用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置的制作方法

文档序号:3747461阅读:253来源:国知局
专利名称:用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置。
背景技术
太阳能铸锭坩埚装料前需喷涂氮化硅以隔离石英坩埚与硅液。在喷涂过程中需加热石英坩埚,使氮化硅液均勻的吸附在坩埚表面,形成粉状涂层。现有的坩埚加热旋转台存在一些问题如为了保护加热板的电缆走线,旋转轴上需装有限制旋转角度限位装置,现有的装置经常被撞坏。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种铸锭坩埚加热旋转台,降低故障率, 提高使用寿命。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置,限位装置为凸块撞击限位装置,在凸块撞击限位装置的限位凸块两侧都装有缓冲器或橡胶垫。本实用新型的有益效果是限位装置的改进降低了设备的故障率,减少了维修费用。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明;


图1是本实用新型的结构示意图;图中,13.限位凸块,14.橡胶垫。
具体实施方式

图1所示,一种用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置,限位装置为凸块撞击限位装置,在凸块撞击限位装置的限位凸块13两侧都装有缓冲器或橡胶垫14,在冲量一致的情况下延长了受力时间,减小撞击的力量。
权利要求1. 一种用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置,其特征是所述的限位装置为凸块撞击限位装置,在凸块撞击限位装置的限位凸块(1 两侧都装有缓冲器或橡胶垫(14)。
专利摘要本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置,该限位装置为凸块撞击限位装置,在凸块撞击限位装置的限位凸块两侧都装有缓冲器或橡胶垫。本实用新型的有益效果是限位装置的改进降低了设备的故障率,减少了维修费用。
文档编号B05C9/14GK202162123SQ20112023251
公开日2012年3月14日 申请日期2011年7月4日 优先权日2011年7月4日
发明者刘平, 应建平, 朱正春 申请人:常州天合光能有限公司
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