的掺合量越多，可 使本发明的固化性组合物的粘度越低。
[0077] 化合物（B)的数均分子量（Mn)优选200?3000,更优选220?2500,特别优选 240?2000。如果在上述范围的下限值以上，则沸点变高，固化性组合物在加热时难以挥 发。如果在上述范围的上限值以下，则化合物（B)的粘度被抑制在低水平，与预聚物（A)混 合时容易获得均匀的固化性组合物。
[0078] 由于化合物（B)具有2个以上交联性官能团，因此可以使分子间交联。化合物（B) 优选具有2?20个交联性官能团，特别优选具有2?8个。
[0079] 化合物⑶的交联性官能团优选不含氟原子、在上述预聚物（A)的交联性官能团 发生自由基聚合反应时同时发生反应的基团。
[0080] 化合物⑶的交联性官能团至少在化合物⑶的交联性官能团之间发生反应引起 交联或链延长。此外，认为它与预聚物（A)和化合物（C)的交联性官能团反应，与它们成为 一体而生成固化膜。
[0081] 作为化合物（B)的交联性官能团，优选（甲基）丙烯酰（氧）基、乙烯（氧）基、 及烯丙（氧）基，更优选（甲基）丙烯酰（氧）基。作为（甲基）丙烯酰（氧）基，更优选 (甲基）丙烯酰氧基，特别优选丙烯酰氧基。
[0082] 作为化合物（B)，优选多元醇的聚（甲基）丙烯酸酯。作为多元醇，可例举烷烃类 多元醇、烷烃类多元醇的多聚体、聚氧化烯多元醇等聚醚多元醇、环状酯开环加成于作为二 元醇和二元酸的缩聚物的聚酯二元醇或多元醇而得的聚酯多元醇等聚酯多元醇。
[0083] 作为化合物（B)的具体例，可例举二季戊四醇三丙烯酸酯三（^^一烷酸酯）、二季 戊四醇五丙烯酸酯单十一烷酸酯、乙氧基化异氰脲酸三丙烯酸酯、ε -己内酯改性乙氧基 化异氰脲酸的三丙烯酸酯、9, 9-双[4-(2-丙烯酰氧基乙氧基）苯基]芴、聚乙二醇二丙烯 酸酯、聚乙二醇二甲基丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二甲基丙烯酸酯、乙氧基 化双酚A二丙烯酸酯、乙氧基化双酚A二甲基丙烯酸酯、丙氧基化双酚A二丙烯酸酯、丙氧 基化双酚A二甲基丙烯酸酯、1，10-癸二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二丙烯酸酯、1，6-己 二醇二甲基丙烯酸酯、1，4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1，3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、羟基三 甲基乙酸新戊二醇二丙烯酸酯、1，9-壬二醇二丙烯酸酯、1，9-壬二醇二甲基丙烯酸酯、新 戊二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯 酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三烯丙基氰 脲酸酯、三烯丙基异氰脲酸酯、三甲基烯丙基异氰脲酸酯、1，4- 丁二醇二乙烯基醚、1，9-壬 二醇二乙烯基醚、环己烷二甲醇二乙烯基醚、三乙二醇二乙烯基醚、三羟甲基丙烷三乙烯基 醚、季戊四醇四乙烯基醚、丙烯酸-2-(2-乙烯氧基乙氧基）乙酯、甲基丙烯酸-2-(2-乙烯 氧基乙氧基）乙酯、三羟甲基丙烷二烯丙基醚、季戊四醇三烯丙基醚、二季戊四醇六丙烯酸 酯、季戊四醇四丙烯酸酯、下式（1)所示的乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯、下式（2)所示的 丙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯、双三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯、 三环癸烷二甲醇甲基丙烯酸酯、下式（3)所示的化合物等。
[0084] 此外，也可以使用聚酯丙烯酸酯（用丙烯酸修饰二元醇和二元酸的缩合物的两末 端得到的化合物：东亚合成株式会社（東亞合成社）制，商品名：7 口二7夕只（M-6100、 M-6200、M-6250、M-6500);用丙烯酸修饰多元醇和多元酸的缩合物的羟基末端得到的化 合物：东亚合成株式会社制，商品名：7 口二7夕只（M-7100、M-7300K、M-8030、M-8060、 M-8100、M-8530、M-8560、M-9050))。这些可以由市售品获得。化合物（B)可以单独使用1 种，也可以将2种以上并用。 「00851 「化11
