抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法_2

文档序号:9410948阅读:来源:国知局
部分置于离心机中,在转速8000r/min下离心8min,离心结束取上层液过滤,滤网孔径300nm,滤液即为粒形修整后的纳米金刚石抛光液。
[0034]实施例4
[0035]抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,步骤如下:
[0036]I)将金刚石微粉、氮化硅珠加入纳米金刚石抛光液中混合,金刚石微粉的粒度为M6/12,氮化硅珠的粒径为0.8mm,抛光液中纳米金刚石的质量百分数为2%,平均粒径60nm,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、氮化硅珠的质量比为1:5:0.5,在混合物中加入变压器油,加量为混合物总质量的4%,球磨30min(高能球磨机同实施例1);
[0037]2)球磨完毕,从球磨混合物中取出氮化硅珠(孔径0.4mm滤网过滤),剩余部分置于离心机中,在转速8000r/min下离心lOmin,离心结束取上层液过滤,滤网孔径300nm,滤液即为粒形修整后的纳米金刚石抛光液。
[0038]实施例5
[0039]抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,步骤如下:
[0040]I)将金刚石微粉、氧化铝珠加入纳米金刚石抛光液中混合,金刚石微粉的粒度为M6/12和M8/16 (质量比1:1),氧化铝珠的粒径为0.8mm,抛光液中纳米金刚石的质量百分数为1%,平均粒径80nm,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、氧化铝珠的质量比为1:3:0.2,在混合物中加入变压器油,加量为混合物总质量的6%,球磨30min(高能球磨机同实施例1);
[0041]2)球磨完毕,从球磨混合物中取出氧化铝珠(孔径0.4_滤网过滤),剩余部分置于离心机中,在转速9000r/min下离心7min,离心结束取上层液过滤,滤网孔径400nm,滤液即为粒形修整后的纳米金刚石抛光液。
[0042]实施例6
[0043]抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,步骤如下:
[0044]I)将金刚石微粉、氧化铝珠加入纳米金刚石抛光液中混合,金刚石微粉的粒度为M8/16,氧化铝珠的粒径为1mm,抛光液中纳米金刚石的质量百分数为0.2%,平均粒径10nm(见图1),抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、氧化铝珠的质量比为1:2:0.1,在混合物中加入白油和油酸(质量比1:1),加量为混合物总质量的8%,球磨15min (高能球磨机同实施例1);
[0045]2)球磨完毕,从球磨混合物中取出氧化铝珠(孔径0.4mm滤网过滤),剩余部分置于离心机中,在转速7000r/min下离心5min,离心结束取上层液过滤,滤网孔径400nm,滤液即为粒形修整后的纳米金刚石抛光液(见图2)。
[0046]实施例7
[0047]抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,步骤如下:
[0048]I)将金刚石微粉、氧化锆珠加入纳米金刚石抛光液中混合,金刚石微粉的粒度为M8/16,氧化锆珠的粒径为2_,抛光液中纳米金刚石的质量百分数为2%,平均粒径120nm,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、氧化锆珠的质量比为1:3:0.3,在混合物中加入白油,加量为混合物总质量的2%,球磨20min(高能球磨机同实施例1);
[0049]2)球磨完毕,从球磨混合物中取出氧化锆珠(孔径0.4mm滤网过滤),剩余部分置于离心机中,在转速6000r/min下离心6min,离心结束取上层液过滤,滤网孔径500nm,滤液即为粒形修整后的纳米金刚石抛光液。
[0050]实施例8
[0051]抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,步骤如下:
[0052]I)将金刚石微粉、氧化锆珠加入纳米金刚石抛光液中混合,金刚石微粉的粒度为M10/20,氧化锆珠的粒径为3mm,抛光液中纳米金刚石的质量百分数为2%,平均粒径150nm,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、氧化锆珠的质量比为1:2:0.1,在混合物中加入白油,加量为混合物总质量的4%,球磨15min(高能球磨机同实施例1);
[0053]2)球磨完毕,从球磨混合物中取出氧化锆珠(孔径0.4mm滤网过滤),剩余部分置于离心机中,在转速6000r/min下离心9min,离心结束取上层液过滤,滤网孔径600nm,滤液即为粒形修整后的纳米金刚石抛光液。
