，使得其在长晶阶段四周散热和中心散热的不平衡比较明显。在长晶过程中，靠近坩祸四角处的等温线容易向上翘曲，容易造成在坩祸面形核，而这种形核是导致晶界和杂质的诱因。原有的铸锭技术，靠近坩祸处容易形核成小晶粒，这是导致晶界、杂质的诱因。有的技术会在外部增加保温材料，这能够改善坩祸面形核的情况，但也容易导致固液面过凸，边角长晶过慢。
[0003]为解决这一问题，实际生产过程中会在护板外加装硬毡或护板内加装软毡，改良保温性能，但是这样的改造限制了可操作空间并且存在着很大的安全隐患，同时存在固液面中心过凸的可能。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是提供一种石墨热交换台，加强底部的散热效果，使得底部散热更为均匀，固液面保持平整或微凸，并且阻碍坩祸面形核。
[0005]为解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种石墨热交换台，包括热交换台主体，所述热交换台主体具有至少一个竖直通孔，还包括一端设置在所述竖直通孔内的散热棒，所述散热棒的另一端与下炉体的内表面紧贴。
[0006]其中，所述热交换台主体的上表面还具有凹槽，所述凹槽内设置有散热体。
[0007]其中，所述凹槽为以所述热交换台主体轴心为轴心的回字形凹槽或环形凹槽。
[0008]其中，所述散热体为粉末状散热体或块状散热体。
[0009]其中，所述竖直通孔设置在所述凹槽内。
[0010]其中，所述散热体为钨钼合金散热体或钼锆钛合金散热体。
[0011]其中，所述热交换台主体具有四个均匀分布的竖直通孔。
[0012]本实用新型实施例所提供的一种石墨热交换台，与现有技术相比，具有以下优占.
[0013]本实用新型实施例提供的一种石墨热交换台，包括热交换台主体，所述热交换台主体具有至少一个竖直通孔，还包括一端设置在所述竖直通孔内的散热棒，所述散热棒的另一端与下炉体的内表面紧贴。
[0014]所述石墨热交换台，通过在所述热交换台主体上在垂直方向上增加一端与铸锭炉的下炉体紧贴的散热棒，增加了所述石墨热交换台在垂直方向的散热能力。通过增加垂直方向上的热量传递，使长晶阶段靠近坩祸面处的固液面不会向上微翘，从而达到抑制形核的效果。避免了不同晶向的产生，减少了晶界和杂质出现的可能。
[0015]综上所述，本实用新型实施例所提供的石墨热交换台，通过设置处在石墨热交换台主体与铸锭炉的下炉体之间的散热棒，避免了不同晶向的产生，减少了晶界和杂质出现的可能。
【附图说明】
[0016]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本实用新型实施例所提供的热交换台与铸锭炉的其他部分的位置关系示意图的正面剖视图；
[0018]图2为本实用新型实施例所提供的热交换台与铸锭炉的其他部分的位置关系的俯视图不意图。
【具体实施方式】
[0019]正如【背景技术】部分所述，现有技术中随着铸锭石墨热交换台面积也随之增加，使得其在长晶阶段四周散热和中心散热的不平衡比较明显。在长晶过程中，靠近坩祸四角处的等温线容易向上翘曲，容易造成在坩祸面形核，而这种形核是导致晶界和杂质的诱因。原有的铸锭技术，靠近坩祸处容易形核成小晶粒，这是导致晶界、杂质的诱因。有的技术会在外部增加保温材料，这能够改善坩祸面形核的情况，但也容易导致固液面过凸，边角长晶过慢。
[0020]为解决这一问题，实际生产过程中会在护板外加装硬毡或护板内加装软毡，改良保温性能，但是这样的改造限制了可操作空间并且存在着很大的安全隐患，同时存在固液面中心过凸的可能。
[0021]基于此，本实用新型实施例提供了本实用新型实施例提供的一种石墨热交换台，包括热交换台主体，所述热交换台主体具有至少一个竖直通孔，还包括一端设置在所述竖直通孔内的散热棒，所述散热棒的另一端与下炉体的内表面紧贴。
[0022]综上所述，本实用新型实施例所提供的石墨热交换台，通过在所述热交换台主体上在垂直方向上增加一端与铸锭炉的下炉体紧贴的散热棒，增加了所述石墨热交换台在垂直方向的散热能力。通过增加垂直方向上的热量传递，使长晶阶段靠近坩祸面处的固液面不会向上微翘，从而达到抑制形核的效果。避免了不同晶向的产生，减少了晶界和杂质出现的可能。
[0023]为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】做详细的说明。
[0024]在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广。因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
[0025]请参考图1和图2，图1为本实用新型实施例所提供的热交换台与铸锭炉的其他部分的位置关系示意图的正面剖视图；图2为本实用新型实施例所提供的热交换台与铸锭炉的其他部分的位置关系的俯视图示意图。
[0026]在一种具体方式中，所述石墨热交换台，包括热交换台主体10，所述热交换台主体10具有至少一个竖直通孔，还包括一端设置在所述竖直通孔内的散热棒20，所述散热棒20的另一端与下炉体30的内表面紧贴。
[0027]现代多晶铸锭技术为生产出高效率的硅片，需要在长晶阶段使固液面微凸，又不至于过凸以使边角长晶时间过长。同时会在坩祸的表面喷涂一层氮化硅涂层以防止杂质进入，同时也防止硅在坩祸面形核造成晶界和杂质的出现。
[0028]无论是保持固液面平整还是抑制坩祸面的形核，使用的方法都是通过改变热场实现的。现代技术要求热量尽可能在垂直方向上传递，而在四面保温隔热。在简单的热场设计中，固液面会在靠近坩祸处向上微翘，解决这种微翘的方法就是减少面上的散热或者增加底部的散热，也就是增加垂直方向上的热量传递，本发明就是可以增加底部散热的改进装置。所述石墨热交换台，通过在所述热交换台主体10上在垂直方向上增加一端与铸锭炉的下炉体30紧贴的散热棒20，增加了所述石墨热交换台在垂直方向的散热能力。通过增加垂直方向上的热量传递，使长晶阶段靠近坩祸面处的固液面不会向上微翘，从而达到抑制形核的效果。避免了不同晶向的产生，减少了晶界和杂质出现的可能。