专利名称：隔离物结构体的制造方法、隔离物形成材料的充填方法、隔离物形成材料的充填装置、成 ...的制作方法
技术领域：
本发明涉及平面显示装置等的图象显示装置中使用的隔离物结构体的制造方法、隔离物结构体制造中使用的隔离物形成材料的充填方法、隔离物形成材料的充填装置、成形模及真空容器。
背景技术：
近年来，作为取代阴极线管(以下称为CRT)的下一代的轻量、薄型的显示装置，各种平面型的图象显示装置已受到了人们的重视。比如，具有作为平面显示装置功能的送出·放出·显示(以下称为FED)的一种，正在大力开发表面传导型电子放出装置(以下称为SED)。
这种SED具有以规定间隔相对配置的前面基板和背面基板，这些基板通过矩状的侧壁将周边部相互接合，由此构成真空外壳。在前面基板的内面形成有3色的萤光体层，在背面基板的内面，作为励磁萤光体的电子源，配列有与各象素对应的多个电子放出元件。各电子放出元件由电子放出部以及向该电子放出部附加电压的一对电极等构成。
在上述的SED中，在前面基板和背面基板间的空间即真空外壳内，维持高真空度十分重要。当低真空度时，会使电子放出元件的寿命进而使装置的寿命缩短。因前面基板与背面基板之间是真空，故大气压作用于前面基板和背面基板。为此，为了支撑住作用于这些基板的大气负荷以维持基板间的间隙，在两基板间配置着多个板状或柱状的隔离物。
为了将隔离物配置在前面基板和背面基板的整个面上，并且为了不与前面基板的萤光体、背面基板的电子放出元件发生接触，必须使用极薄的板状或极细的柱状的隔离物。由于这些隔离物必须设置在与电子放出元件极近的位置，故必须使用绝缘体材料作为隔离物。同时，在研讨前面基板和背面基板的薄板化的场合，需要有更多的隔离物，使制造更加困难。
在隔离物与前面基板的萤光体间以及背面基板的电子放出元件间的对位方面，通常是考虑采用以萤光体间或电子放出元件间为目标而直接安装隔离物的方法，或者在预先形成有电子的通过孔的金属板的材料，高位置精度地形成多个隔离物，将形成于该金属板上的隔离物对准前面基板或背面基板位置的方法。
作为后者的方法，例如根据日本专利特开2001-272926号公报或特开2001-272927号公报所记载的制造方法，在金属板的表里面密接着分别形成有与隔离物形状对应的多个孔的2个成形模，通过这些金属板和2个成形模对隔离物形成用的贯通孔作出规定。在此状态下，将浆糊状的光硬化性或热硬化性的隔离物形成材料充填到各贯通孔中。接着，在金属模内部使充填后的隔离物形成材料光硬化或热硬化，然后从金属板将2个成形模取出，再使隔离物形成材料形成玻璃化。这样，可以在金属板上得到一体形成的柱状的隔离物。
在上述方法中，在使隔离物形成材料硬化的场合，若只照射紫外线使其硬化，则无热的影响，从精度和制造成本观点出发是一种好方法。然而，成形模上形成的隔离物形成孔因是细长形状，在使用由金属材料形成的成形模的场合，隔离物形成材料的硬化时要想使充分的紫外线一直到达成形模的深部是困难的。因此，作为隔离物形成材料，应使用热硬化材料、或者不仅有紫外线硬化特性而且还要有热硬化特性的材料。
在使隔离物形成材料热硬化时，因加热、冷却会在格栅与成形模之间产生温度分布差，其结果，在格栅与成形模的界面上发生错位，还存在着因该错位而容易产生隔离物破坏的问题。
当对格栅材料与成形模材料的热膨胀率、温度管理进行严密管理的场合，铷速加热或急速冷却非常之难，难以提高生产性。为此，通常考虑使用紫外线透过材料来构成成形模，但紫外线透过材料一般是玻璃、树脂，作为成形模使用时，有可能产生机械性刚性、耐磨性降低、成形模的破坏以及精度不良的问题。
前述的制造方法中，在将隔离物形成材料充填到成形模的隔离物形成孔中时，隔离物形成孔有可能比贯通孔的场合容易充填。但是，当隔离物形成孔是贯通孔时，因充填量的偏差会使最终形成的隔离物的高度精度不稳定。另外，由于必须使成形模的板厚与隔离物的高度一致，因此难以通过加厚成形模来提高机械性强度。同时在成形模的使用材料方面也受到了限制。
当成形模的隔离物形成孔是有底孔时，若孔形状微小，则孔内部没有空气的流出通道，故极难进行隔离物形成材料的充填。虽然也有考虑采用预先使隔离物形成孔的内部成为真空的方法，但混入隔离物形成材料中的溶剂会蒸发，故不太好。
在将隔离物形成材料向成形模充填时，若未能将金属板与成形模彻底地密接，则金属板与成形模之间会进入隔离物形成材料。该场合，不能形成正常形状的隔离物，而且还有可能会将预先在金属板上形成的电子束通过孔堵住。另外，溢出的隔离物形成材料会作为粘接剂而起作用，还存在着极难将金属板与成形模分离的问题。
并且，这些金属板和成形模形成薄板形状，要想密接却难以预先得到充分的平面度。为此，在将隔离物形成材料向成形模充填时，必须将成形模和格栅夹持于多个部位来维持着密接状态。该场合，需要设置多个夹持构件，并要增高夹持压力，使制造装置大型且复杂化。作为下一工序即隔离物形成材料的硬化工序，当选择了紫外线硬化的场合，夹持构件会成为紫外线照射的障碍。
发明内容
鉴于以上的问题，本发明目的在于，提供能高精度制造隔离物的隔离物结构体的制造方法、隔离物结构体制造中使用的隔离物形成材料的充填方法、隔离物形成材料的充填装置、成形模及真空容器。
为了实现上述目的，本发明形态是一种图象显示装置中使用的隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅；以及一体状立设于所述格栅表面上的多个柱状的隔离物，其制造方法是准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，再准备具有多个的隔离物形成孔以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由紫外线透过材料形成的多个孔形成部的板状的成形模，将所述成形模与所述格栅的表面密接，形成由成形模和格栅所构成的组装体，在所述组装体的形成之前或者形成之后，将具有紫外线硬化性的隔离物形成材料充填到所述成形模的各隔离物形成孔中，将紫外线直接以及透过所述孔形成部向所述充填后的隔离物形成材料进行照射，使所述隔离物形成材料硬化，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将所述成形模从格栅分离。
另外，本发明的另一形态是一种图象显示装置中使用的隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅；以及一体状地立设于所述格栅的表面上的多个柱状的隔离物，其制造方法是准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，再准备具有多个的隔离物形成孔以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由弹性材料形成的多个孔形成部的板状的成形模，将所述成形模与所述格栅的表面密接，形成由成形模和格栅所构成的组装体，在所述组装体的形成之前或者形成之后，将具有热硬化性的隔离物形成材料充填到所述成形模的各隔离物形成孔中，对所述充填后的隔离物形成材料进行加热使其硬化，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将所述成形模从格栅分离。
