116] 而且，对通过鼓风吸气单元43的正下方附近的流延膜24,最好使表面溫度TS与露 点溫度TD大致同等。
[0117] 在使水滴生长的期间，优选使尽可能多的溶剂从流延膜24中蒸发。对通过鼓风吸 气单元43的正下方附近的流延膜24,通过将表面溫度TS和露点TD控制在上述式（II)的 范围，就可W使溶剂充分地蒸发，并且可W抑制急剧的蒸发。另外，优选不使水滴蒸发而仅 选择性地使溶剂蒸发。因而，作为溶剂，优选在同溫同压下蒸发速度比水滴快的溶剂。由此， 随着溶剂的蒸发，水滴更容易进入流延膜24的内部。
[0118] 在第一区28中，流延膜24的表面溫度TS由流延带31、和与该流延带31相面对地 配置的溫度控制板（未图示）控制，然而也可W由任意一方控制。溫度控制板可W使溫度 沿着流延带31的行进方向变化。另外，对于露点TD，是通过控制从鼓风吸气单元41的鼓风 口 41a或鼓风吸气单元43的鼓风口 43a出来的加湿空气的条件来控制。而且，流延膜24 的表面溫度TS例如可W在流延膜24的附近设置市售的红外式溫度计等非接触式溫度测定 机构而进行测定。
[0119] 在第二区29中，沿着流延膜24的行进路依次配置有多个鼓风吸气单元45。图6 中图示出4个鼓风吸气单元45,然而并不限定于该数目。鼓风吸气单元45具有与前述的鼓 风吸气单元41或43相同的构成，具备鼓风口 45a和吸气口 45b，然而并不限定于此。
[0120] W使表面溫度TS和露点TD满足下述的式（III)的方式，对通过鼓风吸气单元45 的正下方附近的流延膜24,控制来自鼓风口 45a的风的露点TD和表面溫度TS的至少任意 一方。表面溫度TS的控制与第一区28中进行的相同，主要利用溫度控制板（未图示）进 行。另外，露点TD控制是利用来自鼓风口 45a的干燥空气的条件控制进行。而且，在该第 二区29中，流延膜24的表面溫度TS可W在流延膜24的附近设置与第一区28中设置的机 构相同的溫度测定机构而进行测定。通过像运样设定第二区29的条件，就可W停止水滴的 生长而使之蒸发，制造具有均匀的孔的多孔膜11。如果使TS《TD，则会在水滴上进一步凝 结，从而会有破坏所形成的多孔结构的情况。
[0121] TS>TD…（III)
[0122] 第二区29中，W水滴的蒸发作为主要目的，然而也使到达第二区29前没有蒸发完 的溶剂蒸发。
[0123] 第二区29中的水滴的蒸发工序中，也可W代替鼓风吸气单元45而使用减压干燥 装置。通过进行减压干燥，也就是吸引第二区29的内部的空气而将第二区29内减压来进 行干燥，就会更加容易地分别调整溶剂和水滴的蒸发速度。由此，就会使有机溶剂的蒸发和 水滴的蒸发更加良好，可W更加良好地在流延膜24的内部形成水滴，因此可W在该水滴所 存在的位置形成大小、形状受到控制的各孔12。
[0124] 在第一区28中，如果利用凝结在流延膜24的露出面形成水滴，则由于溶液23中 所含的具有两亲性的含有邻苯二酪基的化合物会使水滴稳定化，因此会向水滴所存在的露 出面扩散，特别是围绕着水滴集聚。其后伴随着溶剂的蒸发，具有两亲性的含有邻苯二酪基 的化合物围绕着水滴不均匀地存在，同时疏水性高分子化合物与含有邻苯二酪基的化合物 的干燥推进，最终在溶剂蒸发后，如果在第二区29中水滴蒸发，则会形成作为疏水性高分 子化合物与含有邻苯二酪基的化合物的混合物的多孔膜11，在原先水滴所存在的孔12周 边的表层部W含有邻苯二酪基的化合物不均匀地存在的形式形成多孔膜11。
[0125] 多孔膜的制造设备21还具备剥除漉47,其在从流延带31中剥除流延膜24时，支 撑从流延带31中剥离出的多孔膜11。由剥除漉47支撑的多孔膜11被送向下一工序。所 谓下一工序，例如是用于对多孔膜11赋予各种功能的功能赋予工序、或将多孔膜11卷绕成 卷筒状的卷绕工序等。