[0054]实施例9
[0055]抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,步骤如下:
[0056]I)将金刚石微粉、氮化硅珠加入纳米金刚石抛光液中混合,金刚石微粉的粒度为M15/25,氮化硅珠的粒径为4_,抛光液中纳米金刚石的质量百分数为0.8%,平均粒径200nm,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、氮化硅珠的质量比为1:3:0.2,在混合物中加入透平油,加量为混合物总质量的3%,球磨30min(高能球磨机同实施例1);
[0057]2)球磨完毕,从球磨混合物中取出氮化硅珠(孔径0.4mm滤网过滤),剩余部分置于离心机中,在转速5000r/min下离心lOmin,离心结束取上层液过滤,滤网孔径800nm,滤液即为粒形修整后的纳米金刚石抛光液。
[0058]实施例10
[0059]抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,步骤如下:
[0060]I)将金刚石微粉、氮化硅珠加入纳米金刚石抛光液中混合,金刚石微粉的粒度为M15/25,氮化硅珠的粒径为5mm,抛光液中纳米金刚石的质量百分数为2%,平均粒径300nm,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、氮化硅珠的质量比为1:2:0.1,在混合物中加入透平油,加量为混合物总质量的4%,球磨1min(高能球磨机同实施例1);
[0061]2)球磨完毕,从球磨混合物中取出氮化硅珠,剩余部分置于离心机中,在转速5000r/min下离心5min,离心结束取上层液过滤,滤网孔径lOOOnm,滤液即为粒形修整后的纳米金刚石抛光液。
【主权项】
1.抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,其特征在于:包括以下步骤:取纳米金刚石抛光液、金刚石微粉和陶瓷球混合,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、陶瓷球的质量比为1:2?5:0.1?0.5,加入研磨缓冲剂,球磨,即可。2.根据权利要求1所述的形貌修整方法,其特征在于:所述抛光液中纳米金刚石的质量百分数为0.2%?2%,平均粒径30?300nm。3.根据权利要求1所述的形貌修整方法,其特征在于:所述金刚石微粉采用粒度M5/10、M6/12、M8/16、M10/20、M15/25 中的一种或多种。4.根据权利要求1所述的形貌修整方法,其特征在于:所述陶瓷球采用氧化锆珠、氧化硅珠、氮化硅珠、氧化铝珠中的一种或多种,粒径0.5?5_。5.根据权利要求1所述的形貌修整方法,其特征在于:所述研磨缓冲剂采用透平油、变压器油、甘油、油酸、白油、聚乙二醇200、聚乙二醇600中的一种或多种,研磨缓冲剂的加量为纳米金刚石抛光液、金刚石微粉和陶瓷球三者总质量的2%?8%。6.根据权利要求1所述的形貌修整方法,其特征在于:所述球磨时间为10?lOOmin。7.根据权利要求1所述的形貌修整方法,其特征在于:所述球磨完毕从球磨混合物中取出陶瓷球,剩余部分离心取上层液,过滤,得滤液。8.根据权利要求7所述的形貌修整方法,其特征在于:所述离心为在转速5000?.10000r/min 下离心 5 ?1min09.根据权利要求7所述的形貌修整方法,其特征在于:所述过滤采用的滤网孔径为.0.3 ?I μ m0
【专利摘要】本发明公开了一种抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,属于超精密抛光技术领域。该方法包括以下步骤:取纳米金刚石抛光液、金刚石微粉和陶瓷球混合,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、陶瓷球的质量比为1:2~5:0.1~0.5,加入研磨缓冲剂,球磨,即可。球磨过程中陶瓷球主要赋予金刚石微粉作用力,使金刚石微粉与纳米金刚石团聚体发生碰撞、挤压,对团聚体表面进行小幅度研磨,并将团聚体上的突出部分(因团聚方式不同造成团聚形貌不规整)移除,使其形貌更接近球形,从而达到形貌修整目的。修整后再通过离心、过滤的方式将微米级金刚石与纳米级金刚石团聚体分离,得到可直接用于蓝宝石晶片抛光加工的纳米金刚石抛光液。
【IPC分类】C09G1/02
【公开号】CN105131842
【申请号】CN201510655728
【发明人】王沛, 王志强
【申请人】郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年10月13日
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