一种喷气柱及太阳能硅片甩干机的制作方法

本实用新型涉及太阳能硅片甩干机技术领域，尤其涉及一种喷气柱及太阳能硅片甩干机。

背景技术：

现有技术中的太阳能硅片甩干机一般采用高温加喷气的方式进行甩干，现有技术中的喷气柱上设置的气嘴数量少，喷出的气体量少。如图1所示，由于CDA气体(CLEAN DRY AIR，即压缩干燥空气)仅从喷气柱的上端进入，而设置在喷气柱上的气嘴大小相同且等距分布，因此喷气柱上端的气嘴与喷气柱下端的气嘴存在空间上及气体喷出时间上的差异，导致CDA气体在腔内分布的均匀性存在差异从而影响到甩干时间。

技术实现要素：

本实用新型的第一个目的在于提供一种喷气柱，其使得气体的分布更加均匀，减少了甩干时间。

本实用新型的第二个目的在于提供一种包含上述喷气柱的太阳能硅片甩干机，其使得气体在甩干机腔内的分布更加均匀，减少了甩干时间。

为达第一个目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种喷气柱，喷气柱的上部设置有进气口，喷气柱的侧壁设置有若干个通孔，若干个通孔沿喷气柱的侧壁呈阵列式排布，若干个通孔的直径沿喷气柱的侧壁从上到下呈阶梯型增大。

其中，喷气柱的侧壁从上到下依次设置有第一孔区、第二孔区和第三孔区，通孔包括设置在第一孔区的若干个第一气孔、设置在第二孔区的若干个第二气孔和设置在第三孔区的若干个第三气孔，第一气孔的直径小于第二气孔的直径，第二气孔的直径小于第三气孔的直径。

其中，若干个第一气孔在第一孔区均匀分布，若干个第二气孔在第二孔区均匀分布，若干个第三气孔在第三孔区均匀分布。

其中，第一孔区、第二孔区和第三孔区的长度相等。

其中，第一气孔的直径为0.1mm，第二气孔的直径为0.2mm，第三气孔的直径为0.3mm。

其中，通孔的直径为0.1～0.3mm。

其中，喷气柱的长度为6～10cm，喷气柱的外径为2～3cm。

为达第二个目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种太阳能硅片甩干机，包括底板、环绕分布于底板上表面的若干个硅片承载盒及与底板相对设置的盖板，底板的中心位置上设有上述的喷气柱。

本实用新型的有益效果：一种喷气柱，喷气柱的上部设置有进气口，喷气柱的侧壁设置有若干个通孔，若干个通孔沿喷气柱的侧壁呈阵列式排布，若干个通孔的直径沿喷气柱的侧壁从上到下呈阶梯型增大。本实用新型的喷气柱及太阳能硅片甩干机，气体从进气口进入喷气柱内部，若干个通孔的直径沿喷气柱的侧壁从上到下呈阶梯型增大，使得位于喷气柱下端的通孔的直径较大，从而使得气体的分布更加均匀，减少了甩干时间。

附图说明

图1是现有技术的喷气柱的结构示意图。

图2是本实用新型的喷气柱的结构示意图。

附图标记如下：

1-喷气柱；11-进气口；12-通孔；13-第一孔区；131-第一气孔；14-第二孔区；141-第二气孔；15-第三孔区；151-第三气孔

具体实施方式

下面结合图2并通过具体实施例来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图2所示，一种喷气柱1，喷气柱1的上部设置有进气口11，喷气柱1的侧壁设置有若干个通孔12，若干个通孔12沿喷气柱1的侧壁呈阵列式排布，若干个通孔12的直径沿喷气柱1的侧壁从上到下呈阶梯型增大。本实用新型的喷气柱1，气体从进气口11进入喷气柱1内部，若干个通孔12的直径沿喷气柱1的侧壁从上到下呈阶梯型增大，使得位于喷气柱1下端的通孔12的直径较大，从而使得气体的分布更加均匀，减少了甩干时间。

本实施例中，如图2所示，喷气柱1的侧壁从上到下依次设置有第一孔区13、第二孔区14和第三孔区15，通孔12包括设置在第一孔区13的若干个第一气孔131、设置在第二孔区14的若干个第二气孔141和设置在第三孔区15的若干个第三气孔151，第一气孔131的直径小于第二气孔141的直径，第二气孔141的直径小于第三气孔151的直径。

本实施例中，若干个第一气孔131在第一孔区13均匀分布，若干个第二气孔141在第二孔区14均匀分布，若干个第三气孔151在第三孔区15均匀分布，使得气体的分布更加均匀。优选地，第一孔区13、第二孔区14和第三孔区15的长度相等。

本实施例中，通孔12的直径为0.1～0.3mm，第一气孔131的直径为0.1mm，第二气孔141的直径为0.2mm，第三气孔151的直径为0.3mm。在其他实施例中，第一气孔131、第二气孔141和第三气孔151的直径也可根据需要选择0.1～0.3mm中的其他数值。

本实用新型中，喷气柱1的长度为6～10cm，喷气柱1的外径为2～3cm。本实施例中，喷气柱1的长度为8cm，喷气柱1的外径为2.5cm。在其他实施例中，喷气柱1的长度也可根据需要选择6cm、10cm等，喷气柱1的外径也可根据需要选择2cm、3cm等。

一种太阳能硅片甩干机，包括底板、环绕分布于底板上表面的若干个硅片承载盒及与底板相对设置的盖板，底板的中心位置上设有上述的喷气柱1。气体从进气口11进入喷气柱1内部，若干个通孔12的直径沿喷气柱1的侧壁从上到下呈阶梯型增大，使得位于喷气柱1下端的通孔12的直径较大，从而使得气体的分布更加均匀，减少了甩干时间。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。