【主权项】
1. 一种固化性组合物，其特征在于，含有 具有交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物（A)，和 具有2个以上交联性官能团、不具有氟原子的数均分子量为140?3000的化合物（B)， 和 具备可在碳原子间具有醚性氧原子的碳数6?24的烷基和交联性官能团、不具有氟原 子、数均分子量超过3000且在50000以下的化合物（C)，和 自由基聚合引发剂0)。
2. 如权利要求1所述的固化性组合物，其特征在于，所述含氟聚亚芳基预聚物（A)为使 具有结合在芳香族环的碳原子上的氟原子的含氟芳香族化合物、和具有2个以上酚性羟基 的酚类化合物、和芳香族化合物在脱卤化氢剂的存在下反应而得的具有交联性官能团的含 氟聚亚芳基醚预聚物，所述芳香族化合物含有交联性官能团和在脱卤化氢剂的存在下可反 应的反应性基团。
3. 如权利要求1或2所述的固化性组合物，其特征在于，化合物⑶为多元醇的聚（甲 基）丙烯酸酯。
4. 如权利要求1?3中任一项所述的固化性组合物，其特征在于，所述化合物（C)为具 有下述单元（cl)及下述单元（c2)的共聚物， 单元（cl):具备可在碳原子间具有醚性氧原子的碳数6?24的烷基、不具有氟原子及 交联性官能团的单元； 单元（c2):具有交联性官能团、不具有氟原子的单元；
5. 如权利要求4所述的固化性组合物，其特征在于，所述单元（cl)为通过下式 (clm-1)所表示的单体的聚合而形成的单元： CH2= CX-C00-Rn … （clm-1) X:氢原子或甲基； Rn :可在碳原子间具有醚性氧原子的碳数6?24的烷基。
6. 如权利要求1?5中任一项所述的固化性组合物，其特征在于，所述预聚物（A)、所 述化合物（B)及所述化合物（C)中的交联性官能团分别独立地为选自乙烯（氧）基、烯丙 (氧）基、乙炔基及（甲基）丙烯酰（氧）基的交联性官能团。
7. 如权利要求1?6中任一项所述的固化性组合物，其特征在于，在所述预聚物（A)和 所述化合物（B)的总计100质量％中，含有所述化合物（B) 10?80质量％。
8. 如权利要求1?7中任一项所述的固化性组合物，其特征在于，所述自由基聚合引发 剂（D)为热聚合引发剂（D1)或光聚合引发剂（D2)。
9. 如权利要求1?8中任一项所述的固化性组合物，其特征在于，相对于所述预聚物 (A)和所述化合物（B)的总计100质量份，含有所述化合物（C)0. 1?20质量份。
10. -种涂布用组合物，其特征在于，含有权利要求1?9中任一项所述的固化性组合 物和溶剂。
11. 一种固化膜的制造方法，该方法是在基材上形成权利要求10所述的涂布用组合物 的膜后，通过包括一次以上加热工序的工序使固化性组合物热固化或光固化，从而制造固 化膜；所述加热工序中的加热温度均在250°C以下。
12. -种基材，其特征在于，具有权利要求1?9中任一项所述的固化性组合物的固化 膜。
13. -种半导体元件，其特征在于，具有权利要求1?9中任一项所述的固化性组合物 的固化膜。
14. 如权利要求13所述的半导体元件，其特征在于，所述元件是具有所述固化膜作为 功能膜的有机薄膜晶体管。
15. 如权利要求14所述的半导体元件，其特征在于，所述功能膜为栅极绝缘膜。
【专利摘要】本发明提供可得到在维持拒水性的同时、具备能够进行有机溶剂类的涂布液的涂布的亲油性、且具有足够的绝缘性的低介电常数的固化膜的固化性组合物，使用了该固化性组合物的固化膜的制造方法，使用了将该固化性组合物固化而得的固化膜的半导体元件。本发明的固化性组合物含有：具有交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物(A)；具有2个以上交联性官能团、不具有氟原子的数均分子量为140～3000的化合物(B)；具备可在碳原子间具有醚性氧原子的碳数6～24的烷基和交联性官能团、不具有氟原子、数均分子量超过3000且在50000以下的化合物(C)；及自由基聚合引发剂(D)。
【IPC分类】H01L51-30, H01L51-05, H01L29-786, C08F299-00
【公开号】CN104583257
【申请号】CN201380043274
【发明人】伊藤昌宏, 鹤冈薰
【申请人】旭硝子株式会社
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2013年8月27日
【公告号】EP2891670A1, US20150166812, WO2014034671A1