并且，本发明形态的隔离物结构体的制造方法中使用的成形模，包括板状的模型本体；分别由紫外线透过材料或弹性材料形成、对所述隔离物形成孔作出规定并与所述模型本体一体设置的多个孔形成部。
采用上述结构的隔离物结构体的制造方法及其成形模，通过在隔离物形成孔的周边部分使用紫外线透过材料，可使用只需要紫外线使其硬化的隔离物形成材料。另外，隔离物形成孔的周边部以外的部分，可使用金属等的机械强度高的材料，能充分确保作为成形模所需的机械强度。通过在隔离物形成孔的开口部的周边部分使用弹性材料，可防止因格栅与成形模的错位引起的隔离物的破坏，在热硬化时可使其急加热及急冷却。
这样，可在不产生隔离物破坏的情况下得到高精度制造隔离物的隔离物结构体的制造方法及其成形模。另外，在制造隔离物结构体时，可取消热硬化工序或者可缩短热硬化工序所需的时间，提高生产性。
本发明的另一形态是隔离物形成材料的充填方法，它是一种将隔离物形成材料充填到具有抵接面和在该抵接面上开口的多个的有底的隔离物形成孔的成形模的所述隔离物形成孔中的方法，向所述成形模的隔离物形成孔部分供给浆糊状的隔离物形成材料，使供给有所述隔离物形成材料的成形模，围绕从该成形模分离的位置上的旋转轴周围进行旋转，利用离心力使隔离物形成材料与各隔离物形成孔内的空气发生置换，将隔离物形成材料充填到各隔离物形成孔内。
本发明形态是一种图象显示装置中使用的隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体包括具有板状构件；以及一体状地立设于所述板状构件的表面上的多个柱状的隔离物，其制造方法是准备具有抵接面和在该抵接面上开口的多个的有底的隔离物形成孔的成形模，向所述成形模的隔离物形成孔部分供给浆糊状的隔离物形成材料，使供给有所述隔离物形成材料的成形模，围绕从该成形模分离的位置上的旋转轴周围进行旋转，利用离心力使隔离物形成材料与各隔离物形成孔内的空气发生置换，将隔离物形成材料充填到各隔离物形成孔内，将所述隔离物形成孔中充填有所述隔离物形成材料的成形模，保持于所述抵接面与所述板状构件的表面密接的状态，在使所述成形模与板状构件密接的状态下，使所述隔离物形成材料硬化，在所述板状构件的表面上形成多个隔离物。
本发明的形态是隔离物形成材料的充填装置，它是一种将隔离物形成材料充填到具有抵接面和在该抵接面上开口的多个的有底的隔离物形成孔的成形模的所述隔离物形成孔中的隔离物形成材料的充填装置，包括设置成围绕中心轴可自由旋转的旋转体；使所述旋转体围绕所述旋转轴进行旋转的旋转机构；以及设置于所述旋转体上、所述成形模的抵接面与所述旋转轴对置并将所述成形模支撑于从所述旋转轴离间的位置上的支撑构件。
采用上述结构的隔离物形成材料的充填方法、隔离物结构体的制造方法以及充填装置，在将隔离物形成材料附着于成形模的隔离物形成孔外部之后，使成形模旋转，利用离心力使隔离物形成材料与各隔离物形成孔内的空气发生置换，由此能可靠地将隔离物形成材料充填到细微的隔离物形成孔中。
本发明的另一形态是一种图象显示装置中使用的隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及立设于所述格栅的表面上的多个柱状的隔离物，其制造方法是准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，再准备具有设置于与所述格栅的电子束通过孔对应的位置上的多个的隔离物形成孔的板状的成形模，将隔离物形成材料充填到所述成形模的隔离物形成孔中，在使所述隔离物形成孔与所述格栅的电子束通过孔间对置的状态下，将充填有所述隔离物形成材料的成形模与所述格栅的表面密接，形成具有成形模和格栅的组装体，将所述组装体配置于可弹性变形的扁平形状的真空容器内，对所述真空容器内进行排气形成真空，利用大气压将成形模和格栅维持于密接状态。
本发明形态的隔离物结构体的制造方法中使用的真空容器，具有分别邻接相对地配置于组装体的板状的的第1主壁和第2主壁，所述第1和第2主壁由弹性材料形成，该弹性材料在进行所述真空容器内的真空排气时，沿着所述组装体弹性变形，可与该组装体密接。
采用上述结构的隔离物结构体的制造方法及其真空容器，与格栅的表面与成形模密接而构成组装体，将该组装体配置于可弹性变形的扁平的真空容器内，对真空容器内进行真空排气，再依靠作用于真空容器的大气压，将真空容器推压到组装体使其弹性变形，产生将格栅与成形模密接的压力。这样，可将格栅与成形模维持于极高的密接状态。可防止充填于成形模的隔离物形成材料漏出到成形模与格栅之间。另外，不再需要配置多个夹持构件并对各夹持构件施加大的夹持压力，可实现制造工序的简略化以及真空容器的小型化、简略化。
附图的简单说明
图1为表示本发明的实施形态中的具有隔离物结构体的SED的立体图。
图2为沿着图1的II-II线的破断的上述SED的立体图。
图3为表示上述SED放大的剖视图。
图4为表示上述隔离物结构体的立体图。
图5为表示上述隔离物结构体的制造工序的剖视图。
图6为表示上述制造工序的局部放大的剖视图。
图7A～图7E为表示用于上述隔离物结构体制造的成形模的制造工序的剖视图。
图8为表示在上述隔离物结构体的制造工序中、向组装体照射紫外线的工序的剖视图。
图9为表示在上述隔离物结构体的制造工序中、成形模的脱模工序的剖视图。
图10为表示采用本发明的第2实施形态的制造方法进行制造的SED的剖视图。
图11为表示上述第2实施形态中的隔离物结构体的制造工序的剖视图。
图12为表示用于上述隔离物结构体制造的成形模的立体图。
图13为表示上述成形模的分割片以及隔离板的分解立体图。
图14为表示安装有上述隔离板的分割片的立体图。
图15为表示将隔离物形成材料充填于上述成形模的充填装置的立体图。
图16为沿着图15的XVI-XVI线的剖视图。
图17为表示将隔离物形成材料充填于上述成形模状态、与图16对应的剖视图。
图18为表示使用刮浆板将上述隔离物结构体刮去的工序的剖视图。
图19为表示将上述成形模及格栅密接的组装体的剖视图。
图20为表示真空容器和上述隔离物结构体的制造工序的剖视图。
图21为表示将上述成形模脱模后状态的剖视图。
图22为表示本发明的第3实施形态中的充填装置的立体图。
具体实施例方式
下面参照附图详细说明本发明的实施形态中的隔离物结构体的制造方法及其成形模。首先，作为本制造方法及其具有使用成形模进行制造的隔离物结构体的图象显示装置的一例，对SED进行说明。
如图1～图3所示，SED具有分别由矩状的玻璃板构成的前面基板10和背面基板12，这些基板相互以约1.0～2.0mm的间隙相对配置。前面基板10与背面基板12通过由玻璃构成的矩状的侧壁14，将周缘部相互接合，内部构成了真空的扁平的真空外壳15。
在前面基板10的内面，形成有具有图象显示面功能的萤光屏16。该萤光屏16并列状地构成了红、蓝、绿的萤光体层R、G、B以及遮光层11，这些萤光体层呈线条状或点状。在萤光屏16上形成由铝等构成的金属背17。
在背面基板12的内面，作为励磁萤光屏16的萤光体层的电子源，设置有分别放出电子束的多个表面传导型的电子放出元件18。这些电子放出元件18与每一象素对应地被配列成多列和多行。各电子放出元件18由未图示的电子放出部、将电压附加于该电子放出部的一对元件电极等构成。在背面基板12的内面上，阵列状地设置向电子放出元件18供给电位的复数条配线21，其端部向真空外壳15的外部引出。