[0126] 此处，从流延带31中剥离时的多孔膜11在与从流延带31中剥离的剥离面相反一 侧的面上具备功能面13。如图6所示，在剥除漉47被设于多孔膜11的功能面13侧的情况 下，剥除漉47优选W尽可能不与功能面13接触的方式支撑多孔膜11。因而，剥除漉47如 图7所示，具备构成长度方向（多孔膜11的宽度方向）的中央部的漉中央部47A、和设于漉 中央部47A的两端的漉侧端部47B。漉侧端部47B的直径比漉中央部47A大。此种剥除漉 47由于在功能面13与漉中央部47A之间存在有空间，因此不会与多孔膜11的宽度方向中 央部的功能面13接触，可W利用漉侧端部47B支撑多孔膜11。而且，剥除漉47并不限于如 图7所示的具有高低差的漉，也可W使用具有随着从长度方向中央部靠近两侧端部而变大 的直径的凹漉等。也可WW在与功能面13相反一侧的面支撑多孔膜11的方式设置剥除漉 47O
[0127] 另外，优选在下一工序W后使用的搬送多孔膜11的搬送漉（未图示）中，也使用 与前述的剥除漉47相同的形状的漉。此种搬送漉可W不与多孔膜11的宽度方向中央部的 功能面13接触地搬送多孔膜11。
[012引另外，在将多孔膜11卷绕成卷筒状时，优选通过仅在多孔膜11的宽度方向两侧端 部同时地卷绕间隔件，而使功能面13不与多孔膜11接触。
[0129] 对于来自鼓风吸气单元41、43的加湿空气和来自鼓风吸气单元45的干燥空气的 鼓风速度，优选与流延膜24的移动速度、也就是流延带31的行进速度的相对速度为0. 05m/ 秒W上20m/秒W下的范围。通过使该相对速度为0. 05m/秒W上，与小于0. 05m/秒的情况 相比，可W更加可靠地防止在水滴还没有被细密排列地形成时流延膜24就被导入第二区 29 (参照图6)的情况。另一方面，通过使该相对速度为20m/秒W下，与大于20m/秒的情况 相比，可W更加可靠地防止流延膜24的露出面素乱、或凝结不能充分地进行。
[0130] 而且，本实施方式中，例示出通过连续地将溶液23流延而制造长尺寸的多孔膜11 的情况，然而本发明并不限定于此。例如，也包括断续地将溶液23流延而一个个地制造片 状的多孔膜的情况。另外，本实施方式中，将从第一区28到第二区29的搬送方向或从第二 区29到剥除的搬送方向设为曲线，然而为了使从流延到获得多孔膜11的全部的搬送路为 平面也优选将搬送方向设为直线。该情况下，可W使多孔膜11的功能面13不与搬送漉等 接触。
[0131]另外，也可W在支撑体的宽度方向上排列多个宽度方向的长度比流延模35短的 流延模，形成宽度更小的流延膜。此外，也可W通过使流延工序中的支撑体的搬送W更短的 时间间隔间歇，而在支撑体上形成多个更小的流延膜。另外，也可W通过将流延模的溶液 的流出口在宽度方向上分隔为多个，将溶液23断续地流延，而一个个地制造长方形的多孔 膜。此外，也可W应用日本特开2007-291367号公报的多孔膜的制造条件。
[0132]另外，利用间歇式流延也可W制造多孔膜11。例如为W下的方法。作为流延用的 支撑体使用玻璃板等，在该支撑体上，载放溶液并进行延展而形成流延膜。此后，将支撑体 冷却而冷却流延膜、或在流延膜周边流过加湿空气而使之凝结。使溶剂和因凝结产生的水 滴从流延膜中蒸发而形成多孔膜11。而且，在由形成于玻璃等支撑体上的流延膜来制作多 孔膜11的情况下，最好将玻璃板上的流延膜依次置于如图6所示的露点、湿度、溫度等被独 立控制的第一区28、第二区29中。
[0133]另外，多孔膜11也可W包含被利用含有邻苯二酪基的化合物稳定化了的微粒。该 情况下的微粒的直径比各孔12的直径小。微粒的直径优选小到不会对多个孔12的形状造 成影响的程度。