作为起着接合构件作用的侧壁14，比如是使用低融点玻璃、低融点金属等的封合材料20，与前面基板10的周缘部及背面基板12的周缘部封合，将这些基板相互间进行接合。
如图2～图4所示，SED具有隔离物结构体22，该隔离物结构体22被配置于前面基板10与背面基板12之间。本实施形态中，隔离物结构体22由矩状的金属板组成格栅24和一体状立设于格栅两面的多个柱状的隔离物所构成。
再详细地讲，格栅24具有与前面基板10的内面对置的第1表面24a和与背面基板12的内面对置的第2表面24b，与这些基板平行状地进行配置。在格栅24上，通过浸蚀等形成有多个电子束通过孔26和多个隔离物开孔28。电子束通过孔26分别与电子放出元件18相对配列，可使从电子放出元件放出的电子束透过。隔离物开孔28分别位于电子束通过孔26之间，以所定的间距进行配列。隔离物开孔28比如形成直径约0.2～0.5mm的圆形。
格栅24比如由铁—镍系的金属板形成了0.1～0.25mm的厚度，同时在其表面，形成由构成金属板的元素所组成的氧化膜比如、由Fe3O4、NiFe3O4组成的氧化膜。
在格栅24的第1表面24a上，一体状地立设着第1隔离物30a，重叠在各隔离物开孔28中，其延伸端通过金属背17和萤光屏16的遮光层11与前面基板10的内面抵接。在格栅24的第2表面24b上，一体状地立设着第2隔离物30b，重叠在各隔离物开孔28中，其延伸端与背面基板12的内面抵接。各第2隔离物30b的延伸端位于配线21上，该配线21被设置在背面基板12的内面上。
第1和第2隔离物30a、30b分别形成了前端细的锥体形状，直径从格栅24侧向延伸端变小。比如，各第1隔离物30a形成了位于格栅24侧的基端的直径约为0.4mm，延伸端的直径约为0.3mm，高度约为0.6mm。另外，各第2隔离物30b形成了位于格栅24侧的基端的直径约为0.4mm，延伸端的直径约为0.25mm，高度约为0.8mm。这样，将第1和第2隔离物30a、30b的基端的直径设定成了均大于隔离物开孔28的直径。
第1和第2隔离物30a、30b分别以规定的间隔进行配列，设置在格栅24的各表面的整个区域中。各隔离物开孔28、第1和第2隔离物30a、30b相互整列状进行配置，第1和第2隔离物30a、30b通过该隔离物开孔28相互连结成一体。由此，第1和第2隔离物30a、30b以从两面侧将格栅24夹入的状态与格栅24一体形成。
上述结构的隔离物结构体22被配置于前面基板10与背面基板12之间。第1和第2隔离物30a、30b与前面基板10和背面基板12的内面抵接，由此来支撑作用于这些基板的大气压负荷，将基板间的间隔维持成规定值。
SED具有未图示的电压供给部，将电压附加于格栅24和前面基板10的金属背17，比如向格栅24附加12kV、向金属背17附加10kV的电压。
在上述SED中，当显示图象时，通过配线21驱动电子放出元件18，从任意的电子放出元件放出电子束，同时向萤光屏16和金属背17附加电压。从电子放出元件18放出的电子束，在电压下被加速，在通过格栅24的电子束通过孔26之后，与萤光屏16发生冲突。这些，萤光屏16的萤光体层被励磁而发光，可显示出图象。
下面说明如上结构的SED的制造方法。首先，对制造隔离物结构体22的制造方法及其成形模进行说明。
如图5～图6所示，先准备规定尺寸的格栅24、具有与该格栅大致相同尺寸的矩形板状的上模36a和下模36b。在对由Fe-50％Ni构成的板厚0.12mm的金属板进行了脱脂、洗净、干燥之后，通过浸蚀形成电子束通过孔26和隔离物开孔28，制成格栅24。其次，在对格栅24的整体实施了氧化处理之后，在包含电子束通过孔26和隔离物开孔28的内面的格栅表面上形成绝缘膜。
上模36a具有第1隔离物30a成形用的多个隔离物形成孔40a，这些隔离物形成孔40a与格栅24的隔离物开孔28对应配列。下模36b具有第2隔离物30b成形用的多个隔离物形成孔40b，这些隔离物形成孔40b与格栅24的隔离物开孔28对应配列。
下面以上模36a为代表，详细说明上模36a和下模36b的构造及其制造方法。
如图6所示，作为成形模的上模36a，具有使用不锈钢、聚对笨二甲酸乙二酯等形成矩形板状的模型本体52a。在模型本体52a上形成有与格栅24的隔离物开孔28对应的多个透孔54a。各透孔54a的直径大于隔离物形成孔。在各透孔54a内，作为紫外线透过材料和弹性材料，比如设置有硅构成的孔形成部56a。在该孔形成部56b上，形成有具有与第1隔离物30a对应形状的隔离物形成孔40a。这样，隔离物形成孔40a的周围被硅所围住。
在制造上模36a时，如图7A所示，先准备以高精度形成的多个隔离物形成孔的主雌模60。主雌模60是将复数枚、比如3枚金属板层叠后构成。在各金属板上，通过激光、浸蚀等方式高精度形成构成隔离物开孔的透孔。接着，如图7A～图7B所示，从隔离物形成孔的大径侧将硅等的模型形成材料充填到主雌模60中，形成与隔离物形成孔对应的具有多个凸部63的主雄模62。
其次，如图7C所示，准备好形成有多个透孔54a的模型本体52a。在该模型本体52a上安装主雄模62，按照主雌模的各凸部63大致同轴状地配置于模型本体52a的各透孔54a内的要求进行对位。
在些状态下，如图7D所示，将硅充填到模型本体52a的各透孔54a中。在使硅硬化之后将主雄模62脱模。这样，可得到如图7E所示的上模36a，该上模36a具有一体状的规定了隔离物形成孔40a的孔形成部56a。
下模36b也与上模36a是同样的结构，包括形成有多个透孔54b的模型本体52b、由硅形成的且被设置于各透孔54a内的孔形成部56b、以及形成于孔形成部56a中的隔离物形成孔40b。下模36b采用与上述同样的方法来制造。
在使用如上所述作成的上模36a和下模36b来进行隔离物结构体22的制造场合，如图5和图6所示，将上模36a定位成各隔离物形成孔40a与格栅24的隔离物开孔28整列的状态，与格栅的第1表面24a密接。同样，将下模36b定位成各隔离物形成孔40b与格栅24的隔离物开孔28整列的状态，与格栅的第2表面24b密接。通过未图示的夹持机构等将格栅24和下模36b保持成相互密接的状态。由此，构成了由格栅24、上模36a和下模36b组成的组装体42，在该组装体上，分别形成有隔离物形成孔40a、隔离物开孔28以及由隔离物形成孔40b构成的多个贯通孔44。
其次，比如在将下模36b置于下方的状态下，将上述组装体42保持成大致水平，置放成各贯通孔44的中心轴大致沿垂直方向延伸的状态。在此状态下，比如使用充填头45从下模36b的表面侧即、从组装体42的下面侧供给浆糊状的隔离物形成材料46，从下向上地以一定的压力将隔离物形成材料充填到各贯通孔44中。
作为隔离物形成材料46，使用了至少含有紫外线硬化型的粘接剂(有机成分)和玻璃填充物的玻璃糊状物。隔离物形成材料46的粘度比如可调整至6000cP～20000cP。作为充填条件，将隔离物形成材料46的充填速度设定为10mm/s～200mm/s，充填压力设定为0.1MPa以下。
通过将隔离物形成材料46充填到贯通孔44中，在组装体42的上面侧即、上模36a的上面侧，从各贯通孔44中溢出了多余的隔离物形成材料。使用刮浆板51将组装体42的上面刮去，将隔离物形成材料46的溢出部分47除去。
接着，如图8所示，比如使用紫外线灯等，从上模36a和下模36b的外面侧向充填后的隔离物形成材料46照射紫外线(UV)，使隔离物形成材料UV硬化。此时，充填有隔离物形成材料46的隔离物形成孔40a、40b的周围，被由紫外线透过材料即硅形成的孔形成部56a、56b所围住。这样，紫外线直接以及透过孔形成部56a、56b照射隔离物形成材料46。由此，使其被充填的隔离物形成材料46能可靠地硬化直至它的内部。
然后，如图9所示，按照在格栅24上保留被硬化的隔离物形成材料46的要求将上模36a和下模36b从格栅24剥离。其次，在加热炉内对充填有隔离物形成材料46的格栅24进行热处理，在从隔离物形成材料内溢出粘接剂之后，在约500～550℃下对隔离物形成材料进行30分钟～1小时的正规烧固。由此，可得到在格栅24上装入有第1和第2隔离物30a、30b的隔离物结构体22。
在制造SED时，预先准备设置有萤光屏16和金属背17的前面基板10、以及设置有电子放出元件18和配线21并与侧壁14接合的背面基板12。
其次，将如上所得的隔离物结构体22放置在背面基板12上作好定位。在此状态下，将前面基板10、背面基板12和隔离物结构体22配置于真空室内，在对真空室内进行真空排气之后，通过侧壁14将前面基板与背面基板接合。由此制造出具有隔离物结构体22的SED。
若采用如上结构的隔离物结构体的制造方法及其成形模，则隔离物形成孔40a、40b的周围，被由紫外线透过材料即硅形成的孔形成部56a、56b所围住。这样，在使隔离物形成材料硬化时，被照射的紫外线能透过孔形成部56a、56b，一直到达隔离物形成材料46的深部，使其充填后的隔离物形成材料46能可靠地硬化直至它的内部。由此可将隔离物形成所需的形状，能得到具有充分强度的隔离物。
可以不利用加热硬化，只需紫外线照射即可使隔离物形成材料硬化。这样，在使隔离物形成材料硬化时，可防止因加热、冷却所引起的格栅与成形模之间的温度分布差、以及格栅与成形模界面的错位等的发生。由此，可在不产生隔离物破坏的情况下高精度地制造出隔离物结构体，并实现制造成本的降低。同时，不需要严密地执行格栅材料与成形模材料的热膨胀率、温度管理，可提高隔离物结构体的生产性。
另一方面，也可考虑采用使用树脂、玻璃等来制作上模36a下模36b的方法。但从制造成本出发，其前提是上模36a和下模36b应当能够反复使用，当然对机械性的高度也有要求。
SED的真空外壳是一种利用第1和第2隔离物30a、30b来支撑大气压的构造，这些隔离物各自的高度精度十分重要。为此，必须对降低隔离物高度精度的原因即、上模36a和下模36b的表面的磨损作出限制。这样，要想使用树脂、玻璃来形成上模36a和下模36b的整体是困难的。
对此，若采用本实施形态，则成形模只是在隔离物形成孔周边的最小范围内由紫外线透过材料构成，其余部分可使用金属等的机械强度高的材料，可大幅度改善机械性的刚性和耐磨耗性。
在上述的实施形态中，作为隔离物形成材料使用了紫外线硬化材料，也可使用热硬化型的隔离物形成材料。即，作为隔离物形成材料46。比如可使用含有热硬化型的粘接剂和玻璃填充物的玻璃糊状物。
该场合，使用与前述的实施形态相同的格栅24、上模36a和下模36b来构成组装体42，将隔离物形成材料46充填到贯通孔44中。接着对组装体42进行加热，在使隔离物形成材料加热硬化之后，将上模36a及下模36b从格栅24分离。
其次，在加热炉内对充填有隔离物形成材料46的格栅24进行热处理，在从隔离物形成材料内溢出粘接剂之后，在约500～550℃下对隔离物形成材料进行30分钟～1小时的正规烧固。由此，可得到在格栅24上装入有第1和第2隔离物30a、30b的隔离物结构体22。
该方式的场合，在对隔离物形成材料46进行加热硬化时，因上模36a和下模36b的温度分布、热膨胀率的差异，在格栅表面与上模及下模表面的界面上容易发生面方向的错位，然而，若采用本实施形态，则在上模36a和下模36b中，设置于隔离物形成孔40a、40b周围的孔形成部56a、56b是由作为弹性材料的硅所形成。因此，即使在格栅与成形模之间发生了面方向的错位的场合，通过孔形成部56a、56b的弹性变形，可将作用于加热硬化后的隔离物形成材料46的负荷吸收掉。这样，可防止因上述的错位引起的隔离物的破坏。其结果，在隔离物形成材料的加热硬化时，可使其急加热及急冷却，可提高制造效率。
在上述实施形态中，其结构是将成形模与格栅密接而形成组装体，然后将隔离物形成材料充填到成形模的隔离物形成孔中。但是，也可以将隔离物形成材料充填到成形模的隔离物形成孔中，然后将该成形模与格栅密接，由此来形成组装体。
隔离物的直径、高度、其它构成要素的尺寸、材质等不限定于上述的实施形态。可根据需要来适当选择。同样，隔离物形成材料和充填条件也可根据需要作出各种选择。作为用于成形模的孔形成部的紫外线透过材料，不限定于硅，也可使用聚碳酸酯、丙烯基等。
隔离物结构体中，格栅也可是不具有隔离物形成孔的结构。另外，第1和第2隔离物也可不需要设置成同轴，可以在格栅的面方向上设置成相互错开的状态。另外，在隔离物结构体中，隔离物也可只设置于格栅一方的表面上。该场合，使用成形模的部位只需是格栅的一个面侧即可，将该成形模与格栅密接，以形成组装体。
下面说明本发明的第2实施形态中的隔离物结构体的制造方法及其制造装置。具有使用本制造方法进行制造的隔离物结构体的SED，其结构与前述实施形态相同。但如图10所示，隔离物结构体22的格栅24不具有隔离物形成孔，第1和第2隔离物30a、30b被一体状地立设于电子束通过孔26之间的格栅的表面上。SED的其它结构与前述的实施形态相同，同一部分标记同一的参照符号，省略其详细的说明。
在第2实施形态的制造方法中，如图11所示，先准备规定尺寸的格栅24、具有与该格栅大致相同尺寸的矩形板状的上模36a和下模36b。该场合，在对由Fe-50％Ni构成的板厚0.12mm的金属板进行了脱脂、洗净、干燥之后，通过浸蚀形成电子束通过孔26，制成格栅24。其次，在对格栅24的整体实施了氧化处理之后，在包含电子束通过孔26的内面的格栅表面上形成含有玻璃的绝缘膜。
如图11和图12所示，作为成形模的上模36a和下模36b，使用透过紫外线的透明材料、比如透明硅、透明聚对笨二甲酸乙二酯等形成平坦的板状。上模36a具有与格栅24抵接的平坦的抵接面41a、以及第1隔离物30a成形用的多个的有底的隔离物形成孔40a，隔离物形成孔40a分别在抵接面41a上开口，并且以规定间隔配列。
本实施形态中，上模36a比如在长度方向上被分割成4个分割片37a，这些分割片相互可分割以及可接合。各分割片37a呈细长的矩形板状，隔离物形成孔40a分别形成了沿着分割片37a的长度方向延伸的多列。
下模36b具有平坦的抵接面41ab和第2隔离物30b成形用的多个的有底的隔离物形成孔40b。隔离物形成孔40b分别在抵接面41b上开口，并且以规定间隔配列。另外，下模36b是将未图示的4个分割片连续状构成。
其次，如图7和图8所示，准备形成了与上模36a和下模36b的分割片37a大致相同尺寸的细长的矩形板状的隔壁板70。在隔壁板70上形成多个切口72，分别沿着隔壁板的长度方向延伸。各切口72的宽度略微大于分割片37a上形成的隔离物形成孔40a的孔径。沿着分割片37a的宽度方向的切口72的间距大体与沿着分割片的宽度方向的隔离物形成孔的间距相同。