[0134]而且，作为微粒，例如可W举出无机粒子（Pt、Au、Ag、Cu等金属微粒、Si、Ge、ZnSe、CdS、ZnO、GaAs、InP、GaN、SiC、SiGe、CuInSez等半导体微粒、TiO2、Sn〇2、Si〇2、ITO等金属氧 化物微粒）、亲水性的高分子化合物微粒或不具有在分散介质中的溶解性的疏水性的高分 子化合物微粒、或不具有在分散介质中的溶解性的低分子的有机化合物的纳米晶体等。而 且，本发明中所用的微粒既可W是1种，也可W是2种W上。
[0135] 作为第二实施方式的多孔膜51如图8及图9所示，与多孔膜11相同，是在膜的功 能面13中具有多个孔12的所谓蜂窝结构的多孔膜。多孔膜51与多孔膜11不同的方面在 于，中屯、间距离Ll比孔径D小，相邻的孔12和孔12被在膜的内部相连地形成。由此，在隔 壁14中开设有孔，隔壁14不是W使各孔12独立的方式将相邻的孔12分隔的隔壁。像运 样，在该蜂窝结构的多孔膜51的内部形成有连通路。隔壁14是彼此间大致一定的形状及 尺寸的棒状的隔壁，被W规则地排列的方式形成。而且，在多孔膜51中，对于具备与多孔膜 11相同的功能的部位使用相同的符号，省略详细的说明。另外，多孔膜51可W在原料中使 用与多孔膜11中所用的化合物相同的化合物，利用相同的方法制造。
[0136]作为第四实施方式的多孔膜53如图10及图11所示，与多孔膜11相同，是在功能 面13中具有多个孔12的所谓蜂窝结构的多孔膜。多孔膜53与多孔膜11不同的方面在于， 各孔12被从功能面13朝向相反一侧的膜面贯通地形成。而且，在多孔膜53中，对于具备 与多孔膜11相同的功能的部位使用相同的符号，省略详细的说明。另外，多孔膜53可W在 原料中使用与多孔膜11中所用的化合物相同的化合物，利用相同的方法制造。
[0137]作为第五实施方式的多孔膜55如图12及图13所示，与多孔膜53相同，是在膜的 功能面13中具有多个孔12的所谓蜂窝结构的多孔膜。多孔膜55与多孔膜53不同的方面 在于，中屯、间距离Ll比孔径D小，相邻的孔12和孔12被W在膜的内部相连的方式形成。 由此，在隔壁14中开设有孔，隔壁14不是W使各孔12独立的方式将相邻的孔12分隔的隔 壁。像运样，在该蜂窝结构的多孔膜55的内部形成有连通路。另外，多孔膜55的隔壁14 是彼此间大致一定的形状及尺寸的棒状的隔壁，被规则地排列。而且，在多孔膜55中，对于 具备与多孔膜53相同的功能的部位使用相同的符号，省略详细的说明。另外，多孔膜55可 W在原料中使用与多孔膜53中所用的化合物相同的化合物，利用相同的方法制造。
[013引作为第六实施方式的多柱膜57如图14所示，是在一方的膜的面上形成有多个作 为突部的柱58的所谓柱膜。各柱58是彼此间大致一定的形状及尺寸，多个柱58W-定的 间距规则地排列。多柱膜57中，各柱58的图15、图16中的上面是具有粘合性的功能面59。
[0139] 柱58的上面的形状为由向内侧凸的3条圆弧包围的形状。另外，柱58随着从功 能面59靠近内部而慢慢地变细。另外，相邻的柱58与柱58的中屯、间距离L4在IOnmW上 100JimW下的范围中一定，相邻的柱58与柱58的距离L5在加mW上100Jim的范围中一 定。
[0140] 另外，多柱膜57由与多孔膜11相同的化合物构成。另外，多柱膜57被使用与用 于制造多孔膜11的原料相同的原料制造。由此，多柱膜57中，含有邻苯二酪基的化合物与 多孔膜11相同地不均匀地存在。目P，越是靠近柱58的侧面和功能面59则越多地存在。利 用该含有邻苯二酪基的化合物，功能面59具有与各种原材料的基板的粘合性。
[0141] 作为第屯实施方式的复合体7