将隔壁板70配置于分割片37a的抵接面41a上，与抵接面41a密接。此时，将隔壁板70定位安装成隔壁板70的各切口72与分割片37a的隔离物形成孔40a对置的状态。这样，在分割片37a的宽度方向上，各隔离物形成孔40a的两侧配置着由隔壁板70形成的隔壁。下模36b的分割片也是一样，安装着隔壁板70。
如图15和图16所示，将隔离物形成材料46充填到安装于分割片37a上的隔壁板70的各切口72中，向各隔离物形成孔40a的开口部附近供给。作为隔离物形成材料46，使用了至少含有紫外线硬化型的粘接剂(有机成分)和玻璃填充物的玻璃糊状物。玻璃糊状物的比重、粘度可适当选择。
其次，准备好多个供给有隔离物形成材料46的分割片37a和隔壁板70、比如2组，安装在充填装置80中。该充填装置80包括大体水平状延伸的矩形板状的旋转体82；以及将旋转体的长度方向中心部支撑、并使旋转体围绕垂直状延伸的旋轴轴D进行旋转的旋转机构84。在旋转体82的长度方向两端部，固定着具有支撑构件功能的板状的撑架86。撑架86分别垂直状延伸，并且夹持旋轴轴D状地相互平行对置。各撑架86与旋轴轴D的距离比如设定成约500mm。各撑架86的内面构成了具有支撑部功能的平坦的支撑面85a。
使用未图示的夹持器等将2组的分割片37a和隔壁板70分别安装在撑架86上，将分割片的里面侧与撑架86的支撑面86a密接。由此，分割片37a的抵接面41a和隔壁板70与旋轴轴D平行状地延伸，并形成了面向旋转轴侧的状态。另外，按照使隔壁板70的切口72的位置与旋轴轴D平行的要求，将分割片37a和隔壁板70安装在撑架86上。这样，从图16中可以看出，分割片37a的抵接面41a相对于以旋轴轴D为中心的圆沿切线方向延伸。同时，在抵接面41a上，由隔壁板70形成的隔壁留有间隙地并列配置于上述切线方向，并位于各隔离物形成孔40a的两侧。
接着，通过旋转机构84使旋转体82以规定的转速比如700～800rpm旋转约1～5分钟。这样，如图16～图17所示，在隔离物形成材料46上发生了离心力。同时，该离心力产生能将分割片37a上形成的隔离物形成孔40a内的空气挤出的的脱泡作用。由此，隔离物形成孔40a内的空气与隔离物形成材料46发生置换，隔离物形成材料46被充填到隔离物形成孔40a中。
如图16所示，因成形模的分割片37a是平板形状，故旋转期间，在供给到相对于旋轴轴D位于法向上的隔离物形成孔40a以外的隔离物形成孔附近的隔离物形成材料46上，受到了法向以外的力，即从分割片37a向外部流出的方向力的作用。然而，本实施形态中，由隔壁板70形成了位于各隔离物形成孔40a两侧的隔壁，一边对隔离物形成材料46的流出作出限制，一边使分割片37a旋转。由此，隔离物形成材料46可在不向外部流出的情况下充填到隔离物形成孔40a中。并且利用该离心力，可使预先混入隔离物形成材料46中的空气成分脱泡，可将不含有气泡的隔离物形成材料充填到分割片37a的隔离物形成孔40a中。
通过以上的工序，将隔离物形成材料46同叶充填到2枚分割片37a的隔离物形成孔40a中。充填后，将分割片37a从充填装置80的撑架86取出，再将隔壁板70从分割片上取下。然后如图82所示，使用刮浆板87将分割片37a的抵接面41a擦去，再将从隔离物形成孔40a溢出的多余的隔离物形成材料46刮去。
反复执行与上述相同的工序，在将隔离物形成材料46充填到4枚分割片37a的隔离物形成孔40a中，然后，将这些分割片相互接合，形成1个上模36a。通过与上述相同的工序，准备好将隔离物形成材料46充填到隔离物形成孔40b中的下模36b。
接着，如图19所示，将充填有隔离物形成材料46的上模36a和下模36b与格栅24密接而形成组装体42。该场合，按照隔离物形成孔40a位于格栅24的电子束通过孔26之间的要求来进行上模36a的定位，将抵接面41a与格栅24的第1表面24a密接。同样，按照隔离物形成孔40b位于电子束通过孔26之间的要求来进行下模36b的定位，将抵接面41b与格栅24的第2表面24b密接。由此构成了由格栅24、上模36a和下模36b所组成的组装体42。组装体42中，上模36a的隔离物形成孔40a和下模36b的隔离物形成孔40b配列成夹持格栅24状的对置状态。
然后，如图20所示，将组装体42配置于偏平状的真空容器50内，利用大气压将上模36a及下模36b与格栅24密接。下面详细说明真空容器50。
真空容器50具有分别形成矩形板状的第1主壁52和第2主壁54，这些第1和第2主壁52、54留有间隙地相对配置。在第1和第2主壁52、54的周缘部之间设置有矩形框状的侧壁55。侧壁55被气密地固定于第1主壁52的内面周缘部。相对于第1主壁52大致垂直状立设。侧壁55的自由端(在这里是指上端)通过O形环56与第2主壁54的内面周缘部气密状抵接。真空容器50的内部通过设于第2主壁54的周缘部的排气阀57与真空泵58连接。
第1和第2主壁52、54的平面尺寸大于格栅24。另外，第1和第2主壁52、54由可弹性变形并可透过紫外线的材料、比如透明硅、透明聚对笨二甲酸乙二酯、玻璃等形成。如后所述，在第1和第2主壁52、54的内面，大致整个面上构成有凹凸部，能对组装体42的全体均匀加压。
在使用上述结构的真空容器50将组装体42夹持的场合，首先是在将第2主壁54取出的状态下，将压力扩散板60a敷设在第1主壁52的内面上。将组装体42载置于该压力扩散板60a上，比如将下模36b与第1主壁52对置。
其次，将压力扩散板60b配置在组装体42上，再将第2主壁54重叠状配置，与组装体42的上模36a对置，并将周缘部与O形环56重合。压力扩散板60a、60b由紫外线透过材料形成。
在此状态下，使排气手段即真空泵58作动，在将真空容器50内排气至规定真空度之后，将排气阀57关闭，将真空容器内维持于真空状态。一旦真空容器50内成为真空，则大气压作用于真空容器的第1和第2主壁52、54。这样，第1和第2主壁52、54从两面侧对配置于内部的组装体42进行推压，将上模36a及下模36b与格栅24密接。
此时，如前所述，由于真空容器50的第1和第2主壁52、54由可弹性变形的材料形成，故沿着组装体42发生弹性变形，与上模36a和下模36b密接。又由于第1和第2主壁52、54的内面形成有凹凸，因此，大气压分别通过压力扩散板60a、60b均匀地作用于上模36a和下模36b的整个面。这样，格栅24、上模36a和下模36b被维持于极其良好的密接状态。
如上所述，利用大气压，在将格栅24、上模36a和下模36b密接的状态下，从配置于真空容器50外侧的紫外线灯62a、62b向第1和第2主壁52、54照射紫外线(UV)。在此，真空容器50的第1和第2主壁52、54、压力扩散板60a、60b、上模36a和下模36b分别由紫外线透过材料形成。由此，从紫外线灯62a、62b照射的紫外线透过真空容器50的第1和第2主壁52、54、压力扩散板60a、60b、上模36a和下模36b，向充填后的隔离物形成材料46进行照射。这样，在将组装体42维持成极其良好的密接状态下，可使隔离物形成材料46紫外线硬化。
接着，将真空容器50的真空解除，将组装体42从真空容器取出。此时，因第2主壁54仅与O形环56接触，故通过解除真空即可容易地将真空容器开放。然后，如图21所示，按照在格栅24上保留被硬化的隔离物形成材料46的要求将上模36a和下模36b从格栅24剥离。其次，在加热炉内对充填有隔离物形成材料46的格栅24进行热处理，在从隔离物形成材料内溢出粘接剂之后，在约500～550℃下对隔离物形成材料进行30分钟～1小时的正规烧固。由此，可得到在格栅24上装入有第1和第2隔离物30a、30b的隔离物结构体22。
在制造SED时，预先准备设置有萤光屏16和金属背17的前面基板10、以及设置有电子放出元件18和配线21并与侧壁14接合的背面基板12。
其次，将如上所得的隔离物结构体22放置在背面基板12上作好定位。在此状态下，将前面基板10、背面基板12和隔离物结构体22配置于真空室内，在对真空室内进行真空排气之后，通过侧壁14将前面基板与背面基板接合。由此制造出具有隔离物结构体22的SED。
采用如上结构的隔离物结构体的制造方法、充填装置及其真空容器，在使隔离物形成材料附着于成形模的隔离物形成孔外部之后，使成形模旋转，利用离心力，隔离物形成孔内部的空气与隔离物形成材料发生置换，由此，可将隔离物形成材料被充填到细微的隔离物形成孔中。这样，可高精度地形成所需形状和所需高度的隔离物，另外，利用该离心力，充填时可使混入隔离物形成材料中的空气成分脱泡，可形成无气泡的高质量的隔离物。
另外，在格栅24的两面，将上下的成形模36a、36b密接而构成组装体42，将该组装体配置于可弹性变形的扁平的真空容器50内，对真空容器内进行真空排气，再依靠作用于真空容器50的大气压，将真空容器的第1和第2主壁52、54推压到组装体42使其弹性变形，产生将格栅24与上下的成形模36a、36b密接的压力。这样，可将格栅24与上下的成形模36a、36b维持于极高的密接状态。由此，可确实防止充填于上下的成形模36a、36b中的隔离物形成材料46漏出到成形模与格栅24之间，能以高精度形成所需形状及其所需度长的隔离物。
另外，不再需要以格栅与成形模的密接为其目的而配置多个夹持构件并对各夹持构件施加大的夹持压力，可实现制造工序的简略化以及真空容器的小型化、简略化。
作为隔离物形成材料使用了含有紫外线硬化成分的材料，并且，使用紫外线透过材料构成了真空容器50的第1和第2主壁及其上下的成形模，由此可在将组装体42维持于极高的密接状态下向隔离物形成材料46照射紫外线，使其紫外线硬化。这样，能以高精度并比以往更好的效率来制造具有所需形状的隔离物的隔离物结构体。
在第2实施形态中，隔离物的直径、高度、其它构成要素的尺寸、材质等不限定于上述的实施形态。可根据需要来适当选择。同样，隔离物形成材料可根据需要作出各种选择。
作为用于真空容器和成形模的紫外线透过材料，不限定于硅、聚对笨二甲酸乙二酯、玻璃等，也可使用聚碳酸酯、丙烯基等。另外，作为成形模的形成材料，也可使用丙烯基、尼龙、ABS树脂、特氟隆(登录商标)等。
在隔离物结构体中，第1和第2隔离物也可不需要同轴状进行整列设置，也可在格栅的面方向上相互错开地进行设置。并且，隔离物结构体不限定于SED，也可适用于其它的图象显示装置。
在第2实施形态中，成形模由4枚分割片构成，可以根据需要来增减分割数，也可不分割地使用1个成形模。成形模不限定于板状，根据需要也可是其它形状。
在上述的实施形态中，充填装置具有垂直延伸的旋轴轴D，但不限定于此，也可具有立平延伸的旋轴轴D。采用如图22所示的第3实施形态时，充填装置80包括设置成可绕水平的旋轴轴D自由旋转的旋转体82；以及将旋转体支撑、并围绕旋轴轴D进行旋转的旋转机构84。旋转体82具有大致垂直状延伸的一对矩形板状的旋转臂90和一对板状的撑架86。撑架86分别被固定于一对旋转臂90的长度方向两端部之间，分别水平状延伸，并且夹持旋轴轴D状地相互平行对置。各撑架86与旋轴轴D的距离比如设定成约500mm。
旋转机构84具有与各旋转臂90的中心连结的旋转杆92。旋转杆92与旋轴轴D同轴地向旋转臂的外方延伸，分别被支柱94旋转自如地支撑。各支柱94上设置有能使旋转杆92旋转的未图示的驱动机构。通过旋转驱动旋转杆92，使旋转体82以规定速度进行旋转。
在使用充填装置80将隔离物形成材料46充填到成形模的隔离物形成孔中的场合，与前述的实施形态一样，使用未图示的夹持器等将分别供给有隔离物形成材料46的2组分割片37a和隔壁板70安装于撑架86上。此时，将分割片37a的里面侧与撑架86的支撑面86a密接。由此，分割片37a的抵接面41a和隔壁板70与旋轴轴D平行状地延伸，并且，以面向旋转轴侧的状态安装于撑架86上。另外，按照使隔壁板70的切口72的位置与旋轴轴D平行的要求，将分割片37a和隔壁板70安装于撑架86上。
在此状态，使旋转体82以规定的转速、比如700～800rpm旋转约1～5分钟。这样，在隔离物形成材料46上发生了离心力，隔离物形成材料被充填到分割片37a上形成的隔离物形成孔40a中。其它结构与前述的第2实施形态相同，同一部分标记同一的参照符号，省略其详细的说明。
即使采用了如上结构的充填装置80的场合，也能得到与前述第2实施形态相同的作用效果。
在上述的第2和第3实施形态中，充填装置中安装着2个成形模，将隔离物形成材料同时进行充填，但不限定于此，也可采用在充填装置中安装1个或3个以上的成形模并充填隔离物形成材料的结构。另外，在将充填装置的支撑构件作成多个的场合，将这些支撑构件设置于旋转轴的周围，或者也可设置1个环状的支撑构件，将该支撑构件设置成与旋转轴同轴的状态，在该支撑构件上安装多个成形模。并且，当成形模的分割片的宽度即、相对于旋转方向沿着切线方向的宽度短的场合，也可省略隔壁板。
上述实施形态中，对使用格栅作为板状构件并在该格栅的两面设置有隔离物的隔离物结构体作了说明，但板状构件不限定于格栅，也可使用玻璃板等其它的板材。并且不限定于板状构件的两面，也可将隔离物仅设置于一面。该场合，使用的成形模只需1个即可，将该成形模与格栅的一方表面密接而形成组装体。其它的制造工序与前述的第2实施形态相同。
产业上的可利用性综上所述，采用本发明，可提供高精度且高效率地制造隔离物结构体的隔离物结构体的制造方法、隔离物形成材料的充填方法、隔离物形成材料的充填装置、成形模及真空容器。
权利要求
1.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及一体状地立设于所述格栅的表面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，准备具有多个的隔离物形成孔以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由紫外线透过材料形成的多个孔形成部的板状的成形模，将所述成形模与所述格栅的表面密接，形成由成形模和格栅所构成的组装体，在所述组装体的形成之前或者形成之后，将具有紫外线硬化性的隔离物形成材料充填到所述成形模的各隔离物形成孔中，将紫外线直接以及透过所述孔形成部向所述充填后的隔离物形成材料进行照射，使所述隔离物形成材料硬化，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将所述成形模从格栅分离。
2.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及一体状地立设于所述格栅的两面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备形成有多个电子束通过孔以及分别位于这些电子束通过孔间的多个隔离物开孔的板状的格栅，准备2个具有与所述格栅的隔离物开孔对应的多个的隔离物形成孔以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由紫外线透过材料形成的多个孔形成部的板状的成形模，在将所述格栅的隔离物开孔与所述成形模的隔离物形成孔分别整齐配列的状态下，将所述成形模与所述格栅的两面密接，形成由2个成形模和格栅所构成的组装体，在所述组装体的形成之前或者形成之后，将具有紫外线硬化性的隔离物形成材料充填到所述各成形模的各隔离物形成孔中，在所述组装体中，对所述充填后的隔离物形成材料直接以及透过隔离物形成材料照射紫外线，使隔离物形成材料硬化，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将所述成形模从格栅分离。
3.如权利要求1或2所述的隔离物结构体的制造方法，其特征在于，作为所述隔离物形成材料，使用了至少含有紫外线硬化型的粘接剂和玻璃填充物的玻璃糊状物。
4.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及一体状地立设于所述格栅的表面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，准备具有多个的隔离物形成孔以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由弹性材料形成的多个孔形成部的板状的成形模，将所述成形模与所述格栅的表面密接，形成由成形模和格栅所构成的组装体，在所述组装体的形成之前或者形成之后，将具有热硬化性的隔离物形成材料充填到所述成形模的各隔离物形成孔中，对所述组装体中的所述充填后的隔离物形成材料进行加热使其硬化，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将所述成形模从格栅分离。
5.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及一体状地立设于所述格栅的两面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备形成有多个电子束通过孔以及分别位于这些电子束通过孔间的多个隔离物开孔的板状的格栅，准备2个具有与所述格栅的隔离物开孔对应的多个隔离物形成孔以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由弹性材料形成的多个孔形成部的板状的成形模，在将所述格栅的隔离物开孔与所述成形模的隔离物形成孔分别整齐配列的状态下，将所述成形模与所述格栅的两面密接，形成由2个成形模和格栅所构成的组装体，在所述组装体的形成之前或者形成之后，将具有热硬化性的隔离物形成材料充填到所述成形模的各隔离物形成孔中，对所述充填后的隔离物形成材料进行加热使其硬化，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将所述成形模从格栅分离。
6.如权利要求1、2、4、5中任一项所述的隔离物结构体的制造方法，其特征在于，所述成形模分离后，将所述隔离物形成材料烧固。
7.如权利要求1、2、4、5中任一项所述的隔离物结构体的制造方法，其特征在于，作为所述格栅，使用了由表面形成有氧化膜的金属板所构成的格栅。
8.一种成形模，它是如权利要求1或2所述的隔离物结构体的制造方法中使用的成形模，其特征在于，包括板状的模型本体；分别由紫外线透过材料形成、对所述隔离物形成孔作出规定并与所述模型本体一体设置的多个孔形成部。
9.如权利要求8所述的成形模，其特征在于，所述模型本体具有多个透孔，所述孔形成部设置于所述透孔内。
10.一种成形模，它是如权利要求1或2所述的隔离物结构体的制造方法中使用的成形模，其特征在于，包括板状的模型本体；分别由弹性材料形成、对所述隔离物形成孔作出规定并与所述模型本体一体设置的多个孔形成部。
11.如权利要求10所述的成形模，其特征在于，所述模型本体具有多个透孔，所述孔形成部设置于所述透孔内。
12.一种隔离物形成材料的充填方法，它是将隔离物形成材料充填到具有抵接面和在该抵接面上开口的多个有底的隔离物形成孔的成形模的所述隔离物形成孔中的方法，其特征在于，向所述成形模的隔离物形成孔部分供给浆糊状的隔离物形成材料，使供给有所述隔离物形成材料的成形模，围绕从该成形模分离的位置上的旋转轴周围进行旋转，利用离心力使隔离物形成材料与各隔离物形成孔内的空气发生置换，将隔离物形成材料充填到各隔离物形成孔内。
13.如权利要求12所述的隔离物形成材料的充填方法，其特征在于，所述抵接面与所述旋转轴平行状延伸，并在面向所述旋转轴侧的状态下使所述成形模旋转。
14.如权利要求12或13所述的隔离物形成材料的充填方法，其特征在于，在相对于以所述旋轴轴为中心的圆沿切线方向上，在所述抵接面上，设置有位于各隔离物形成孔两侧的隔壁，在将隔离物形成材料供给到所述隔壁间之后，利用所述隔壁一边对隔离物形成材料的流出作出限制，一边使所述成形模旋转。
15.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有板状构件、以及一体状地立设于所述板状构件的表面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备具有抵接面和在所述抵接面上开口的多个有底的隔离物形成孔的成形模，向所述成形模的隔离物形成孔部分供给浆糊状的隔离物形成材料，使供给有所述隔离物形成材料的成形模，围绕从该成形模分离的位置上的旋转轴周围进行旋转，利用离心力使隔离物形成材料与各隔离物形成孔内的空气发生置换，将隔离物形成材料充填到各隔离物形成孔内，将所述隔离物形成孔中充填有所述隔离物形成材料的成形模，保持于所述抵接面与所述板状构件的表面密接的状态，在使所述成形模与板状构件密接的状态下，使所述隔离物形成材料硬化，在所述板状构件的表面上形成多个隔离物。
16.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及一体状地立设于所述格栅的表面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，准备具有抵接面、以及在所述抵接面上开口并与所述格栅的电子束通过孔间对应的位置上设置的多个有底的隔离物形成孔的成形模，向所述成形模的隔离物形成孔部分供给浆糊状的隔离物形成材料，使供给有所述隔离物形成材料的成形模，围绕从该成形模分离的位置上的旋转轴周围进行旋转，利用离心力使隔离物形成材料与各隔离物形成孔内的空气发生置换，将隔离物形成材料充填到各隔离物形成孔内，所述隔离物形成孔中充填有所述隔离物形成材料的成形模，使所述抵接面与所述格栅的表面密接，将所述隔离物形成孔保持于与所述格栅的电子束通过孔间对置的状态，在使所述成形模与格栅密接的状态下，使所述隔离物形成材料硬化，在所述格栅的表面上形成多个隔离物。
17.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及一体状地立设于所述格栅的表面上的多个柱状的隔离物，其制造方法的特征在于，准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，准备2个具有抵接面、以及在所述抵接面上开口并与所述格栅的电子束通过孔间对应的位置上设置的多个有底的隔离物形成孔的成形模，向所述各成形模的隔离物形成孔部分供给浆糊状的隔离物形成材料，使供给有所述隔离物形成材料的各成形模，围绕从该成形模分离的位置上的旋转轴周围进行旋转，利用离心力使隔离物形成材料与各隔离物形成孔内的空气发生置换，将隔离物形成材料充填到各隔离物形成孔内，所述隔离物形成孔中充填有所述隔离物形成材料的成形模，使所述抵接面与所述格栅的表面密接，将所述隔离物形成孔保持于与所述格栅的电子束通过孔间对置的状态，分别被保持于所述格栅的两面侧，在使所述成形模与格栅密接的状态下，使所述隔离物形成材料硬化，在所述格栅的两面上形成多个隔离物。
18.如权利要求16或17所述的隔离物形成材料的充填方法，其特征在于，所述抵接面与所述旋转轴平行状地延伸，并在面向所述旋转轴侧的状态下使所述成形模旋转。
19.如权利要求12或13所述的隔离物形成材料的充填方法，其特征在于，在相对于以所述旋轴轴为中心的圆沿切线方向上，在所述抵接面上，设置有位于各隔离物形成孔两侧的隔壁，在将隔离物形成材料供给到所述隔壁间之后，利用所述隔壁一边对隔离物形成材料的流出作出限制，一边使所述成形模旋转。
20.一种隔离物形成材料的充填装置，它是一种将隔离物形成材料充填到具有抵接面和在该抵接面上开口的多个有底的隔离物形成孔的成形模的所述隔离物形成孔中的装置，其特征在于，包括设置成围绕中心轴可自由旋转的旋转体；使所述旋转体围绕所述旋转轴进行旋转的旋转机构；以及设置于所述旋转体上、所述成形模的抵接面与所述旋转轴对置并将所述成形模支撑于从所述旋转轴离间的位置上的支撑构件。
21.如权利要求20所述的隔离物形成材料的充填装置，其特征在于，所述支撑构件具有支撑部，该支撑部在所述抵接面与所述旋转轴平行状地延伸、并在面向所述旋转轴侧的状态下，对所述成形模进行支撑。
22.如权利要求20或21所述的隔离物形成材料的充填装置，其特征在于，具有隔壁，所述隔壁设置于所述成形模的抵接面上，位于相对于以所述旋轴轴为中心的圆的切线方向上的各隔离物形成孔的两侧，对隔离物形成材料的流出作出限制。
23.如权利要求20所述的隔离物形成材料的充填装置，其特征在于，具有设置在所述旋转体上、并位于所述旋转轴周围的多个的所述支撑构件。
24.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及立设于所述格栅的表面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，准备具有设置于与所述格栅的电子束通过孔间对应的位置上的多个隔离物形成孔的板状的成形模，将隔离物形成材料充填到所述成形模的隔离物形成孔中，在使所述隔离物形成孔与所述格栅的电子束通过孔间对置的状态下，将充填有所述隔离物形成材料的成形模与所述格栅的表面密接，形成具有成形模和格栅的组装体，将所述组装体配置于可弹性变形的扁平形状的真空容器内，对所述真空容器内进行排气形成真空，利用大气压将成形模和格栅维持于密接状态。
25.如权利要求24所述的隔离物结构体的制造方法，其特征在于，使用所述隔离物形成材料即、具有紫外线硬化材料性的隔离物形成材料，使用紫外线透过材料形成所述成形模和所述真空容器，所述真空容器内，在将所述成形模和格栅密接的状态下，从所述真空容器的外侧向所述隔离物形成材料照射紫外线，使隔离物形成材料紫外线硬化。
26.如权利要求24或25所述的隔离物结构体的制造方法，其特征在于，将构成所述真空容器的第1和第2主壁分别配置成与所述组装体邻近状对置，对所述真空容器内进行真空排气，利用大气压从两侧将所述第1和第2主壁推压到所述组装体，沿着所述组装体使其弹性变形。
27.如权利要求25所述的隔离物结构体的制造方法，其特征在于，在使所述隔离物形成材料紫外线硬化之后，将所述组装体从真空容器取出，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，分别将所述成形模从格栅分离。
28.如权利要求27所述的隔离物结构体的制造方法，其特征在于，所述成形模分离之后，将所述隔离物形成材料烧固。
29.如权利要求24或25所述的隔离物结构体的制造方法，其特征在于，作为所述隔离物形成材料，使用至少含有紫外线硬化型的粘接剂和玻璃填充物的玻璃糊状物。
30.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及一体状地立设于所述格栅的两面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，准备2个分别具有与所述格栅的电子束通过孔间相对的多个隔离物形成孔的板状的成形模，将隔离物形成材料充填到所述成形模的隔离物形成孔中，在所述隔离物形成孔与所述格栅的电子束通过孔间相对的状态下，将充填有所述隔离物形成材料的2个成形模与所述格栅的两面密接，形成具有所述成形模和格栅的组装体，将所述组装体配置于可弹性变形的扁平形状的真空容器内，对所述真空容器内进行真空排气，利用大气压将2个成形模和格栅维持于密接状态。
31.一种真空装置，它是如权利要求24或30所述的隔离物结构体的制造方法中使用的装置，其特征在于，具有分别与所述组装体邻接状相对配置的板状的第1主壁和第2主壁，所述第1和第2主壁由弹性材料构成，该弹性材料在对所述真空容器内进行真空排气时，沿着所述组装体弹性变形，可与该组装体密接。
32.如权利要求31所述的真空装置，其特征在于，具有立设于第1主壁的周缘部的框状的侧壁；以及设于侧壁的端部与所述第2主壁之间的O形环。
33.如权利要求31所述的真空装置，其特征在于，具有分别设于所述第1主壁与所述组装体之间；以及分别设于所述第2主壁与所述组装体之间的压力扩散板。
34.如权利要求31所述的真空装置，其特征在于，所述第1和第2主壁分别具有与所述组装体相对的凹凸的内面。
35.如权利要求31所述的真空装置，其特征在于，所述第1和第2主壁由可透过紫外线的材料形成。
全文摘要
准备形成有多个电子束通过孔(26)的板状的格栅(24)和板状的成形模(36a)。成形模具有多个隔离物形成孔(40a)以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由紫外线透过材料形成的多个孔形成部(56a)。将成形模与格栅的表面密接，形成由成形模和格栅所构成的组装体。在组装体的形成之前或者形成之后，将具有紫外线硬化性的隔离物形成材料(46)充填到成形模的各隔离物形成孔中。将紫外线直接以及透过所述孔形成部向所述充填后的隔离物形成材料进行照射，使隔离物形成材料硬化。然后，将硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将成形模从格栅分离。
文档编号B29C71/02GK1672230SQ03817568
公开日2005年9月21日 申请日期2003年7月3日 优先权日2002年7月24日
发明者广泽大二, 植田行纪, 鹰取幸司, 二阶堂胜, 石川谕, 平原祥子 申请人:株式会社东芝